专利名称：磁控管及磁控管用吸气剂的刷涂工艺的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种磁控管，特别是一种磁控管及磁控管用吸气剂的刷涂工艺。
背景技术：
众所周知，在磁控管工作时，磁控管的组件会散发气体，如H2、 02、 H20、 CO、 C02、 N2等，因而造成磁控管内部的真空度减低，磁控管的振 动效率也由此降低，有可能导致对磁控管的振动停止而无法正常工作。为了 解决这个问题，通常釆用在磁控管内部布置吸气剂来吸收磁控管工作时所散 发出的气体，例如中国专利文献号CN101170039A所揭示的，采用在磁控管 的上端盖的上表面放置钛、锆或类似物制成的吸气剂。然而，由于磁控管的 阴极端盖由于磁控管进行排气工艺及工作时的温度高，阴极丝线圏温度达到 1600'C以上，端帽的温度也超过80(TC，而吸气剂的激活温度在400-500。C, 因此容易造成吸气剂烧结、蜕皮掉粉等缺陷，使吸气速率与吸气容量降低， 降低吸气效果，从而导致磁控管无法正常工作。
发明内容
本发明的目的旨在提供一种既能激活吸气剂，又不至于因温度过高而导 致吸气剂烧结、掉粉等缺陷，还能保障吸气剂的正常吸气功效，从而保证磁 控管的真空度，实现磁控管正常工作，延长磁控管使用寿命的磁控管及磁控 管用吸气剂的涂刷工艺，以克服现有技术中的不足之处。
按此目的设计的一种磁控管，包括阳极简形件和阴极构件，阳极简形件 上设置有一个以上朝着阳极简形件的中心突出的叶片，上磁极和下磁极分别 覆盖在阳极简形件的上下二端，阴极构件设置在阳极简形件的中心轴上，阳 极简形件和阴极构件共同围成作用空间，阴极构件包括丝极线圏、支持丝极 线圈的上端盖和下端盖、具有固定到上端盖的引导端部且在穿透下端盖的同 时不与丝极线圏接触的中心引线，其结构特征是上磁极的下表面或下磁极的 上表面设置有吸气剂。
所述上磁极的下表面或下磁极的上表面设置有一个以上的镍片，吸气剂粉末压入镍片中。
所述镍片为二个以上，其相互叠加后形成杯状。
所述杯状的外形尺寸直径小于等于5mm，高度小于等于2mm。
所述镍片焊接在上磁极的下表面或下磁极的上表面。
所述叶片上设置有环体。
一种磁控管用吸气剂的涂刷工艺，其特征是首先将粒径约为40微米的 吸气剂粉末、硝化棉、乙酸丁酯和丙酮，按照比例吸气剂16土lg,硝化 棉0.5土0.1g，乙酸丁酯12土lml，丙酮2.5土0.5ml调配成浆料，然后将此 浆料均匀涂刷在上磁极的下表面或下磁极的上表面，待浆料自然干燥后吸气 剂被稳定的固置在在上磁极的下表面或下磁极的上表面。
由于磁控管在进行排气、老练工艺及工作过程中，磁极的温度在550-600 °C,比吸气剂的激活温度400-500X:高50-150'C,因此既能激活吸气剂也不 至于因温度过高而导致吸气剂烧结、掉粉等缺陷，保障了吸气剂的正常吸气 功效，从而保证了磁控管的真空度，实现磁控管的正常工作。
本发明的磁控管可以充分发挥磁极在排气过程中的温度-时间特性，将 吸气剂装配在磁极上，进行充分激活，同时还可以发挥吸气剂在室温下的优 异的吸气性能。吸气剂在低温下就能激活，避免了在磁控管工作过程中被烧 结、出现褪皮的缺陷，能稳定的保持磁控管内的真空度，确保磁控管正常工 作，从而延长磁控管的使用寿命。
本发明中的吸气剂由锆、钛或类似物制成，具体参见中国专利文献号 CN1050047A中公开的一种非蒸散型低温激活吸气剂及其制造工艺。
图1为本发明一实施例的局部剖视结构示意图。
图2为吸气剂焊装布置在上磁极上的示意图。
图3为吸气剂涂装在上磁极上的示意图。
图4为磁极在磁控管排气工序中的温度-时间特性曲线。
图中l为阳极简形件，2为上磁极，3为下磁极，4为吸气剂，5为阴
极构件，6为镍片，ll为叶片，12为环体，51为丝极线圏，52为上端盖，
53为下端盖，54为中心引线。
具体实施例方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述。
参见图1-图3,本磁控管，包括阳极简形件1和阴极构件5,阳极简形 件1上设置有一个以上朝着阳极简形件的中心突出的叶片11，叶片上设置
