带电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序的制作方法

带电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序的制作方法
【专利摘要】本发明为了提高初学者的带电粒子束装置的技能，特征在于，具有：显示操作画面(200)的图像显示装置，该操作画面显示电子显微镜的操作项目；存储装置，其使辅助按钮(B122)相关的信息与图像(C51)的画质对应，并且与电子显微镜的参数设定值的组合即观察条件对应地存储，其中，所述辅助按钮(B122)相关的信息显示从电子显微镜的检测器取得的图像(C51)状态相关的信息；以及操作程序，其解析从检测器取得的图像的画质，根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置取得辅助按钮(B122)，在操作画面(200)的预定位置显示该取得的辅助按钮(B122)。
【专利说明】带电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序

【技术领域】
[0001]本发明涉及一种带电粒子束装置、试样观察系统以及操作程序的技术。

【背景技术】
[0002]扫描型电子显微镜(以下，称为电子显微镜)的操作中的诸参数的设定值即参数设定值的组合(以下，称为观察条件)的设定大多基于经验。因此，当初学者进行电子显微镜的操作时，存在难于掌握电子显微镜观察条件对拍摄图像产生什么样的影响，初学者的技能迟迟无法提高的问题。
[0003]针对这种问题，专利文献1、2中记载的技术，首先在正式拍摄前进行基于多个简易观察条件的拍摄。然后，在显示部一览显示得到的多个简易观察图像(电子预览:e-preview) 0接着，用户从显示的多个简易观察图像中选择所希望的简易观察图像。于是，由计算机设定所选择的简易观察图像中的观察条件。之后，针对用户选择的简易观察图像进行必要的手动调整，并进行拍摄。在显示部显示作为该拍摄的结果而得到的图像。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1:日本专利第4014916号公报
[0007]专利文献2:日本专利第4014917号公报


【发明内容】

[0008]发明要解决的课题
[0009]然而，专利文献1、2中记载的技术有如下的问题点。
[0010](I)初学者无法识别多个简易观察图像中的哪个图像为最佳。
[0011](2)简易观察图像是未处理的拍摄图像，因此初学者很难掌握多个简易观察图像的每个图像有何不同。
[0012](3)为了得到多个简易观察图像需要时间。即，得到目的图像为止的效率较低。
[0013]本发明是鉴于这样的背景而提出的，本发明的课题是能够提高针对初学者的带电粒子束装置的技能。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]为了解决所述课题，本发明的特征在于，具有:图像显示部，其将显示带电粒子束装置的操作项目的操作画面显示在图像显示装置中；存储部，其使与从所述带电粒子束装置的检测器取得的试样的图像即试样图像的状态相关的信息即状态图像信息与所述试样图像的画质对应，并且使所述状态图像信息与所述带电粒子束装置的参数设定值的组合即观察条件对应地存储；以及处理部，其解析从所述检测器取得的所述试样图像的画质，根据作为所述解析结果的所述试样图像的画质以及当前的观察条件，从存储部取得所述状态图像信息，在所述操作画面的预定位置显示该取得的状态图像信息。
[0016]对于其他的解决手段，在后进行说明。
[0017]发明效果
[0018]根据本发明，能够提高针对初学者的带电离子束装置的技能。

【专利附图】

【附图说明】
[0019]图1是表示本发明的电子显微镜的一例的概要结构图。
[0020]图2是表示本实施方式的电子显微镜的操作过程的流程图。
[0021]图3是表示本实施方式的操作画面的画面例的图。
[0022]图4是表示启动时的操作画面的例子的图(其一)。
[0023]图5是表示启动时的操作画面的例子的图(其二)。
