多单位圆柱型样品台支架的制作方法

文档序号:2893109阅读:216来源:国知局
专利名称:多单位圆柱型样品台支架的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种新型的多单位圆柱型样品台支架,属于电镜制造的技术领 域。
背景技术
样品台支架是用于摆放各种形状的样品台,不同的电镜公司各自所带的样品台支 架也大多不同,不同公司生产的样品台支架可以固定的样品台种类不同。一般而言,JE0L、 ISS/ABT/T0PC0N等公司的扫描电镜专用圆柱型样品台,由于样品在样品室中的有效观测范 围较小,标准样品台支架也只有一个和四个的样式,严重影响了电镜的使用效率。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题就是针对JE0L-5610LV型电镜所提供的标准样 品台支架的现状提供一种新型的复合型多单位样品台支架,可以增加一次性固定的样品台 数量,有利于拓展JE0L-5610LV型电镜对不同样品台的适应性,提高使用效率,节省换样时 间。本实用新型技术的技术方案具体是这样的一种多单位圆柱型样品台支架,由 JEOL公司或ISS/ABT/T0PC0N公司扫描电镜的标准圆柱型样品台支架构成,其特征在于,在 该圆柱型样品台支架上,垂直地设有6个圆孔,该6个圆孔的圆心分别位于一个同心圆的6 个等分点上;同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个垂直的圆孔;所述7个圆孔 的直径相同。更优化和更具体的方案是所述圆柱型样品台支架的直径为32mm、高度为 5-10mm ;所述圆孔的直径为IOmm ;所述同心圆的直径为20mm。换言之,本实用新型的结构是一种由可以同时放置七个专用于JEOL、ISS/ABT/ TOPCON等公司扫描电镜的标准圆柱型样品台的多单位样品台支架,在直径为32mm的圆台 样品台支架上,分别以其圆心为中心、以其圆心上偏左45°和上偏右方向45°直线距离为 IOmm处为中心、以其圆心下偏左方向45°和下偏右方向45°直线距离为IOmm处为中心、 以其圆心水平向右和向左,直线距离为IOmm处为中心,各开有一个直径为IOmm的垂直的 圆孔,样品台支架高度为5-10mm。同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个直径为 IOmm的垂直的圆孔。本实用新型解决了现有技术中JE0L-5610LV型电镜所提供的标准样品台支架的 样品在样品室中的有效观测范围较小,只有一个和四个的样式,严重影响了电镜的使用效 率的问题;本实用新型提供的复合型多单位样品台支架,可以增加一次性固定的样品台数 量,有利于拓展JE0L-5610LV型电镜对不同样品台的适应性,提高使用效率,节省换样时 间。
图1是多单位圆柱型样品台支架的俯视图。
具体实施方式
实施例1,可以同时放置七个专用于JEOL、ISS/ABT/T0PC0N等公司扫描电镜的标 准圆柱型样品台的多单位样品台支架,参照图1 在直径为32mm的圆台样品台支架1上,分 别以其圆心为中心、以其圆心上偏左45° 和上偏右方向45°直线距离为IOmm处为中心、 以其圆心下偏左方向45°和下偏右方向45°直线距离为IOmm处为中心、以其圆心水平向 右和向左,直线距离为IOmm处为中心,各开有一个直径为IOmm的垂直的圆孔2,样品台支架 高度为5-10mm。同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个直径为IOmm的垂直的圆孔 3。圆台样品台支架1的厚度为5-10mm。其用途可以放置七个专用于JEOL、ISS/ABT/T0PC0N等公司扫描电镜的标准圆柱 型样品台。
权利要求一种多单位圆柱型样品台支架,由JEOL公司或ISS/ABT/TOPCON公司扫描电镜的标准圆柱型样品台支架构成,其特征在于,在该圆柱型样品台支架上,垂直地设有6个圆孔,该6个圆孔的圆心分别位于一个同心圆的6个等分点上;同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个垂直的圆孔;所述7个圆孔的直径相同。
2.根据权利要求1所述的多单位圆柱型样品台支架,其特征在于,所述圆柱型样品台 支架的直径为32mm、高度为5-lOmm ;所述圆孔的直径为IOmm ;所述同心圆的直径为20mm。
3.根据权利要求1或2所述的多单位圆柱型样品台支架,其特征在于,该多单位圆柱型 样品台支架与其上的圆孔,用于放置七个专用于JEOL、ISS/ABT/T0PC0N等公司扫描电镜的 标准圆柱型样品台。
专利摘要多单位圆柱型样品台支架,由JEOL公司或ISS/ABT/TOPCON公司扫描电镜的标准圆柱型样品台支架构成,其特征在于,在该圆柱型样品台支架上,垂直地设有6个圆孔,该6个圆孔的圆心分别位于一个同心圆的6个等分点上;同时,在该圆台样品台支架的圆心处也设有一个垂直的圆孔;所述7个圆孔的直径相同。所述圆柱型样品台支架的直径为32mm、高度为5-10mm;所述圆孔的直径为10mm;所述同心圆的直径为20mm。本实用新型解决了现有技术有效观测范围较小,只有一个和四个的样式,严重影响电镜的使用效率的问题;本实用新型可增加一次性固定的样品台数量,有利于拓展对不同样品台的适应性,提高使用效率,节省换样时间。
文档编号H01J37/28GK201689860SQ20092028323
公开日2010年12月29日 申请日期2009年12月30日 优先权日2009年12月30日
发明者景颖杰, 莫祥银 申请人:南京师范大学
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