光取向用偏振光照射装置的制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种光取向用偏振光照射装置，具备：一组载台，在照射区域的两侧配置有搭载对象物的各搭载位置；搬送机构，具有通过照射区域而连结各搭载位置的搬送路径；以及退避机构，使位于搭载位置的一组载台中的至少一个载台在另一个载台被搬送到通过位置的状态，移动到离开通过位置的退避位置。搭载位置相对于通过位置而配置成，位于搭载位置的至少一个载台与位于通过位置的另一个载台的至少一部分在同一平面上重合。因此，本实用新型抑制生产节拍的变长，并且抑制装置整体的设置空间的增大。
【专利说明】
光取向用偏振光照射装置
技术领域
[0001]本实用新型的实施方式涉及一种光取向用偏振光照射装置。
【背景技术】
[0002]在液晶面板等的制造工序中，要对液晶面板的取向膜或者视角补偿膜(film)的取向层等对象物进行取向处理。在取向处理中，已知有一种为了进行所谓的光取向而使用的光取向用偏振光照射装置，所述光取向是指通过对取向膜照射规定波长的偏振光来进行取向。
[0003]作为此种光取向用偏振光照射装置，例如有一种结构，其具备:照射单元，照射偏振光;载台(stage)，搭载形成有取向膜的基板；以及搬送机构，以载台通过照射单元的照射区域的方式来搬送载台。
[0004]而且，作为与所述光取向用偏振光照射装置类似的装置，已知有一种曝光装置，其以搭载有基板的第I载台及第2载台通过对基板进行曝光的曝光部的方式来搬送第I载台及第2载台。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献I:日本专利特开2008-191302号公报【实用新型内容】
[0008][实用新型所要解决的问题]
[0009]然而，液晶面板等对象物正趋于大型化，伴随于此，在光取向用偏振光照射装置中针对对象物的照射时间增加。因此，存在下述问题，即，每一个对象物的处理时间(以下称作生产节拍(takt time))变长，从而导致生产性下降。而且，随着对象物的大型化，存在光取向用偏振光照射装置大型化的问题。
[0010]因此，本实用新型的目的在于提供一种能够抑制生产节拍的变长，并且能够抑制装置整体的设置空间(space)的增大的光取向用偏振光照射装置。
[0011][解决问题的技术手段]
[0012]实施方式的光取向用偏振光照射装置包括:照射单元，具有朝对象物照射偏振光的照射区域;第I载台及第2载台，配置有搭载所述对象物的第I搭载位置及第2搭载位置；以及搬送机构，具有通过所述照射区域而连结所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的至少一条搬送路径，且在所述搭载位置、与所述第I载台及所述第2载台通过所述照射区域而邻接于所述照射区域的通过位置之间，使所述第I载台及所述第2载台交替地沿着所述至少一条搬送路径而往复。
[0013]光取向用偏振光照射装置还包括:退避机构，使位于所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的所述第I载台及所述第2载台中的至少一个载台在另一个载台被搬送到所述通过位置的状态，移动到离开所述通过位置的退避位置。所述搭载位置相对于所述通过位置而配置成，位于所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的所述至少一个载台、与位于所述通过位置的另一个载台的至少一部分在同一平面上重合。
[0014]根据另一个实施方式，所述至少一个载台是所述退避位置与所述搭载位置位于同一平面上。根据另一个实施方式，所述至少一个载台是所述退避位置与所述搭载位置位于不同平面上。
[0015]根据另一个实施方式，所述至少一个载台是所述搭载位置相对于所述通过位置而配置成:在同一平面上，在所述至少一个载台位于所述搭载位置的状态，与位于所述通过位置的另一个所述载台整体重合。
[0016]根据另一个实施方式，所述退避机构使所述至少一个载台沿着与所述其中一个载台被往复搬送的搬送方向相同的方向而移动到所述退避位置。
[0017]而且，在另一实施方式的光取向用偏振光照射装置中，所述搬送路径具有:第I搬送路径，从在所述第I载台上搭载所述对象物的第I搭载位置，将所述第I载台搬送到邻接于所述照射区域的照射开始位置;第2搬送路径，从在所述第2载台上搭载所述对象物的第2搭载位置，将所述第2载台搬送到所述照射开始位置为止；以及第3搬送路径，一端连结于所述照射开始位置，并且另一端通过所述照射区域而延伸到邻接于所述照射区域的通过位置为止，并搬送所述第I载台及所述第2载台。而且，所述搬送机构在所述第I搭载位置与所述通过位置之间，使所述第I载台沿着所述第I搬送路径及所述第3搬送路径而往复，并且在所述第2搭载位置与所述通过位置之间，使所述第2载台沿着所述第2搬送路径及所述第3搬送路径而往复。
[0018]根据另一个实施方式，所述第I搬送路径及所述第2搬送路径中的至少一条搬送路径的搬送方向、与所述第3搬送路径的搬送方向在同一平面上交叉。
[0019]根据另一个实施方式，所述第I搬送路径与所述第2搬送路径在上下方向上并排配置。
[0020](实用新型的效果)
[0021]根据本实用新型，能够抑制生产节拍的变长而提高生产性，并且能够抑制装置整体的设置空间的增大。
【附图说明】
[0022]图1是示意性地表示第I实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。
[0023]图2是示意性地表示第I实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。
[0024]图3是示意性地表示第I实施方式的变形例的光取向用偏振光照射装置的平面图。
[0025]图4是示意性地表示第I实施方式的变形例的光取向用偏振光照射装置的平面图。
[0026]图5是示意性地表示第2实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。
[0027]图6是示意性地表示第2实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。
[0028]图7是示意性地表示第3实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。
[0029]图8是示意性地表示第4实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。
[0030]图9(a)、图9(b)是示意性地表示第5实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图。
[0031]图10(a)、图10(b)是示意性地表示第5实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。
[0032]图11是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。
[0033]图12是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。
[0034]图13是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。
[0035]图14是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。
[0036]图15是用于说明第5实施方式的光取向用偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。
[0037]图16是示意性地表示第6实施方式的光取向用偏振光照射装置的平面图。
[0038]图17是示意性地表示第6实施方式的光取向用偏振光照射装置的变形例的平面图。
[0039]图18(a)、图18(b)是示意性地表示第7实施方式的光取向用偏振光照射装置的侧面图及平面图。