[0024]图6是表示开始向试样照射一次电子束时的操作画面的例子的图。
[0025]图7是表示用户进行的视野搜索、倍率调整时的操作画面的例子的图(其一)。
[0026]图8是表示用户进行的视野搜索、倍率调整时的操作画面的例子的图(其二)。
[0027]图9是表示图像保存(拍摄)中的操作画面的例子的图(其一)。
[0028]图10是表示图像保存(拍摄)中的操作画面的例子的图(其二)。
[0029]图11是表示图像保存(拍摄)中的操作画面的例子的图(其三)。
[0030]图12是表示图像保存(拍摄)中的操作画面的例子的图(其四)。
[0031]图13是表示图像保存(拍摄)中的操作画面的例子的图(其五)。
[0032]图14是表示图像保存(拍摄)中的操作画面的例子的图(其六)。
[0033]图15是表示用户确认图像时以及调整、变更观察条件时的操作画面的例子的图(其一)。
[0034]图16是表示用户确认图像时以及调整、变更观察条件时的操作画面的例子的图(其二)。
[0035]图17是表示用户确认图像时以及调整、变更观察条件时的操作画面的例子的图(其三)。
[0036]图18是表示本实施方式的观察条件设定表的图。
[0037]图19是表示用户确认图像时以及调整、变更观察条件时的操作画面的例子的图(其四)。
[0038]图20是表示用户确认图像时以及调整、变更观察条件时的操作画面的例子的图(其五)。
[0039]图21是表示用户确认图像时以及调整、变更观察条件时的操作画面的例子的图(其六)。
[0040]图22是表示用户确认图像时以及调整、变更观察条件时的操作画面的例子的图(其七)。
[0041]图23是表示用户重新保存(拍摄)图像时的操作画面的图。
[0042]图24是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其一)。
[0043]图25是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其二)。
[0044]图26是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其三)。
[0045]图27是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其四)。
[0046]图28是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其五)。
[0047]图29是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其六)。
[0048]图30是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其七)。
[0049]图31是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其八)。
[0050]图32是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其九)。
[0051]图33是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其十)。
[0052]图34是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其十一)。
[0053]图35是表示用户重新保存(拍摄)图像时的操作画面的图。
[0054]图36是表示用户重新确认图像时以及重新调整、重新变更观察条件时的操作画面的例子的图(其十二)。
[0055]图37是本实施方式的应用辅助画面的变形例。

【具体实施方式】
[0056]接着，适当地参照附图对用于实施本发明的方式(称作“实施方式”)进行详细说明。另外，在各附图中对相同的结构要素赋予相同的符号，并省略说明。
[0057][电子显微镜的结构]
[0058]图1是表示本发明的电子显微镜的一例的概要结构图。
