专利名称：多功能复合型样品台支架的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种新型的多功能复合型样品台支架，属于电镜制造的技术领 域。
背景技术：
样品台支架是用于摆放各种形状的样品台，诸如圆柱形样品台和钉型样品台。常规而言，不同公司生产的样品台支架可以固定的样品台种类不同。JE0L、ISS/ABT/T0PC0N等 公司的扫描电镜专用圆柱型样品台，Cambridge，Leica, ZEISS/LEO, FEI/Phi lips，CamScan， Tescan, Hitachi等公司的扫描电镜专用钉型样品台。一般样品台支架只能单一地固定同 一种类型的样品台，很少有能同时固定不同形状样品台的支架。上述前一类公司的标准样 品台支架无法有效固定钉型样品台，后一类公司的标准样品台支架无法有效固定圆柱型样 品台。与此同时，目前现有的样品台支架能固定的样品台数量往往较少。JE0L-5610LV型电 镜由于样品在样品室中的有效观测范围较小，标准样品台支架只有一个和四个的样式。在 开展电镜观察的时候，如果样品数量较多，往往需要频繁换样，工作效率较低。另外，值得一 提的是形貌观察的最佳工作距离大约在IOmm左右，成分分析一般工作距离在20mm左右，二 者相差约IOmm左右。因此，将不同样品台固定在同一样品台支架上同时开展形貌观察和成 分分析测试时，往往需要反复上下移动样品台支架以期不断改变工作距离，从而实现形貌 观察和成分分析对于工作距离最佳适应性的不同要求。即针对同一样品台支架，在开展形 貌观察和成分分析不同测试切换时，需要同时实现样品台支架上下IOmm距离左右的不断 切换。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题就是针对JE0L-5610LV型电镜所提供的标准样 品台支架的现状提供一种新型的多功能复合型样品台支架，既可以固定圆柱形样品台，又 可以固定钉型样品台，拓展了 JE0L-5610LV型电镜对不同样品台的适应性。而且，本支架 将一次性固定的样品台数量由一个或四个增加至七个，节省了换样时间，提高了使用效率。 此外，本支架合理利用标准钉型样品台(高度约5mm)和标准圆柱型样品台支架(高度约 12-15mm)之间的高度差(约7_10mm左右)，充分适应了形貌观察和成分分析所需要的最佳 工作距离之间的差别(约10mm)，能够在无须反复上下移动样品台的情况下，同时开展针对 不同样品的形貌观察和成分分析测试工作。本实用新型技术的技术方案是一种多功能复合型样品台支架，由圆台样品台支 架构成，其特征在于，在该圆台样品台支架上，垂直地设有6个大圆孔，该6个大圆孔的圆心 分别位于一个同心圆的6个等分点上；同时，在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个垂 直的小圆孔。更优化和更具体的方案是所述圆台样品台支架的直径为32mm，厚度约为5mm ；所 述大圆孔的直径为IOmm ；同心圆的直径为20mm ；所述小圆孔的直径为3. 5mm。[0006]换言之，本实用新型的结构是在直径为32mm的圆台样品台支架上，分别以其圆 心为中心、以其圆心上偏左45°方向和上偏右45°直线距离为IOmm处为中心、以其圆心下 偏左45°方向和下偏右45°直线距离为IOmm处为中心、以其圆心水平向右和水平向左直 线距离为IOmm处为中心，各开有一个直径为IOmm的圆孔；以其圆心中心开有一个直径为 3. 5mm的圆孔，样品台支架高度约为5mm。 本实用新型所解决了现有技术中JE0L-5610LV型电镜的标准样品台支架对样品 台形状的适应具有唯一性；支架有效观测范围较小，一次性固定样品台的数量较少；且不 能在不上下移动样品台的情况下同时最佳地开展形貌观察和成分分析工作等不足。所提供 的新型多功能复合型样品台支架，既可以固定圆柱形样品台，又可以固定钉型样品台；增加 了一次性固定的样品台数量；而且，能够在保持不上下移动样品台的情况下，同时最佳地开 展形貌观察和成分分析工作，有利于拓展JE0L-5610LV型电镜对不同样品台的适应性，节 省换样和观测时间，提高仪器的使用效率，减少机械磨损，延长仪器的使用寿命。
图1是本实用新型多功能复合型单位样品台支架结构示意图。
具体实施方式
实施例1，参照图1 在直径为32mm的圆台样品台支架1上，分别以其圆心为中心、 以其圆心上偏左45°方向和上偏右45°直线距离为IOmm处为中心、以其圆心下偏左45° 方向和下偏右45°直线距离为IOmm处为中心、以其圆心水平向右和水平向左直线距离为 IOmm处为中心，各开有一个直径为IOmm的大圆孔2 ；以其圆心中心开有一个直径为3. 5mm 的小圆孔3，样品台支架1高度约为5mm。其用途可以放置四个专用于JEOL、ISS/ABT/T0PC0N 等公司扫描电镜的标准圆柱型样品台，小圆孔3的用途是可以放置专用于Cambridge， Leica, ZEISS/LEO, FEI/Philips, CamScan, Tescan, Hitachi 等公司扫描电镜的标准钉型样 品台。
权利要求一种多功能复合型样品台支架，由圆台样品台支架构成，其特征在于，在该圆台样品台支架上，垂直地设有6个大圆孔，该6个大圆孔的圆心分别位于一个同心圆的6个等分点上；同时，在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个垂直的小圆孔。
2.根据权利要求1所述的多功能复合型样品台支架，其特征在于，所述圆台样品台支 架的直径为32mm，厚度约为5mm ；所述大圆孔的直径为10mm ；同心圆的直径为20mm ；所述小 圆孔的直径为3. 5mm。
3.根据权利要求1或2所述的多功能复合型样品台支架，其特征在于，所述大圆孔放置 四个专用于JEOL、ISS/ABT/T0PC0N等公司扫描电镜的标准圆柱型样品台；所述小圆孔放置 专用于 Cambridge，Leica，ZEISS/LEO，FEI/Philips，CamScan，Tescan，Hitachi 公司扫描电 镜的标准钉型样品台。
专利摘要多功能复合型样品台支架，由圆台样品台支架构成，特征是在该圆台样品台支架上，垂直地设有6个大圆孔，6个大圆孔的圆心分别位于一个同心圆的6个等分点上；在圆心处也设有一个垂直的小圆孔。优化方案中圆台样品台支架的直径为32mm，厚度约为5mm；大圆孔的直径为10mm；同心圆的直径为10mm；小圆孔的直径为3.5mm。本实用新型解决了JEOL-5610LV型电镜标准样品台支架的不足。本设计既可以固定圆柱形样品台，又可以固定钉型样品台，拓展了JEOL-5610LV型电镜对不同样品台的适应性。本设计增加了一次性固定的样品台数量，节省了换样时间，提高了使用效率。本设计实现了能够在保持工作距离不变的情况下，同时开展形貌观察和成分分析工作，减少了同样条件下需上下不断切换工作距离所带来的机器磨损，延长仪器的使用寿命；同时节省了观测时间，提高了仪器的使用效率。
文档编号H01J37/20GK201590396SQ200920283238
公开日2010年9月22日 申请日期2009年12月30日 优先权日2009年12月30日
发明者景颖杰, 莫祥银 申请人:南京师范大学