[0040]附图标记说明:
[0041 ]IA?1H、IJ?IK:偏振光照射装置
[0042]9:基板
[0043]10:照射单元
[0044]1a:光源
[0045]1b:反射板
[0046]11:第I载台
[0047]12:第 2载台
[0048]15、25、35、45、55、65:搬送机构
[0049]25a、35a、45a、55a、65a:引导轴
[0050]15a:第I引导轴[0051 ]15b:第2引导轴
[0052]16、26、36、46、56、66:搬送路径
[0053]17、57:退避机构
[0054]17a、57a:臂
[0055]19a、29a、39a、49a:第I搬送路径
[0056]19b、29b、39b、49b:第 2 搬送路径
[0057]19c、29c、39c、49c:第 3 搬送路径
[0058]A:照射区域
[0059]Pla、Pl:第I搭载位置
[0060]Plb、P2:第2搭载位置[0061 ]P2a、P2b、P4:通过位置
[0062]P3a、P3b:退避位置
[0063]P3:照射开始位置(照射结束位置)
【具体实施方式】
[0064]以下要说明的实施方式的光取向用偏振光照射装置(以下称作偏振光照射装置)IA具备照射单元10、一组第I载台11及第2载台12、搬送机构15以及退避机构17。照射单元10具有朝对象物照射偏振光的照射区域A。一组第I载台11及第2载台12在照射区域A的两侧配置有搭载对象物的各第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb。搬送机构15具有通过照射区域A而连结各搭载位置Pla、Plb的搬送路径16。而且，搬送机构15在搭载位置Pla、Plb与第I载台11、第2载台12通过照射区域A而邻接于照射区域A的通过位置P2a、P2b之间，使一组第I载台11及第2载台12交替地沿着搬送路径16而往复。退避机构17使位于第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)的一组第I载台11及第2载台12中的至少一个载台11(12)，在另一个载台12(11)被搬送到通过位置P2b(P2a)的状态，移动到离开通过位置P2b(P2a)的退避位置P3a(P3b)。第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)相对于通过位置P2b(P2a)而配置成:位于第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)的至少一个第I载台11(第2载台12)与位于通过位置P2b(P2a)的另一个第2载台12(第I载台11)的至少一部分在同一平面上重合。
[0065]而且，以下要说明的实施方式的至少一个第I载台11(第2载台12)是退避位置P3a(P3b)与第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)位于同一平面上。
[0066]而且，以下要说明的实施方式的至少一个第I载台11(第2载台12)是退避位置P3a(P3b)与第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)位于不同平面上。
[0067]而且，以下要说明的实施方式的至少一个第I载台11(第2载台12)是第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)相对于通过位置P2b(P2a)而配置成:在同一平面上，在至少一个第I载台11(第2载台12)位于第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)的状态，与位于通过位置P2b(P2a)的另一个第2载台12(第I载台11)整体重合。
[0068]而且，以下要说明的实施方式的退避机构17使至少一个第I载台11(第2载台12)沿着与其中一个第I载台11(第2载台12)被往复搬送的搬送方向相同的方向而移动到退避位置P3a(P3b)0
[0069]以下，参照附图来说明实施方式的偏振光照射装置。
[0070](第丨实施方式)
[0071]图1是示意性地表示第I实施方式的偏振光照射装置的侧面图。图2是示意性地表示第I实施方式的偏振光照射装置的平面图。本实施方式的偏振光照射装置例如被用于通过朝作为对象物的取向膜照射直线偏振光等偏振光来进行光取向。本实施方式的偏振光照射装置例如被用于制造液晶面板的取向膜或者视角补偿膜的取向膜等。
[0072](偏振光照射装置的结构)
[0073]如图1所示，第I实施方式的偏振光照射装置I具备照射单元10、一组第I载台11及第2载台12、搬送机构15以及退避机构17。
[0074]照射单元10具有对形成有作为对象物的取向膜的基板9(以下简称作基板9)照射偏振光的照射区域A。而且，照射单元10具有:发出包含紫外线的光的管状光源10a、及对光源1a发出的光的取向进行控制的反射板10b。而且，照射单元10具有偏振元件(未图示)，该偏振元件使光源1a发出的光与经反射板1b控制了取向的光入射并出射偏振光。
[0075]另外，此处所说的“照射区域A”是指照射单元10最下面的开口，即，照射单元10中最靠近对象物的位置处的开口。例如，若照射单元10的最下面为偏振元件，则偏振元件的开口相当于照射区域A，若在较偏振元件更靠近对象物侧存在遮光板(未图示)，则遮光板的开口相当于照射区域A。此外，若在遮光板上存在保护玻璃(未图示)，则保护玻璃的开口相当于照射区域A。
[0076]对于光源10a，例如使用在紫外线透射性的玻璃管内封入有汞、氩、氙等稀有气体的高压汞灯或者在高压汞灯中进而封入有铁或碘等金属卤素(metal halide)的金属卤素灯等管型灯，具有直线状的发光部。光源1a中，发光部的长度方向与各第I载台11、第2载台12相对于照射单元10的搬送方向正交，发光部的长度被设为长于基板9的一边的长度。光源1a被设为能够从直线状的发光部发出例如包含波长为200nm至400nm为止的紫外线的光。光源I Oa发出的光是具有各种偏振轴成分，即所谓的非偏振光。
[0077]反射板1b在与光源1a相向的面上，具有将光源1a发出的光予以反射的反射面，反射面是形成为呈楕圆的一部分的形状。由此，反射板1b构成为对光源1a发出的光进行聚光，即作为所谓聚光型的反射板。偏振元件能够从光源1a所发出、并一样地朝所有方向振动的包含各种偏振轴成分的光中，取出仅在基准方向振动的偏振轴的光。另外，一般将仅在基准方向振动的偏振轴的光称作直线偏振光。而且，偏振轴是指光的电场及磁场的振动方向。
[0078]—组第I载台11及第2载台12形成为矩形状的板状，搭载形成有取向膜的基板9。第I载台11及第2载台12由搬送机构15可移动地予以支撑。
[0079]如图1及图2所示，在第I载台11及第2载台12上搭载基板9的各第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb配置在照射区域A的两侧。搬送机构15具有通过照射区域A而连结各第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb的搬送路径16。搬送机构15具有:可移动地支撑第I载台11及第2载台12的引导轴15a、以及使第I载台11及第2载台12沿着引导轴15a移动的驱动机构(未图示)。引导轴15a构成直线状的搬送路径16。而且，搬送机构15在第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb的各位置、与第I载台11及第2载台12通过照射区域A而邻接于照射区域A的通过位置P2a、P2b之间，使第I载台11及第2载台12交替地沿着搬送路径16而往复。