[0059]在电子显微镜(带电粒子束装置、试样观察系统)101中，通过聚光镜3以及物镜8聚焦从电子枪I放射的一次电子束(primary electron beam) 2,并通过上部偏转器(upperdeflector) 6和下部偏转器(lower deflector) 7向试样9上照射。通过检测器10检测从试样9产生的信号电子，经由后述的各电路11?17，通过计算机(图像显示部、处理部)19来处理。在图像显示装置18中显示与扫描位置对应地记录的信号。为了在试样9上使一次电子束2以点状聚焦，设置进行聚焦X调整的X方向像散校正器(X-stigmator) 4、进行聚焦Y方向调整的Y方向像散校正器(Y-stigmator) 5，通过调整这些控制条件能够进行聚焦X调整、聚焦Y调整(像散校正,astigmatism correct1n)。此外,通过调整聚光镜3或物镜8的励磁强度，能够在试样9上进行聚焦调整。将以上的电子光学系统收纳在电子显微镜筒(带电粒子束装置)100中。
[0060]此外,通过CPU (Central Processing Unit,中央处理单元)等计算机19来控制高电压控制电路11、聚光镜控制电路12、X方向像散校正器控制电路13、Y方向像散校正器控制电路14、偏转器控制电路15、物镜控制电路16以及检测信号控制电路17。各控制电路11?17可以分别设置，也可以设置在一个基板上，或者也可以包含在计算机19中。计算机19与图像显示装置18、存储装置(存储部)21以及存储器22连接。如后所述，经由在图像显示装置18中显示的操作画面200 (图3?图37)，用户调整物镜8的聚焦条件、X方向像散校正器4以及Y方向像散校正器5的像散校正条件。此外，预先将本实施方式的操作画面200如后所述地与各操作阶段对应地保存在存储装置21中。此外，如果计算机19与未图示的网络连接，则也可以在与该网络连接的其他存储装置中存储操作画面200。
[0061]另外，在存储器22中展开操作程序31，通过计算机19执行该操作程序31。操作程序31在图像显示装置18中显示操作画面200，根据经由输入装置23输入的信息来控制各部I?17。
[0062]另外，在后进行详细的叙述，操作画面200是根据用户的操作阶段显示的各画面。
[0063][操作过程]
[0064]图2是表示本实施方式的电子显微镜的操作过程的流程图。适当地参照图1，按照图2对本实施方式的操作过程进行说明。
[0065]首先，用户通过启动未图示的操作程序来启动操作画面200(图3?图37) (SlOl)。另外，试样9的设置可以在操作画面200启动后进行，也可以在操作画面200启动前进行。
[0066]然后，计算机19以默认的观察条件来扫描试样9，取得试样图像即扫描像(以下，称作图像)(S102)。操作程序31在图像显示装置18中显示取得的图像。在此，观察条件是电子显微镜101的参数设定值的组合。
[0067]接着，用户针对取得的图像进行视野搜索或倍率调整等(S103)。另外，当自动设定了视野、倍率时，可省略步骤S103的处理。
[0068]计算机19以在步骤S103设定的视野或倍率，随时扫描试样9来取得图像，并显示在图像显示装置18中。
[0069]然后，用户使计算机19将在图像显示装置18中显示的图像保存在存储装置21中(S104)。在本实施方式中，将图像存储在存储装置21中适当称为“拍摄”。
[0070]接着，用户用所取得的图像判断是否满意(S105)。
[0071]当步骤S105的结果为满意时(S105 —是)，用户结束处理。
[0072]当步骤S105的结果为不满意时(S105—否)，即不良(NG)时，用户参考在操作画面200的应用辅助画面202 (图3)等中显示的消息等，进行观察条件的调整或变更(S106)。
[0073]计算机19以被调整、被变更后的观察条件随时扫描试样9来取得图像，并显示在图像显示装置18中。
[0074]然后，操作程序31将处理返回到步骤S103，用户使计算机19将在图像显示装置18中显示的图像重新存储(拍摄)在存储装置21中。
[0075]之后，电子显微镜101重复步骤S103?S106的处理。
[0076][操作画面的结构]
[0077]图3是表示本实施方式的操作画面的画面例的图。
