Dmd投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，包括：以倾斜角度置于底座（4）上表面的DMD集成组件（2）以及PCB板件（3）；所述DMD集成组件（2）为两套、倾斜平行对称分布在PCB板件（3）两侧；其中，DMD集成组件（2）的Z轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路（1）对同角度倾斜的PCB板件（3）A、B面同时进行平行曝光；本实用新型通过在PCB板件两边倾斜平行设置两套DMD器件投影光路能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，同时保证了产品的质量。
【专利说明】
DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统
技术领域
[0001]本实用新型涉及一种曝光系统，具体是一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，属于直写式光刻机快速扫描曝光技术领域。
【背景技术】
[0002]直写式光刻技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式光刻技术的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位;利用该技术可以缩短工艺流程，并降低生产成本。
[0003]目前市场上主流的直写式光刻机大多以单工件台方式进行扫描曝光:即先将被曝光工件的A面曝光完成后，再进行翻版，然后对B面进行曝光;在单工件台系统中，用于曝光的基板的上板、对准、曝光、下板是依次进行的。
[0004]依据目前的结构系统，各操作流程均已经达到耗时的上限，很难再缩短某个操作步骤的操作时间，即单工件台的直写式光刻机由于各操作流程的串行性质，已很难再提高产能。
【发明内容】
[0005]针对上述现有技术存在的问题，本实用新型提供一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，该系统能够同时曝光被曝光工件的正反两面，进一步提高工作效率，从而提尚广能。
[0006]为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，包括:
[0007]倾斜置于底座上表面的DMD集成组件以及PCB板件；
[0008]所述DMD集成组件为两套、倾斜平行对称分布在PCB板件两侧；其中，DMD集成组件的Z轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路对同角度倾斜的PCB板件A、B面同时进行平行曝光。
[0009]所述的倾斜角度为1°至98°。
[0010]所述的DMD集成组件上部和底部均始终与PCB板件上、底部平齐。
[0011 ]所述的DMD集成组件底部可拆卸式固定在底座上表面，PCB板件在倾斜角度方向上移动曝光。
[0012]所述的DMD集成组件底部以插槽或卡扣形式或者固定在底座上。
[0013]所述的PCB板件与底座接触处还设有导向槽以使PCB板件在倾斜角度上准确直线平移。
[0014]与现有的单工件台扫描曝光形式相比，本实用新型通过在PCB板件两边倾斜平行设置两套DMD器件投影光路能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，同时保证了产品的质量。
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型系统示意图。
[0016]图中:1、DMD器件投影光路，2、DMD集成组件，3、PCB板件，4、底座。
【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型作进一步说明。
[0018]其中，本实用新型以附图1为基准，附图1的左、右、上、下、底部、中心、端部为本实用新型的左、右、上、下、底部、中心、端部。应注意到的是:除非另外具体说明，否则本实施例中阐述的部件的相对布置、数值等不限于本实用新型的范围。
[0019]如图1所示为一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，包括:
[0020]以倾斜角度置于底座4上表面的DMD集成组件2以及PCB板件3;
[0021]所述DMD集成组件2为两套、倾斜平行对称分布在PCB板件3两侧；其中，DMD集成组件2的Z轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路I对同角度倾斜的PCB板件3A、B面同时进行平行曝光，这里的A、B面也可以叫做正、反面。
[0022]上述的倾斜角度为倾斜角度为1°至98°，具体倾斜角度可以根据实际情况进行设计选取。
[0023]进一步，为了保证曝光率，所述的DMD集成组件2底部和上部均始终与PCB板件3上、底部平齐。
[0024]同时，DMD集成组件2底部可拆卸式固定在底座4上表面，PCB板件3在倾斜角度方向上移动曝光。
[0025]上述的可拆卸式可以为插槽或卡扣形式或者固定在底座4上，可根据实际需要进行选择。
[0026]同时为了保证PCB板件3在倾斜角度上上准确直线平移，在所述PCB板件3与底座4接触处还设有导向槽。
[0027]综上所述:与现有的单工件台扫描曝光形式相比，本实用新型通过在PCB板件3两边以倾斜平行设置两套DMD器件投影光路I能够同时曝光被曝光工件的正反两面，使得工作的效率提升一倍，更好的提高了产能，同时保证了产品的质量。
[0028]对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其它的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
[0029]以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本实用新型技术方案的保护范围之内。
【主权项】
1.一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，其特征在于，包括: 以倾斜角度置于底座(4)上表面的DMD集成组件(2 )以及PCB板件(3 ); 所述DMD集成组件(2)为两套、倾斜平行对称分布在PCB板件(3)两侧；其中，DMD集成组件(2)的Z轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路(I)对同角度倾斜的PCB板件(3)A、B面同时进行平行曝光。2.根据权利要求1所述的一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，其特征在于，所述的倾斜角度为1°至98°。3.根据权利要求1所述的一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，其特征在于，所述的DMD集成组件(2)上部和底部均始终与PCB板件(3)上、底部平行对齐。4.根据权利要求2所述的一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，其特征在于，所述的DMD集成组件(2)底部可拆卸式固定在底座(4)上表面，PCB板件(3)在倾斜角度方向上移动曝光。5.根据权利要求3所述的一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，其特征在于，所述的DMD集成组件(2)底部以插槽或卡扣形式或者固定在底座(4)上。6.根据权利要求3所述的一种DMD投影光路垂直线阵的激光直写倾斜双面曝光系统，其特征在于，所述的PCB板件(3 )与底座(4 )接触处还设有导向槽以使PCB板件(3 )在倾斜角度上准确直线平移。
【文档编号】G03F7/20GK205507355SQ201620060016
【公开日】2016年8月24日
【申请日】2016年1月22日
【发明人】马汝治, 赵华, 张伟, 徐巍, 王翰文
【申请人】江苏影速光电技术有限公司