[0080]而且，退避机构17如图1所示，邻接于第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb而配置，使用所谓的工业机器人。退避机构17具有臂(arm)17a，该臂17a用于沿水平方向搬送各第I载台11、第2载台12。退避机构17在一组第I载台11及第2载台12被搬送到通过位置P2a、P2b的状态，使位于第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb的一组第I载台11及第2载台12移动到离开通过位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。
[0081]并且，如图2所示，位于第I搭载位置Pla的第I载台11与位于通过位置P2b的第2载台12的一部分在同一平面上重合。同样，位于第2搭载位置Plb的第2载台12与位于通过位置P2a的第I载台11的一部分在同一平面上重合。以此种位置关系，第I载台11及第2载台12的第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)相对于通过位置P2b(P2a)而来配置。
[0082]本实施方式中，位于第I搭载位置Pla的第I载台11在水平面上与位于通过位置P2b的第2载台12的搬送方向上的一端部重合。而且，位于第2搭载位置Plb的第2载台12在水平面上与位于通过位置P2a的第I载台11的搬送方向上的一端部重合。即，第I载台11的第I搭载位置Pla靠近第2载台12的通过位置P2b而配置，并且，第2载台12的第2搭载位置Plb靠近第I载台11的通过位置P2a而配置。
[0083]换言之，这意味着:在平面上，位于第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb的各第I载台11、第2载台12与照射单元10之间为小于I个第I载台11(第2载台12)所占的空间。借助该结构，相对于照射单元10而往复的各第I载台11、第2载台12的搬送距离得以缩短，从而抑制生产节拍的变长，并且抑制设置空间的增大。
[0084]位于第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)的其中一个第I载台11(第2载台12)与位于通过位置P2b(P2a)的另一个第2载台12(第I载台11)重合的区域大，则意味着第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)与照射区域A之间的搬送距离变短。因此，在抑制生产节拍变长并抑制设置空间增大的观点上为优选。另一方面，位于第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)的其中一个载台第111(第2载台12)与位于通过位置P2b(P2a)的另一个载台12(11)重合的区域少，则意味着第I载台11(第2载台12)从第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)退避所需的时间变短。因此，能够容易地使第I载台11(第2载台12)退避。然而，在此情况下，第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)与照射区域A之间的搬送距离变长，因此在抑制生产节拍(takttime)变长并抑制设置空间增大的观点上，所获得的效果变少。因此，位于第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)的其中一个第I载台11(第2载台12)与位于通过位置P2b(P2a)的另一个第2载台12(第I载台11)重合的区域是根据第I载台11(第2载台12)从第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)退避的速度等而适当设定。
[0085]本实施方式中，搬送机构15与退避机构17是作为独立的机构而构成，但也能够以搬送机构15兼作退避机构的方式而构成。在此情况下，搬送机构往复搬送各第I载台11、第2载台12，并且在第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb与退避位置P3a、P3b之间往复搬送各第载台11(第2载台12)。
[0086](偏振光照射时的各载台的动作)
[0087]对于以上述方式构成的偏振光照射装置I，说明相对于照射单元10来搬送第I载台11及第2载台12并对基板9照射偏振光的动作。
[0088]首先，在位于第I搭载位置Pla的第I载台11上搭载基板9。然后，第I载台11由搬送机构15向照射单元10搬送，并通过照射区域A而被搬送到通过位置P2a为止。接下来，第I载台11从通过位置P2a被搬送向第I搭载位置Pla，并经过通过了照射区域A的通过位置P2a而返回第I搭载位置Pla。这样，第I载台11上的基板9的取向膜通过往复照射区域A而被照射规定量的偏振光，以进行所需的光取向。
[0089]另一方面，在由搬送机构15搬送第I载台11的状态，在位于第2搭载位置Plb的第2载台12上搭载基板9。在第I载台11被搬送向第I搭载位置Pla的状态，在规定的时机(timing)，第2载台12由搬送机构15朝向照射单元1搬送，并通过照射区域A而被搬送到通过位置P2b为止。
[0090]这样，搬送机构15交替地往复搬送第I载台11及第2载台12，由此来连续地进行对第I载台11上的基板9的取向膜照射偏振光的动作与对第2载台12上的基板9的取向膜照射偏振光的动作。由此，能够在搬送其中一个第I载台11(第2载台12)的期间，进行对另一个第2载台12(第I载台11)搭载基板9或者拆卸基板9的操作，从而抑制生产节拍的变长。
[0091]另外，第2载台12的通过位置P2b相当于第I载台11的照射开始位置及照射结束位置。同样，第I载台11的通过位置P2a相当于第2载台12的照射开始位置及照射结束位置。
[0092]并且，位于第I搭载位置Pla的第I载台11在第2载台12被搬送到通过位置P2b的状态，借助退避机构17而从第I搭载位置Pla退避到退避位置P3a。然后，在第2载台12朝向第2搭载位置Plb受到搬送后，借助退避机构17，第I载台11从退避位置P3a返回第I搭载位置Pla。由此，能够避免第I载台11对在第2搭载位置Plb与通过位置P2b之间往复搬送的第2载台12的干涉。
[0093]而且，同样地，位于第2搭载位置Plb的第2载台12在第I载台11被搬送到通过位置P2a的状态，借助退避机构17而从第2搭载位置Plb退避到退避位置P3b。然后，在第I载台11向第I搭载位置Pla被搬送后，借助退避机构17，第2载台12从退避位置P3b返回第2搭载位置Plb0
[0094]另外，也可将从退避位置P3a、P3b返回搭载位置Pla、Plb的移动与从第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb相对于照射区域A而往复的移动控制成连续地过渡，而不使各第I载台11、第2载台12暂时停止在第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb处。
[0095]如上所述，本实施方式中，第I搭载位置Pla相对于通过位置P2b而以下述方式靠近，即，位于第I搭载位置Pla的第I载台11在同一平面上与位于通过位置P2b的第2载台12重合。同样地，第I搭载位置PIb相对于通过位置P2a而以下述方式靠近，即，位于第2搭载位置Plb的第2载台12在同一平面上与位于通过位置P2a的第I载台11重合。其结果，相对于照射区域A而往复的第I载台11及第2载台12的搬送距离得以缩短，因此可抑制生产节拍的变长。
[0096](第I实施方式的效果)