[0078]操作画面200具有:操作引导画面201、应用辅助画面202、图像显示画面203以及操作面板画面204。在后适当地对各画面201?204进行详细的说明。
[0079]操作引导画面201是表示操作过程的画面。在操作引导画面201中，将当前的操作过程显示成主项目(符号Al)、主项目的子项目(符号A2)。于是，即使是初学者也能够容易地掌握操作过程。
[0080]应用辅助画面202是显示针对拍摄条件的变更或调整的建议的画面
[0081]图像显示画面203是显示基于电子显微镜101的图像(扫描像)的画面。
[0082]操作面板画面204是用于进行拍摄条件的变更或调整的画面。
[0083]另外，如后所述地根据用户进行的操作阶段，变更在各画面201?204中显示的内容。
[0084]此外，本实施方式的操作画面200以用户是初学者为前提。
[0085][各操作阶段中的操作画面]
[0086]接着，参照图4至图37，对各操作阶段中的操作画面200的显示内容进行说明。另夕卜，关于构成之后的附图中的各画面201?204的要素，在成为说明对象的画面中仅对必要的要素赋予符号，并省略其他符号。此外，对图4?图37中的大部分附图赋予了操作画面200以及各画面201?204的符号，但在各附图中省略了对操作画面200以及各画面201?204的说明。
[0087]此外，适当地参照图1，步骤编号表示图2中的步骤编号。
[0088](SlOl)
[0089]首先，图4以及图5是操作画面启动时(SlOl)的操作画面的例子。
[0090]图4是表示启动操作画面时的显示内容的图。
[0091]当启动操作画面200时，由于没有进行试样9的拍摄，因此不显示应用辅助画面202 (图3)。此外，在图像显示画面203以及操作面板画面204中不显示任何信息。
[0092]并且，在操作引导画面201中表示当前的操作阶段为“1.准备”的“试样设置确认”，显示确认是否设置试样9的按钮All?A13。
[0093]在此，假定试样9已设置在电子显微镜101上，用户按下“用已设置的试样进行观察”的按钮A13。
[0094]图5是表示启动时的操作画面的例子的图。
[0095]在图5的阶段中，在操作引导画面201中表示当前的操作阶段为“1.准备”的“开始(照射开始)”。
[0096]并且，在操作面板画面204中强调显示开始按钮D1，当用户按下该开始按钮Dl时，电子显微镜101以预先设定的默认的观察条件向试样9照射电子束来进行拍摄。这样，通过强调显示接下来应当操作的按钮等，用户能够学习观察过程。
[0097]此外，通过像这样强调显示接下来要按下的按钮，即使是初学者也能够毫不疑惑地进行操作。
[0098]在本实施方式中，假定设定了 “观察目的=标准的观察、被蒸镀的试样(高真空)作为默认的观察条件。
[0099]在本实施方式中，在默认的观察条件下取得第一张图像，以取得的图像为基础，通过后述的处理进行参数的调整。初学者虽然不知道如何设定电子显微镜101的参数较好，但通过如上所述，用户无需从最初开始进行复杂的参数的设定或观察条件的选择。其结果是，即使是初学者也能够容易地进行观察。
[0100]默认的观察条件可以设定平均的观察条件，也可以设定应该强调的特征明确的观察条件。由于知道了通过默认的观察条件进行拍摄，因此当用户结束试样9的设置时，直到取得图像为止自动地进行也可以，但是通过使用户按下开始按钮Dl等，可以使用户学习过程。
[0101]另外，当按下在操作面板画面204显示的变更按钮D2时，显示观察条件变更画面(例如，在图17中后述的观察目的变更画面304)，能够变更观察目的(关于观察目的的变更，参照图17)。另外，在图5的操作阶段，用户能够设定倍率或视野等，但在此省略说明。另外，操作面板画面204是根据操作引导画面201而变化的画面。
[0102]另外，在预定的阶段，操作程序31也可以在应用辅助画面202中显示与确认有无针对试样9的涂覆相关的信息。此外，操作程序31也可以在应用辅助画面202中显示关于针对试样9的蒸镀的信息、没有进行涂覆的试样9的观察方法(具体而言，选择用于向低真空观察转移的真空度的操作过程)或关于真空度的信息(高真空观察、低真空观察的目的、方法)等与针对试样9的预处理相关的信息。
