专利名称：等离子清洗电极的制作方法
技术领域：
本实用新型与真空卷绕镀膜机的等离子清洗电极有关。
背景技术：
真空卷绕镀膜机的等离子清洗电极用于对塑料薄膜进行清洗，真空卷绕镀膜机是用来在塑料薄膜上蒸镀一层金属膜，蒸镀金属膜前要对塑料薄膜进行清洗，以提高金属膜的附着力。低气压下，充入特定气体，在两组电极间施加一定电压，气体被电离，电离后的等离子体在运动过程中撞击薄膜，去掉薄膜表面的杂质，并使薄膜带电，提高蒸镀的金属膜在薄膜上的附着力。已有的等离子清洗电极结构复杂，安装和维护不便，电极棒过热会造成零件变形和密封圈的损坏，电极外罩易损坏塑料薄膜。实用新型内容本实用新型的目的是提供一种结构简单，安装和维护方便，零件不会因电极棒过热受损，不会损坏塑料薄膜的等离子清洗电极。本实用新型是这样实现的本实用新型等离子清洗电极，电极棒6两端各与一真空箱4连接，其中一端安装在与真空箱4连接的固定座11上，该端与真空箱之间有绝缘环10，其中另一端与真空箱之间有绝缘套筒8并由螺母9固定于真空箱4，电极棒该端有进水管15和出水管14，所述电极棒6外安装有外罩，外罩包括位于电极棒两端的支撑1，与两支撑I连接的固定罩2，与固定罩连接的活动罩3，气管12固定在真空箱4上，并穿过支撑1，固定罩2上装有薄膜导向块13。本实用新型结构简单，安装和维护方便，对电极棒进行维护保养时，只需拆下活动罩。电极棒由水冷却，可防止过热。固定罩外装的薄膜导向块可避免损坏塑料薄膜。
图1为本实用新型结构图。图2为本实用新型的活动罩拆除图。图3为电极棒结构图。图4为电极棒一端与真空箱连接图。图5为电极棒另一端与真空箱连接图。
具体实施方式
在电极棒6和真空箱4之间加高压直流电源，电极棒6为阳极，为使放电区域在一定范围内进行，电极棒6外安装有电极外罩，电极外罩与真空箱4用螺钉连接， 为电源的阴极。电极外罩由电极外罩支撑1、电极固定罩2、电极活动罩3组成，并用螺钉连接；对电极棒进行维护保养时，只需要拆装电极活动罩3。电极棒6内有磁极,一端焊有冷却水进水管15和出水管14,磁极可以使电极棒周围的气体电离更充分，提高清洗能力；长时间清洗，电极棒会发热，通入冷却水可以防止电极棒过热，避免零件变形和密封圈的损坏。电极棒的两端分别固定在真空箱4内，一端用锁母9固定,另一端安装在固定座11上，通过固定座11用螺钉固定在真空箱4上，为防止阴极和阳极导通，在电极与真空箱之间安装绝缘套筒8和绝缘环10。电极外罩上装有气管12，以通入特定气体，被电极棒6电离后产生等离子体，轰击薄膜表面，去掉杂质，并使薄膜带 电，提高蒸镀的金属膜在薄膜上的附着力。电极外罩上装有薄膜导向块13，薄膜从两块导向块13之间穿过，防止薄膜碰到电极固定罩2,避免薄膜损环。
权利要求1.等离子清洗电极，其特征在于电极棒(6)两端各与一真空箱(4)连接，其中一端安装在与真空箱(4)连接的固定座(11)上，该端与真空箱之间有绝缘环(10)，其中另一端与真空箱之间有绝缘套筒(8)并由螺母(9)固定于真空箱(4)，电极棒该端有进水管(15)和出水管(14)，所述电极棒(6)外安装有外罩，外罩包括位于电极棒两端的支撑(I )，与两支撑(I) 连接的固定罩(2)，与固定罩连接的活动罩(3)，气管(12)固定在真空箱(4)上，并穿过支撑 (1)，固定罩(2)上装有薄膜导向块(13)。
专利摘要本实用新型为等离子清洗电极，解决已有清洗电极安装和维护不便，易损坏零件和塑料薄膜的问题。电极棒(6)两端各与一真空箱(4)连接，其中一端安装在与真空箱(4)连接的固定座(11)上，该端与真空箱之间有绝缘环(10)，其中另一端与真空箱之间有绝缘套筒(8)并由螺母(9)固定于真空箱(4)，电极棒该端有进水管(15)和出水管(14)，所述电极棒(6)外安装有外罩，外罩包括位于电极棒两端的支撑(1)，与两支撑(1)连接的固定罩(2)，与固定罩连接的活动罩(3)，气管(12)固定在真空箱(4)上，并穿过支撑(1)，固定罩(2)上装有薄膜导向块(13)。
文档编号H01J37/32GK202881369SQ201220545350
公开日2013年4月17日 申请日期2012年10月24日 优先权日2012年10月24日
发明者张果, 王伟, 姜玉伦, 晋照春 申请人:爱发科东方真空(成都)有限公司