[0097]第I实施方式具备:搬送机构15，在第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb与通过位置P2a、P2b之间使各第I载台11、第2载台12交替地沿着搬送路径16而往复；以及退避机构17，使各载台移动到离开通过位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。第I搭载位置PI a (第2搭载位置Plb)相对于通过位置P2b(P2a)而配置成:位于第I搭载位置Pla(第2搭载位置Plb)的其中一个第I载台11(第2载台12)与位于通过位置P2b(P2a)的另一个第2载台12(第I载台11)的一部分在同一平面上重合。由此，能够将相对于照射单元10而往复的各第I载台11、第2载台12的搬送距离予以缩短。其结果，能够抑制生产节拍的变长，并且能够抑制装置整体的设置空间的增大。
[0098]而且，第I实施方式中的第I载台11及第2载台12的退避位置P3a、P3b与第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb位于同一平面上。由此，能够实现搬送机构15的简化，并能够在第I载台11及第2载台12上抑制基板9的位置偏离。
[0099]另外，本实施方式中，第I载台11及第2载台12这两者以第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb与通过位置P2a、P2b重合的方式而配置，但并不限定于该结构。根据设置空间或搬送动作的控制等的需要，对于第I载台11及第2载台12中的至少一个，以位于搭载位置的载台与位于通过位置的载台相重合的方式而配置，由此可获得下述效果，即，抑制所述生产节拍的变长，并且抑制装置整体的设置空间的增大。
[0100]而且，第I实施方式中的退避机构17使第I载台11及第2载台12沿着与往复搬送的搬送方向相同的方向而移动到退避位置P3a、P3b。由此，第I载台11及第2载台12能够从退避位置P3a、P3b顺畅地过渡到搬送动作，动作可靠性提高，并能够抑制生产节拍的增大。
[0101]而且，本实施方式中，照射区域A与位于第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb的各第I载台11、第2载台12之间的区域小于I个第I载台11(第2载台12)的搭载面的大小。因此，各第I载台11、第2载台12的搬送距离得以缩短，能够抑制生产节拍的增大。
[0102]而且，第I实施方式中构成为，位于第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb的第I载台11及第2载台12沿着第I载台11及第2载台12的搬送方向(搬送路径16)而移动到退避位置P3a、P3b，但并不限定于该结构。例如，也可构成为，根据设置空间的限制等的需要，使位于第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb的第I载台11及第2载台12朝与第I载台11及第2载台12的搬送方向交叉的方向即图2中的左右、斜上方向退避。
[0103]以下，参照附图来说明其他实施方式的偏振光照射装置。另外，在其他实施方式中，对于与第I实施方式相同的构成构件，标注与第I实施方式相同的符号并省略说明。
[0104](第I实施方式的变形例I)
[0105]图3是示意性地表示第I实施方式的变形例I的偏振光照射装置的平面图。第I实施方式的变形例I与第I实施方式不同的是:第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb相对于通过位置P2a、P2b的配置；以及第I载台11及第2载台12从第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb退避的方向。
[0106]如图3所示，第I实施方式的变形例的偏振光照射装置IB具备搬送机构25，该搬送机构25在第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb与通过位置P2a、P2b之间，使第I载台11及第2载台12交替地沿着搬送路径26而往复。搬送路径26如图3所示，长度方向的两端部是相对于连结通过位置P2a、P2b之间的方向，在同一平面上交叉的方向，例如呈45度左右的角度而弯曲。而且，搬送路径26的两端部相对于连结通过位置P2a、P2b之间的直线而朝彼此相同的方向弯曲。搬送路径26是沿着搬送机构25的引导轴25a而构成。
[0107]并且，第I搭载位置Pla相对于通过位置P2b而配置成:位于第I搭载位置Pla的第I载台11在同一平面上与位于通过位置P2b的第2载台12的角部重合。而且，同样地，第2搭载位置Plb相对于通过位置P2a而配置成，位于第2搭载位置Plb的第2载台12在同一平面上与位于通过位置P2a的第I载台11的角部重合。由此，相对于照射单元10而往复的各第I载台
11、第2载台12的搬送距离得以缩短。
[0108](第I实施方式的变形例I的效果)
[0109]在第I实施方式的变形例I中，也与第I实施方式同样地，能够缩短各第I载台11、第2载台12的搬送距离，因此可获得抑制生产节拍增大化及抑制设置空间增大的效果。
[0110](第I实施方式的变形例2)
[0111]图4是示意性地表示第I实施方式的变形例2的偏振光照射装置的平面图。第I实施方式的变形例2与第I实施方式不同的是:第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb相对于通过位置P2a、P2b的配置；以及第I载台11及第2载台12从第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb退避的方向。
[0112]如图4所示，第I实施方式的变形例2的偏振光照射装置IC具备搬送机构35，该搬送机构35在第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb与通过位置P2a、P2b之间，使第I载台11及第2载台12交替地沿着搬送路径36而往复。搬送路径36如图4所示，长度方向的两端部是相对于连结通过位置P2a、P2b之间的方向，在同一平面而正交的方向上弯曲。而且，搬送路径36的两端部相对于连结通过位置P2a、P2b之间的直线而朝彼此相同的方向弯曲。搬送路径36是沿着搬送机构35的引导轴35a而构成。
[0113]并且，第I搭载位置Pla相对于通过位置P2b而配置成:位于第I搭载位置Pla的第I载台11在同一平面上与位于通过位置P2b的第2载台12的端部重合。而且，同样地，第2搭载位置Plb相对于通过位置P2a而配置成，位于第2搭载位置Plb的第2载台12在同一平面上与位于通过位置P2a的第I载台11的端部重合。由此，相对于照射单元10而往复的各第I载台
11、第2载台12的搬送距离得以缩短。
[0114](第I实施方式的变形例2的效果)
[0115]在第I实施方式的变形例2中，也与第I实施方式同样地，能够缩短各第I载台11、第2载台12的搬送距离，因此可获得抑制生产节拍增大化及抑制设置空间增大的效果。
[0116](第2实施方式)
[0117]图5是示意性地表示第2实施方式的偏振光照射装置的侧面图。图6是示意性地表示第2实施方式的偏振光照射装置的平面图。第2实施方式与第I实施方式的不同之处在于，位于搭载位置Pla、Plb的各第I载台11、第2载台12整体相对于位于通过位置P2a、P2b的各第I载台11、第2载台12而重合。而且，第2实施方式与第I实施方式的不同之处在于，第I载台11及第2载台12从第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb相对于上下方向而退避。
[0118]如图5及图6所示，第2实施方式的偏振光照射装置ID具备搬送机构45，该搬送机构45在第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb与通过位置P2a、P2b之间，使第I载台11及第2载台12交替地沿着搬送路径46而往复。搬送路径46如图5所示，具有使第I载台11及第2载台12搬送的导轨(guide rail)45a。导轨45a的两端部朝向上方弯曲，从第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb延伸到退避位置P3a、P3b为止。而且，搬送路径46如图6所示，在从与各第I载台11、第2载台12的搭载面相向的方向观察时，沿着导轨45a而构成为直线状。