[0103]通过如上所述，在照射一次电子束2前，用户能够在操作画面200上确认涂覆的有无或获得针对试样的预处理的知识。
[0104]另外，在本实施方式中，在照射一次电子束2前显示与确认涂覆的有无或预处理相关的信息，但并不局限于此，也可以在其他操作阶段显示。
[0105](S102)
[0106]接着，图6是表示开始向试样照射一次电子束时(S102:取得图像)的操作画面的例子的图。
[0107]当用户通过按下图5中的开始按钮Dl来开始针对试样9照射一次电子束2时，如图6所示,操作画面200成为不激活,显示照射状态画面301。
[0108]照射状态画面301具有:通过示意图表示当前的照射状态的示意图画面E1、表示当前的照射进度状态的进度状态画面E2、表示当前的观察条件的观察条件画面E3以及取消按钮E4等。
[0109]在此，作为用户的学习用，也可以代替照射状态画面301显示表示电子显微镜101的原理、与试样9的预处理相关的说明、电子显微镜101的结构、电子显微镜101的操作过程、拍摄中的强调图像的原理等的学习画面。
[0110]或者，也可以代替照射状态画面301显示表示操作画面200中的应用辅助画面202 (图3)等各画面201?204 (图3)的项目的说明、与电子显微镜101的各种调整参数相关的说明等的学习画面。
[0111]尤其，在之后的操作过程中，经常在操作画面200上显示应用辅助画面202。因此，通过在应用辅助画面202上显示学习画面，可以期待提高用户的潜意识中的知识。
[0112]另外，这样的学习画面也可以与照射状态画面301 —起显示。
[0113]即使用户没有注视这样的学习画面，通过在照射一次电子束2时在短时间内重复显示这样的学习画面，可以期待用户的学习效果。此外，操作程序31并不仅局限于照射一次电子束2时或后述的自动聚焦调整中，也可以在用户的待机时间(处理待机时间)在图像显示装置18中重复显示学习画面。在此，用户的待机时间是在电子显微镜101自动地进行各种调整等期间产生的时间。通过如上所述，可以期待进一步提高针对用户的学习效果。此外，也可以在试样室的抽真空期间的用户的待机时间，操作程序31在图像显示装置18中显示学习画面。作为用户的待机时间，试样室的抽真空时间最长，因此通过在该时间内显示学习画面，可以期待提高用户的学习效果。
[0114]这样的学习画面利用用户的待机时间，通过将接下来应当进行的操作方法的说明或电子显微镜101的概念可视化并能够直观地掌握，这一点与ATM (Automated TellerMachine,自动柜员机)和在因特网的网页(web)上显示的广告不同。如上所述，本实施方式与ATM或在因特网的网页(Web)上显示的广告不同点在于，通过将接下来应当进行的操作方法的说明或电子显微镜101的概念可视化并能够直观地掌握，用户能够学习电子显微镜101的原理或与操作方法相关的知识。
[0115](S103)
[0116]接着，图7以及图8是表示用户进行的视野搜索、倍率调整时(S103)的操作画面的例子的图。
[0117]图7是表不一次电子束的照射刚完成之后的显不内容的图。
[0118]在此，一次电子束2的照射完成，用户针对取得的图像进行倍率的调整或视野搜索。
[0119]在操作引导画面201中表示当前的操作阶段为“2.视野搜索”的“倍率调整、视野搜索”。
[0120]并且，在图像显示画面203中显示进行了一次电子束2的照射结果而取得的图像C41。
[0121]并且，在操作面板画面204中显示用于进行电子显微镜101的调整的各种按钮。
[0122]例如，当要变大倍率时，用户移动在图像C41的侧面附带的滑块C42，由此用户能够手动进行倍率的调整。例如，当要大幅度地变更倍率时，用户移动滑块C42，当要进行细微的倍率的变更时，用户可以操作鼠标的滚轮或轨迹球。计算机19根据经由输入装置23输入的滑块C42的移动距离，使物镜控制电路16控制物镜8来进行倍率的变更。
[0123]此外，当要使图像C41的视野移动时，用户例如通过拖动图像C41能够手动地移动图像C41的视野。计算机19也可以根据经由输入装置23输入的信息，进行载物台(stage)的移动、或通过偏转器控制电路15使上部偏转器6以及下部偏转器7偏转一次电子束2来进行的图像偏移。