4有环体12。上磁极2和下磁极3分别覆盖在阳极简形件1的上下二端，阴 极构件5设置在阳极简形件1的中心轴上，阳极简形件1和阴极构件5共同 围成作用空间，阴极构件5包括丝极线圈51、支持丝极线圈51的上端盖52 和下端盖53、具有固定到上端盖52的引导端部且在穿透下端盖53的同时 不与丝极线圈51接触的中心引线54，上磁极2的下表面或下磁极3的上表 面设置有吸气剂。
本磁控管中吸气剂可通过二种方法设置在上磁极2的下表面或下磁极3 的上表面。
第一种方法选取粒径约为40微米左右的吸气剂颗粒粉末，将一定量 吸气剂粉末压入镍片6内，在上磁极2的下表面或下磁极3的上表面设置有 一个以上的镍片6。镍片6通过焊接固置在上磁极2的下表面或下磁极3的 上表面。当镍片6为二个以上时，其相互叠加后形成杯状。杯状的外形尺寸 直径小于等于5mm,高度小于等于2mm。然后按磁控管正常工艺进行排气、 老练工艺，最后吸气剂被稳定固置在磁极表面上。
第二种方法首先将粒径为40微米的吸气剂粉末、硝化棉、乙酸丁酯 和丙酮，按照比例按照比例吸气剂16土lg，硝化棉0.5土0.1g，乙酸丁 酯12士lml，丙酮2.5±0.51111调配成浆料，然后将此浆料均匀涂刷在上磁极 2的下表面或下磁极3的上表面，待浆料自然干燥后，再按磁控管正常工艺 进行排气、老练，最后，吸气剂被稳定的固置在上磁极2的下表面或下磁极 3的上表面。
参见图4,由于在排气过程中，上磁极2或下磁极3的最高温度约为 550-600°C，且时间约为30分钟。因此，此排气工艺非常适合上述固置在上 磁极2的下表面或下磁极3的上表面的吸气剂充分激活。
权利要求
1.一种磁控管，包括阳极筒形件(1)和阴极构件(5)，阳极筒形件上设置有一个以上朝着阳极筒形件的中心突出的叶片(11)，上磁极(2)和下磁极(3)分别覆盖在阳极筒形件的上下二端，阴极构件设置在阳极筒形件的中心轴上，阳极筒形件和阴极构件共同围成作用空间，阴极构件包括丝极线圈(51)、支持丝极线圈的上端盖(52)和下端盖(53)、具有固定到上端盖的引导端部且在穿透下端盖的同时不与丝极线圈接触的中心引线(54)，其特征是上磁极的下表面或下磁极的上表面设置有吸气剂。
2. 根据权利要求1所述的磁控管，其特征是所述上磁极(2)的下表面 或下磁极(3 )的上表面设置有一个以上的镍片(6 )，吸气剂粉末压入镍片中。
3. 根据权利要求2所述的磁控管，其特征是所述镍片(6)为二个以上, 其相互叠加后形成杯状。
4. 根据权利要求3所述的磁控管，其特征是所述杯状的外形尺寸直径 小于等于5mm,高度小于等于2mm。
5. 根据权利要求2或3所述的磁控管，其特征是所述镍片(6)焊接在 上磁极(2)的下表面或下磁极(3)的上表面。
6. 根据权利要求1所述的磁控管，其特征是所述叶片(11)上设置有环 体(12)。
7. —种如权利要求1所述的磁控管用吸气剂的刷涂工艺，其特征是首先 将粒径约为40微米的吸气剂粉末、硝化棉、乙酸丁酯和丙酮，按照比例吸 气剂16士lg，硝化棉0.5士0.1g,乙酸丁酯12土lml，丙酮2.5土0.5ml调配成 浆料，然后将此浆料均匀涂刷在上磁极(2)的下表面或下磁极(3)的上表 面，待浆料自然干燥后吸气剂被稳定的固置在在上磁极的下表面或下磁极的 上表面。
全文摘要
一种磁控管及磁控管用吸气剂的刷涂工艺，磁控管包括阳极筒形件和阴极构件，阳极筒形件上设置有一个以上朝着阳极筒形件的中心突出的叶片，上磁极和下磁极分别覆盖在阳极筒形件的上下二端，阴极构件设置在阳极筒形件的中心轴上，阳极筒形件和阴极构件共同围成作用空间，阴极构件包括丝极线圈、支持丝极线圈的上端盖和下端盖、具有固定到上端盖的引导端部且在穿透下端盖的同时不与丝极线圈接触的中心引线，上磁极的下表面或下磁极的上表面设置有吸气剂。本发明具有既能激活吸气剂，又不至于因温度过高而导致吸气剂烧结、掉粉等缺陷，还能保障吸气剂的正常吸气功效，从而保证磁控管的真空度，实现磁控管正常工作的特点。
文档编号H01J25/00GK101625951SQ200910041828
公开日2010年1月13日 申请日期2009年8月7日 优先权日2009年8月7日
发明者王彩育, 王贤友, 葛春桥 申请人:美的集团有限公司