[0119]并且，第2实施方式的偏振光照射装置ID中，借助搬送机构45，使位于第I搭载位置Pla的第I载台11移动到退避位置P3a，并且使位于第2搭载位置Plb的第2载台12移动到退避位置P3b。而且，搬送机构45使位于退避位置P3a的第I载台11返回第I搭载位置Pla，并且使位于退避位置P3b的第2载台12返回第2搭载位置Plb。因此，本实施方式中，使各第I载台11、第2载台12往复动作的搬送机构45兼作使各第I载台11、第2载台12从第I搭载位置Pla、第2搭载位置PI b退避到退避位置P3a、P3b的退避机构。
[0120]而且，第I搭载位置Pla相对于通过位置P2b而配置成:位于第I搭载位置Pla的第I载台11在同一平面上与位于通过位置P2b的第2载台12整体重合。而且，同样地，第2搭载位置Plb相对于通过位置P2a而配置成，位于第2搭载位置Plb的第2载台12在同一平面上与位于通过位置P2a的第I载台11整体重合。由此，相对于照射单元10而往复的各第I载台11、第2载台12的搬送距离得到进一步缩短。
[0121](第2实施方式的效果)
[0122]第2实施方式中，位于第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb的各第I载台11、第2载台12与位于通过位置P2a、P2b的各第I载台11、第2载台12整体重合，因此与第I实施方式或第3实施方式相比，各第I载台U、第2载台12的搬送距离得到进一步缩短。其结果，能够进一步抑制生产节拍的增大化及进一步抑制设置空间的增大。
[0123]而且，第2实施方式中的第I载台11及第2载台12的退避位置P3a、P3b与第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb位于不同平面上。由此，在难以确保相对于水平方向的设置空间的情况下为优选，能够相对于作为水平方向的设置面内方向而抑制设置空间的增大。
[0124]另外，第2实施方式中构成为，各第I载台11、第2载台12从第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb朝向上方退避，但也可构成为，各第I载台11、第2载台12从第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb朝向下方退避。
[0125]而且，在第2实施方式中，也可根据需要，而将第I载台11及第2载台12的第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb设定为与从通过位置P2b、P2a朝上方离开的退避位置P3a、P3b相同的位置。由此，能够省去使载台11、12从第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb退避到退避位置P3a、P3b为止的移动。
[0126]而且，第2实施方式中的搬送机构45构成为，位于各第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb的各第I载台11、第2载台12相对于上下方向而退避，但也可如第I实施方式那样而构成为，使各第I载台11、第2载台12朝水平方向上的规定方向退避。而且，在第I实施方式中也可构成为，位于各第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb的各第I载台11、第2载台12相对于上下方向而退避。而且，较之朝上下方向退避的退避机构，朝水平方向退避的退避机构的结构得以简化，并且能够容易地保持由各第I载台11、第2载台12所搭载的基板9的定位精度，因此为优选。
[0127](第3实施方式)
[0128]图7是示意性地表示第3实施方式的偏振光照射装置的侧面图。第3实施方式与第2实施方式不同的是，使位于第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb的第I载台11及第2载台12朝上下方向退避的退避机构。
[0129]如图7所示，第3实施方式的偏振光照射装置IE具备搬送机构55，该搬送机构55在第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb与通过位置P2a、P2b之间，使第I载台11及第2载台12交替地沿着搬送路径56而往复。搬送路径56如图7所示，具有使第I载台11及第2载台12搬送的引导轴55a。搬送路径56沿着引导轴55a而构成为直线状。
[0130]而且，第3实施方式的偏振光照射装置IE具备退避机构57，该退避机构57使第I载台11及第2载台12移动到离开通过位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。退避机构57如图7所示，邻接于第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb而配置，使用所谓的工业机器人。退避机构57具有臂57a，该臂57a用于沿上下方向搬送各第I载台11、第2载台12。
[0131]并且，退避机构57在第I载台11及第2载台12被搬送到通过位置P2a、P2b的状态，使位于第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb的第I载台11及第2载台12移动到退避位置P3a、P3b。而且，退避机构57使位于退避位置P3a的第I载台11返回第I搭载位置Pla，并且使位于退避位置P3b的第2载台12返回第2搭载位置Plb。
[0132]而且，第I搭载位置Pla相对于通过位置P2b而配置成，位于第I搭载位置Pla的第I载台11在同一平面上与位于通过位置P2b的第2载台12整体重合。而且，同样地，第2搭载位置Plb相对于通过位置P2a而配置成，位于第2搭载位置Plb的第2载台12在同一平面上与位于通过位置P2a的第I载台11整体重合。由此，相对于照射单元10而往复的各第I载台11、第2载台12的搬送距离得到进一步缩短。
[0133](第3实施方式的效果)
[0134]第3实施方式中，也与第2实施方式同样地，能够比第I实施方式及第2实施方式进一步抑制生产节拍变长及进一步抑制设置空间增大。
[0135]而且，第3实施方式中，尽管搬送路径56在同一平面上构成，即，尽管搬送路径56仅由搬送机构55构成，仍能够沿上下方向搬送各第I载台11、第2载台12。因此，不需要在搬送机构55中装入沿上下方向搬送各第I载台11、第2载台12的机构，因此能够抑制搬送机构55的复杂化。
[0136](第4实施方式)
[0137]图8是示意性地表示第4实施方式的偏振光照射装置的平面图。第4实施方式与第I实施方式的不同之处在于，位于第2搭载位置Plb的第2载台12与位于通过位置P2a的第I载台11不重合。即，第4实施方式中，第I载台11及第2载台12中，仅位于第2搭载位置Pla的第I载台11侧与位于通过位置P2b的第2载台12重合。
[0138]如图8所示，第4实施方式的偏振光照射装置IF具备搬送机构65，该搬送机构65在第I搭载位置Pla、第2搭载位置Plb与通过位置P2a、P2b之间，使第I载台11及第2载台12交替地沿着搬送路径66而往复。搬送路径66如图8所示，具有使第I载台11及第2载台12搬送的引导轴65a。搬送路径66沿着引导轴65a而构成为直线状。
[0139]而且，第I搭载位置Pla相对于通过位置P2b而配置成:位于第I搭载位置Pla的第I载台11在同一平面上与位于通过位置P2b的第2载台12的一部分重合。因此，第4实施方式中的第I载台11侧的结构是与第I实施方式同样地构成。虽未图示，但在邻接于第I搭载位置Pla的位置，设置有使位于第I搭载位置Pla的第I载台11退避到退避位置P3a的退避机构。