[0124]在此，对于视野的移动，如果在预定的倍率以上，则可以将视野的移动手段设成图像偏移，如果在预定的倍率以下，则可以将视野的移动手段设成载物台移动。也就是说，当倍率在预定值以上时，计算机19能够使用图像偏移，而不能使用载物台移动。此外，当倍率不到预定值时，能够使用载物台移动，而不能使用图像偏移，由此可以限制电子显微镜101的功能。通过如上所述，能够防止用户进行错误的视野的移动。
[0125]如上所述，在本实施方式中，在图像C41的近旁(在本实施方式中为图像C41的旁边)显示倍率、后述的聚焦等参数调整的项目或滑块C42。通过如上所述，使视线或鼠标光标的移动为最小限，能够一边与图像C41比较，一边进行细微的调整。此前，对设置在电子显微镜101上的操作装置的旋钮进行操作。与此相对，在本实施方式中，通过在图像C41的近旁显示的滑块C42等进行倍率等的调整，因此能够一边看着图像C41 一边简单地进行调整。此外，当显示多个图像C41时，通过对每个图像C41显示滑块C42，用户能够容易地进行每个图像C41的调整。
[0126]另外，此时也可以限制操作程序31能够调整的倍率的范围。也就是说，可以使用户不能将倍率设定成预定的倍率以上。通过如上所述，能够防止用户错误地设定成预想外的倍率，从而在取得的图像中发生不良。
[0127]另外，根据操作阶段，操作程序31适当地切换在图像显示画面203中显示的图像C41的显示模式。例如在图7的视野搜索或图8的图像确认阶段，为了优化图像的响应，操作程序31设成提高电子束的扫描速度的显示模式即“视野搜索模式”。此外，在保存图像的阶段需要清晰的图像，因此操作程序31放慢扫描速度，设成显示高清晰的图像的“图像确认模式”。当前，在操作面板画面204的画面D41中表示以哪种显示模式显示图像C41。在图7中，显示模式为“视野搜索模式”。
[0128]如上所述，操作程序31根据操作阶段适当地切换显示模式，由此能够防止忘记操作而引起的作业效率的下降或错误。
[0129]此外，在操作引导画面201中显示与显示模式切换相关的消息，由此用户能够识别操作程序31正在进行怎样的处理。
[0130]另外，图7的操作面板画面204中的画面D42的预置按钮D43 (预置I)，D44(预置2)是用于以预先登录的预置倍率设定倍率的按钮，预置登录按钮D45是用于登录新的预置倍率的按钮。
[0131]另外，在应用辅助画面202中显示与按下自动亮度按钮以及自动聚焦按钮的基准相关的消息。
[0132]并且，结束一连串的调整后，用户按下在操作引导画面201中显示的“向下一个”按钮A41,由此显示图8所示的操作画面200。
[0133]图8是表示图7中的自动调整中的显示内容的图。
[0134]在图8中，在操作引导画面201中显示出表示当前的阶段为“3.图像确认”的“自动调整”的情况。
[0135]另外，在操作面板画面204中显示的各种按钮没有从图7变更，但图像显示画面203中的图像C51被调整了倍率，显示出比图7高的倍率的图像。
[0136]在此，用户为了调整亮度和对比度，按下操作面板画面204中的“自动亮度”按钮D51。
[0137]另外，在图8中，在操作面板画面204的画面D41中表示显示模式为之前的操作阶段的“视野搜索模式”。
[0138]当用户按下“自动亮度”按钮D51时，进行亮度的自动调整(向默认的亮度的调整)。
[0139](S104)
[0140]接着，图9?图14是表示图像保存(拍摄)(S104)中的操作画面的例子的图。
[0141]图9是表示自动调整刚结束之后的显示内容的图。
[0142]在操作引导画面201中显示出表示“3.图像确认”结束，操作阶段进入下一步的“4.拍摄”的“图像保存”的消息，并在画面A61中显示催促保存的消息。此外，画面D41从“视野搜索”变成“图像确认”。此外，在操作面板画面204中显示的各种按钮与图7、图8相同。
[0143]如图7中所说明的，操作程序31根据操作阶段切换图像C51的显示模式，但在图9的“图像保存”阶段中，将显示模式设成得到高清晰度的图像的“图像确认”模式(操作面板画面204中的画面D41的符号D61)。