[0140]另一方面，第2搭载位置Plb相对于通过位置P2a而配置成:位于第2搭载位置Plb的第2载台12在同一平面上与位于通过位置P2a的第I载台11邻接而不重合。由此，第4实施方式的偏振光照射装置6中，省去了使第2载台12退避的退避机构。而且，第4实施方式的偏振光照射装置IF中，相对于照射单元10而往复的第I载台11的搬送距离较第2载台12的搬送距离更为缩短。
[0141](第4实施方式的效果)
[0142]第4实施方式中，在第2载台12的第2搭载位置Plb与照射单元10之间，具有供位于通过位置P2a的第I载台11配置的空间。因此，第4实施方式中，与第I载台11的搬送距离相比，第2载台12的搬送距离变长，生产节拍比第I实施方式慢。然而，第4实施方式中，不需要使第2载台12移动到退避位置，因此与第I实施方式相比，能够削减第2载台12的退避机构。
[0143]而且，在第4实施方式中，也与第I实施方式至第3实施方式同样地，可获得抑制生产节拍变长及抑制设置空间增大的效果。
[0144]另外，本实施方式中的退避机构为了沿上下方向搬送载台而使用了工业机器人或导轨，但也可使用其他升降机构或悬吊搬送载台的机构等。
[0145]而且，作为退避机构，也可采用下述结构，S卩，与移动到通过位置的第I载台联动地，使位于搭载位置的第2载台移动到退避位置。作为退避机构，例如也可采用:借助移动到通过位置的第I载台来推入第2载台，从而使第2载台移动到退避位置的结构;或者使第2载台的厚度方向绕旋转轴转动的机构。根据此种退避机构，能够实现机构或控制的简化。
[0146]而且，第I载台及第2载台也可具有所谓的对准(alignment)机构，该对准机构在第I搭载位置Pla及第2搭载位置Plb处搭载对象物后进行对位。
[0147]而且，在第I载台及第2载台上，也可具有搭载机构，该搭载机构设置有多个销(pin)或可动部，通过使多个销或可动部升降，从而将对象物搭载于第I载台及第2载台。
[0148]所述的各实施方式中，仅具有I个照射单元10而构成，但并不限定于该结构。例如，也可使多个照射单元10沿着第I载台及第2载台的搬送方向而隔开规定间隔地配置。此时，照射区域A不仅可设为多个照射单元10的正下方，也可设为如下所述的区域，S卩，从配置在一端侧的照射单元10的最下面的开口的一端，直至配置在另一端侧的照射单元10的最下面的开口的另一端之间的区域。
[0149](第5实施方式)
[0150]以下要说明的实施方式的光取向用偏振光照射装置(以下称作偏振光照射装置)IG具备照射单元10、第I载台11及第2载台12以及搬送机构15。照射单元10具有朝对象物照射偏振光的照射区域A。在第I载台11及第2载台12上搭载对象物。搬送机构15具有第I搬送路径19a，该第I搬送路径19a是将第I载台11从在第I载台11上搭载对象物的第I搭载位置Pl搬送到邻接于照射区域A的照射开始位置P3为止。而且，搬送机构15具有第2搬送路径19b，该第2搬送路径19b是将第2载台12从在第2载台12上搭载对象物的第2搭载位置P2搬送到照射开始位置P3为止。而且，搬送机构15具有第3搬送路径19c，该第3搬送路径19c的一端连结于照射开始位置P3，并且另一端通过照射区域A而延伸到邻接于照射区域A的通过位置P4为止，搬送第I载台11及第2载台12。搬送机构15在第I搭载位置Pl与通过位置P4之间，使第I载台11沿着第I搬送路径19a及第3搬送路径19c而往复，并且在第2搭载位置P2与通过位置P4之间，使第2载台12沿着第2搬送路径19b及第3搬送路径19c而往复。
[0151]而且，以下要说明的实施方式的第I搬送路径19a及第2搬送路径19b中的至少一条搬送路径的搬送方向在同一平面上与第3搬送路径19c的搬送方向交叉。
[0152]而且，以下要说明的实施方式的第I搬送路径与第2搬送路径在上下方向上并排配置。
[0153]图9(a)是示意性地表示第5实施方式的偏振光照射装置的侧面图。图9(b)是示意性地表示第5实施方式的偏振光照射装置的侧面图。图10(a)、图10(b)是示意性地表示第5实施方式的偏振光照射装置的平面图。本实施方式的偏振光照射装置例如被用于通过朝作为对象物的取向膜照射直线偏振光等偏振光来进行光取向。本实施方式的偏振光照射装置例如被用于制造液晶面板的取向膜或视角补偿膜的取向膜等。
[0154](偏振光照射装置的结构)
[0155]如图9(a)及图9(b)所示，第5实施方式的偏振光照射装置IG具备照射单元10、第I载台11及第2载台12以及搬送机构15。
[0156]第5实施方式的偏振光照射装置IG中，照射单元10、“照射区域A”、光源10a、反射板1b是与第I实施方式相同的构成构件，标注与第I实施方式相同的符号并省略说明。另外，第I载台11及第2载台12形成为矩形状的板状，搭载形成有取向膜的基板9。如图10(a)所示，一组第I载台11及第2载台12由搬送机构15可移动地予以支撑。
[0157]搬送机构15如图10(a)所示，具有:搬送第I载台11的第I搬送路径19a、搬送第2载台12的第2搬送路径1%、以及搬送第I载台11及第2载台12的第3搬送路径19c。
[0158]搬送机构15如图10(b)所示，具有:彼此平行地配置的一组第I引导轴15a、以及与一组第I引导轴15a正交并且彼此平行地配置的一组第2引导轴15b。而且，虽未图示，但搬送机构15具有驱动机构，该驱动机构沿着第I引导轴15a及第2引导轴15b来搬送第I载台11及第2载台12。第I搬送路径19a及第2搬送路径19b借助第I引导轴15a，构成为沿着图9(b)及图10(a)中X轴方向而连续的直线状。第3搬送路径19c借助第2引导轴15b，沿着图9(a)及图10(a)中的Y轴方向而构成为直线状，且正交于第I搬送路径19a及第2搬送路径19b的搬送方向。因此，第I搬送路径至第3搬送路径19a、19b、19c是在同一平面上整体呈T字状而连结。
[0159]第I搬送路径19a如图9(b)及图10(b)所示，将第I载台11从在第I载台11上搭载基板9的第I搭载位置Pl搬送到邻接于照射区域A的照射开始位置P3为止。第2搬送路径19b将第2载台12从在第2载台12上搭载基板9的第2搭载位置P2搬送到照射开始位置P3为止。第3搬送路径19c如图9(a)及图10(b)所示，一端连结于第I搬送路径19a及第2搬送路径19b的各端部，由此，一端连结于照射开始位置P3。而且，第3搬送路径19c的另一端通过照射区域A而延伸到邻接于照射区域A的通过位置P4为止。由此，第3搬送路径19c搬送第I载台11及第2载台12。
[0160]搬送机构15在第I搭载位置Pl与通过位置P4之间，使第I载台11沿着第I搬送路径19a及第3搬送路径19c而往复，并且在第2搭载位置P2与通过位置P4之间，使第2载台12沿着第2搬送路径19b及第3搬送路径19c而往复。
[0161 ](偏振光照射时的各载台的动作)
[0162]对于以上述方式构成的偏振光照射装置1G，参照附图来说明相对于照射单元10来搬送第I载台11及第2载台12并对基板9照射偏振光的动作。图11至图15是用于说明第5实施方式的偏振光照射装置中的第I载台及第2载台的动作的示意平面图。
[0163]首先，如图10(a)及图10(b)所示，在位于第I搭载位置Pl的第I载台11上搭载基板
9。然后，如图11所示，第I载台11由搬送机构15从第I搭载位置Pl沿着第I搬送路径19a搬送到照射开始位置P3为止。然后，第I载台11由搬送机构15从照射开始位置P3沿着第3搬送路径19c，通过照射单元10的照射区域A而搬送到通过位置P4为止。此时，第I载台11通过照射区域A，由此对基板9的取向膜照射规定量的偏振光。
[0164]紧接着，如图11所示，第I载台11由搬送机构15从通过位置P4沿着第3搬送路径19c，通过照射区域A而搬送到照射开始位置P3为止。此时，第I载台11再次通过照射区域A，由此对基板9的取向膜照射规定量的偏振光后，偏振光的照射结束。因此，照射开始位置P3也相当于照射结束位置。以下，为了便于说明，将照射开始位置P3也称作照射结束位置P3。
[0165]然后，如图12所示，第I载台11从照射结束位置P3沿着第I搬送路径19a被搬送到第I搭载位置Pl为止。此时，与第I载台11从照射结束位置P3(照射开始位置P3)朝向第I搭载位置Pl的移动联动地，第2载台12从第2搭载位置P2朝向照射开始位置P3，沿着第2搬送路径19b受到搬送。
[0166]关于开始搬送第2载台12的时机，与第I载台11从照射结束位置P3朝向第I搭载位置Pl开始移动的动作联动地，第2载台12从第2搭载位置P2朝向照射开始位置P3开始移动的动作，在缩短生产节拍的观点上为优选。另外，也可根据需要，在第I载台11从照射结束位置P3返回到第I搭载位置Pl为止后，第2载台12从第2搭载位置P2朝向照射开始位置P3开始移动。
[0167]因此，在第I载台11通过照射区域A而在第I搭载位置Pl与照射结束位置P3之间往复的动作过程中，在位于第2搭载位置P2的第2载台12上搭载基板9。
[0168]然后，如图13所示，第2载台12由搬送机构15从第2搭载位置P2沿着第2搬送路径19b而搬送到照射开始位置P3为止后，从照射开始位置P3沿着第3搬送路径19c，通过照射区±或八而被搬送到通过位置P4为止。而且，第2载台12由搬送机构15从通过位置P4沿着第3搬送路径19c，通过照射区域A而被搬送到照射开始位置P3(照射结束位置P3)为止。此时，第2载台12在照射区域A往复，由此对基板9的取向膜照射规定量的偏振光。
[0169]而且，如图13所示，在第2载台12通过照射区域A而在第2搭载位置P2与照射结束位置P3之间往复的动作过程中，从已返回到第I搭载位置Pl的第I载台11回收照射已结束的基板9，并且在第I载台11上搭载下个基板9。
[0170]紧跟着，如图14所示，与第2载台12从照射结束位置P3被搬送到第2搭载位置P2为止的动作联动，搭载有下个基板9的第I载台11从第I搭载位置Pl朝向照射开始位置P3受到搬送。
[0171]与所述同样地，如图15所示，第I载台11在从第I搭载位置Pl沿着第I搬送路径19a被搬送到照射开始位置P3为止后，从照射开始位置P3沿着第3搬送路径19c，通过照射区域A而被搬送到通过位置P4为止。第I载台11由搬送机构15从通过位置P4沿着第3搬送路径19c，通过照射区域A而被搬送到照射开始位置P3(照射结束位置P3)为止。而且，与所述同样地，在第I载台11通过照射区域A而在第I搭载位置Pl与照射结束位置P3之间往复的动作过程中，从已返回到第2搭载位置P2的第2载台12回收照射已结束的基板9，并且在第2载台12上搭载下个基板9。
[0172]以后，交替地反复进行如下动作，S卩，对第I载台11上的基板9的取向膜照射偏振光、与对第2载台12上的基板9的取向膜照射偏振光。
[0173](第5实施方式的效果)
[0174]第5实施方式中的搬送机构15具有:将第I载台11从第I搭载位置Pl搬送到照射开始位置P3为止的第I搬送路径19a、以及将第2载台12从第2搭载位置P2搬送到照射开始位置P3为止的第2搬送路径19b。而且，搬送机构15具有第3搬送路径19c，该第3搬送路径19c的一端连结于照射开始位置P3，并且另一端延伸到通过位置P4为止，搬送第I载台11及第2载台
12。并且，搬送机构15在第I搭载位置Pl与通过位置P4之间，使第I载台11沿着第I搬送路径19a及第3搬送路径19c而往复，并且在第2搭载位置P2与通过位置P4之间，使第2载台12沿着第2搬送路径19b及第3搬送路径19c而往复。
[0175]由此，能够与其中一个第I载台11(第2载台12)从照射结束位置P3返回到第I搭载位置Pl(第2搭载位置P2)为止的动作联动地，将另一个第2载台12(第I载台11)从第2搭载位置P2(第I搭载位置Pl)搬送到照射开始位置P3为止。因此，第I载台11的搬送动作的一部分与第2载台12的搬送动作的一部分是同时进行，因此能够缩短生产节拍。换言之，第I载台11的照射开始位置P3 (照射结束位置P3)与第2载台12的照射开始位置P3 (照射结束位置P3)为同一位置，因此能够抑制生产节拍的变长。
[0176]而且，在照射单元的照射区域的两侧配置有第I搭载位置与第2搭载位置的情况下，搬送第I载台及第2载台的搬送路径成为呈直线状延伸的长条状。然而，根据第5实施方式，通过在照射区域A的一端侧配置有第I搭载位置Pl及第2搭载位置P2，从而能够避免需要长条状的设置空间(细长的设置空间)的情况。因此，能够抑制设置空间的增大。
[0177]因此，根据第5实施方式，能够抑制生产节拍的变长，并且能够抑制装置整体的设置空间的增大。
[0178]而且，第5实施方式中，第I搬送路径19a及第2搬送路径19b的搬送方向在同一平面上与第3搬送路径19c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第I载台11及第2载台12的机构，因此能够抑制搬送机构15的复杂化。
[0179](第6实施方式)
[0180]图16是示意性地表示第6实施方式的偏振光照射装置的平面图。第6实施方式与第5实施方式不同的是:搬送第I载台11的第I搬送路径的配置、以及搬送第2载台12的第2搬送路径的配置。
[0181]如图16所示，第6实施方式的偏振光照射装置IH具有:搬送第I载台11的第I搬送路径29a、搬送第2载台12的第2搬送路径29b、以及搬送第I载台11及第2载台12的第3搬送路径29c。第I搬送路径29a、第2搬送路径29b及第3搬送路径29c构成为直线状。
[0182]第3搬送路径29c的一端连结于第I搬送路径29a及第2搬送路径29b，并且另一端延伸到通过位置P4为止。第2搬送路径29b与第3搬送路径29c以呈直线状连续的方式而连结。第I搬送路径29a以在同一平面上与第2搬送路径29b及第3搬送路径29c的搬送方向正交的方式而连结于第3搬送路径29c。
[0183](第6实施方式的效果)
[0184]在第6实施方式中，也与第5实施方式同样地，能够抑制生产节拍的变长并且抑制装置整体的设置空间的增大。
[0185]而且，在第6实施方式中，第I搬送路径29a及第2搬送路径29b的搬送方向也在同一平面上与第3搬送路径29c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第I载台11及第2载台12的机构，因此能够简单地构成搬送机构15。
[0186]第6实施方式中，第I搭载位置Pl与第2搭载位置P2是靠近地配置。通过采用此种结构，能够将在第I搭载位置Pl处向第I载台11上搭载对象物的对象物搭载机构(未图示)与在第2搭载位置P2处向第2载台12上搭载对象物的对象物搭载机构(未图示)共用化，因此能够抑制对象物搭载机构的增大。
[0187]另外，第6实施方式中构成为搬送2个载台即第I载台11及第2载台12，但也可根据需要来构成为搬送3个以上的载台。在此情况下，例如在第6实施方式中，也可在与第I载台11的第I搭载位置Pl相向的位置，配置第3载台的第3搭载位置及搬送第3载台的搬送路径。
[0188](第6实施方式的变形例)
[0189]图17是示意性地表示第6实施方式的变形例的偏振光照射装置的平面图。第6实施方式的变形例与第6实施方式不同的是搬送第2载台12的第2搬送路径的配置。
[0190]如图17所示，第6实施方式的变形例的偏振光照射装置IJ具有:搬送第I载台11的第I搬送路径39a、搬送第2载台12的第2搬送路径39b、以及搬送第I载台11及第2载台12的第3搬送路径39c。第I搬送路径39a、第2搬送路径39b及第3搬送路径39c构成为直线状。
[0191]第3搬送路径39c的一端连结于第I搬送路径39a及第2搬送路径39b，并且另一端延伸到通过位置P4为止。而且，第I搬送路径39a、第2搬送路径39b及第3搬送路径39c是以照射开始位置P3 (照射结束位置P3)为中心，朝彼此交叉的方向呈放射状延伸，且一端彼此连结。因此，第I搬送路径39a、第2搬送路径39b及第3搬送路径39c是在同一平面上整体呈Y字状地连结。
[0192](第6实施方式的变形例的效果)
[0193]第6实施方式的变形例中，也与第6实施方式同样地，能够抑制生产节拍的变长。
[0194]而且，第6实施方式的变形例中，第I搬送路径39a及第2搬送路径39b的搬送方向也在同一平面上与第3搬送路径39c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第I载台11及第2载台12的机构，因此能够抑制搬送机构15的复杂化。
[0195]第6实施方式的变形例中，第I搭载位置Pl与第2搭载位置P2也是靠近地配置。通过采用此种结构，能够将在第I搭载位置Pl处向第I载台11上搭载对象物的对象物搭载机构(未图示)与在第2搭载位置P2处向第2载台12上搭载对象物的对象物搭载机构(未图示)共用化，因此能够抑制对象物搭载机构的增大。
[0196](第7实施方式)
[0197]图18(a)是示意性地表示第7实施方式的偏振光照射装置的侧面图。图18(b)是示意性地表示第7实施方式的偏振光照射装置的平面图。第7实施方式与第5实施方式及第6实施方式不同的是:搬送第I载台11的第I搬送路径的配置、以及搬送第2载台12的第2搬送路径的配置。
[0198]如图18(a)及图18(b)所示，第7实施方式的偏振光照射装置IK具有:搬送第I载台11的第I搬送路径49a、搬送第2载台12的第2搬送路径49b、以及搬送第I载台11及第2载台12的第3搬送路径49c。第I搬送路径49a、第2搬送路径49b及第3搬送路径49c构成为直线状。
[0199]第3搬送路径49c的一端连结于第I搬送路径49a及第2搬送路径49b，并且另一端延伸到通过位置P4为止。如图18(a)所示，第I搬送路径49a与第2搬送路径49b在上下方向上并排配置。换言之，位于第I搭载位置Pl的第I载台11与位于第2搭载位置P2的第2载台12在上下方向上并排配置。而且，第I搬送路径49a及第2搬送路径49b如图18(b)所示，以呈直线状连续的方式而连结于第3搬送路径49c。
[0200]而且，第I搬送路径49a与第2搬送路径49b是以在从与第I载台11及第2载台12的搭载面相向的方向观察时重合的方式而配置，从而装置整体的设置空间得以削减。另外，第I搬送路径49a与第2搬送路径49b也可根据配置的限制或搬送机构的简化等的需要，而配置在从与第I载台11及第2载台12的搭载面相向的方向观察时不重合的位置。
[0201](第7实施方式的效果)
[0202]第7实施方式中，第I搬送路径49a与第2搬送路径49a是在上下方向上并排配置，因此与第5实施方式及第6实施方式相比，能够进一步减小装置整体的设置空间，从而能够进一步抑制设置空间的增大。即，第7实施方式在难以确保相对于水平方向的设置空间的情况下为优选，能够相对于作为水平方向的设置面内方向而进一步抑制设置空间的增大。
[0203]而且，第7实施方式中，也与第5实施方式或第6实施方式同样地，能够抑制生产节拍的增大。
[0204]另外，所述的各实施方式中，构成为直线状的第I搬送路径至第3搬送路径是连结地构成，但并不限定于该结构。例如，第I搬送路径及第2搬送路径中的至少一个与第3搬送路径的一端也可弯曲成弧状而连结。也可通过使第I搬送路径与第3搬送路径、第2搬送路径与第3搬送路径圆滑地连结，从而提高搬送动作的顺畅性。
[0205]而且，第I载台及第2载台也可具有所谓的对准机构，该对准机构在第I搭载位置Pl及第2搭载位置P2处搭载对象物后进行对位。
[0206]第I载台及第2载台也可具有搭载机构，该搭载机构设置有多个销或可动部，通过使多个销或可动部升降，从而将对象物搭载于第I载台及第2载台。
[0207]所述的各实施方式中，仅具有I个照射单元10而构成，但并不限定于该结构。例如，也可使多个照射单元10沿着第3搬送路径的搬送方向而隔开规定间隔地设置有多个。此时，照射区域A不仅可设为多个照射单元10的正下方，也可设为如下所述的区域，S卩，从配置在一端侧的照射单元10的最下表面的开口的一端，直至配置在另一端侧的照射单元10的最下表面的开口的另一端之间的区域。
[0208]对本实用新型的实施方式进行了说明，但实施方式仅为例示，并不意图限定本实用新型的范围。实施方式能够以其他的各种形态来实施，在不脱离实用新型的主旨的范围内，能够进行各种省略、置换、变更。实施方式及其变形包含在本实用新型的范围或主旨内，同样包含在本实用新型的技术方案及其均等的范围内。
【主权项】
1.一种光取向用偏振光照射装置，其特征在于，包括: 照射单元，具有朝对象物照射偏振光的照射区域； 第I载台及第2载台，配置有搭载所述对象物的第I搭载位置及第2搭载位置；以及 搬送机构，具有通过所述照射区域而连结所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的至少一条搬送路径，且在所述搭载位置、与所述第I载台及所述第2载台通过所述照射区域而邻接于所述照射区域的通过位置之间，使所述第I载台及所述第2载台交替地沿着所述至少一条搬送路径而往复。2.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，还包括: 退避机构，使位于所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的所述第I载台及所述第2载台中的至少一个载台，在另一个载台被搬送到所述通过位置的状态，移动到离开所述通过位置的退避位置， 所述搭载位置相对于所述通过位置而配置成，位于所述第I搭载位置及所述第2搭载位置的所述至少一个载台、与位于所述通过位置的另一个载台的至少一部分在同一平面上重入口 ο3.根据权利要求2所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述至少一个载台是所述退避位置与所述搭载位置位于同一平面上。4.根据权利要求2所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述至少一个载台是所述退避位置与所述搭载位置位于不同平面上。5.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述至少一个载台是所述搭载位置相对于所述通过位置而配置成:在同一平面上，在所述至少一个载台位于所述搭载位置的状态，与位于所述通过位置的另一个所述载台整体重合。6.根据权利要求2至4中任一项所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述退避机构使所述至少一个载台沿着与所述其中一个载台被往复搬送的搬送方向相同的方向而移动到所述退避位置。7.根据权利要求1所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述搬送路径具有:第I搬送路径，从在所述第I载台上搭载所述对象物的所述第I搭载位置，将所述第I载台搬送到邻接于所述照射区域的照射开始位置;第2搬送路径，从在所述第2载台上搭载所述对象物的所述第2搭载位置，将所述第2载台搬送到所述照射开始位置为止；以及第3搬送路径，一端连结于所述照射开始位置，并且另一端通过所述照射区域而延伸到邻接于所述照射区域的通过位置为止，并搬送所述第I载台及所述第2载台， 所述搬送机构在所述第I搭载位置与所述通过位置之间，使所述第I载台沿着所述第I搬送路径及所述第3搬送路径而往复，并且在所述第2搭载位置与所述通过位置之间，使所述第2载台沿着所述第2搬送路径及所述第3搬送路径而往复。8.根据权利要求7所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述第I搬送路径及所述第2搬送路径中的至少一条搬送路径的搬送方向与所述第3搬送路径的搬送方向在同一平面上交叉。9.根据权利要求7所述的光取向用偏振光照射装置，其特征在于，所述第I搬送路径与所述第2搬送路径在上下方向上并排配置。
【文档编号】G02F1/1337GK205427399SQ201520877086
【公开日】2016年8月3日
【申请日】2015年11月5日
【发明人】前田祥平, 田中贵章
【申请人】东芝照明技术株式会社