[0144]此外，在应用辅助画面202的画面B61中，显示表示显示模式被切换成“图像确认”模式的消息。
[0145]此时，也可以在应用辅助画面202中显示表示自动调整的观察条件是用于强调哪个特征来拍摄的观察条件的消息。
[0146]在此，当用户按下在操作面板画面204中强调显示的“指定保存目的地”按钮D62时，显示图10的显示内容。
[0147]另外，在此，用户仅通过进行自动亮度调整来结束自动调整，但也可以在图8或图9的操作阶段，用户按下“自动聚焦”按钮D63来进行聚焦调整成进行参数设定的人判断为最佳的聚焦值的自动聚焦。
[0148]图10是表示保存目的地设定阶段中的显示内容的图。
[0149]用户按下图9的操作面板画面204中的“指定保存目的地”按钮D62，由此操作程序31如图10所示地使操作画面200为不激活,在操作画面200的前面显示保存目的地设定画面302。
[0150]保存目的地设定画面302与一般的保存目的地的设定画面相同，因此省略详细的说明。当用户在保存目的地设定画面302中设定保存目的地并按下登录按钮E71时，操作程序31在图像显示装置18中显示图11所示的显示内容。
[0151]图11以及图12是表示图像保存阶段中的显示内容的图。
[0152]图11以及图12是用于将显示的图像C51保存在存储装置21中的操作画面200。
[0153]为了保存图像，在操作引导画面201的画面A81中显示催促按下图像保存按钮的消息。
[0154]此外，在应用辅助画面202的画面B81中显示催促在进行拍摄前按下全画面显示按钮，从而在较大的画面上确认图像的消息。如上所述，操作程序31能够在应用辅助画面202中显示与操作阶段对应的建议。通过在存储装置21中存储与各操作阶段对应的画面信息，能够使操作程序31显示与操作阶段对应的画面来实现这样的显示。
[0155]此外，在图11的图像显示画面203中显示的图像C51以及操作面板画面204中的各种按钮与图9没有差异，但强调显示了操作面板画面204中的“图像保存”按钮D81。
[0156]在此，当用户按下全画面按钮C81时，如图12所示显示扩大了倍率等的图像C91。图12的操作画面200中的其他画面201 (图11)、202(图11)以及204与图11相同，因此省略说明。
[0157]通过如上所述，用户能够在扩大的状态下确认图像。另外，用户也可以在图11等中显示的大小的图像中进行图像的确认、保存。图像确认后，用户按下操作面板画面204中的“图像保存”按钮D81。
[0158]另外，此时也可以在应用辅助画面202中显示图像确认的点。
[0159]图13以及图14是表示保存图像过程中的操作画面200的图。
[0160]操作引导画面201以及操作面板画面204的显示内容与图11、图12相同，但应用辅助画面202成为不显示任何内容的状态。
[0161]此外，在图像显示画面203中显示的图像ClOl与所保存的像素相配合，按照从上到下的顺序显现图像。
[0162]并且如图14所示，在操作画面200的前面显示图像保存信息画面303。在图像保存信息画面303中显示图像保存的条件或该条件引起的影响，并且通过进度条Elll显示图像保存处理的进度。
[0163]另外，在图像保存处理的等待时间，操作程序31也可以在应用辅助画面202(图13)中显示由此设想的异常或不良相关的信息。例如，作为这样的信息，可以显示在当前的拍摄条件(在此为用于标准的观察的参数和保存图像时的倍率)下设想的图像的异常或不良。
[0164]或者，也可以与图像保存信息画面303 —起显示表示电子显微镜101的原理、针对试样9的预处理的说明、电子显微镜101的结构、电子显微镜101的操作步骤、拍摄中的强调图像的原理等的学习画面。并且，也可以与图像保存信息画面303 —起显示表示操作画面200中的应用辅助画面202等各画面201?204的项目的说明、电子显微镜101的各种调整参数相关的说明等的学习画面。
[0165]通过如上所述，可以期待提高用户的学习效果。
[0166](S105、S106)
[0167]接着，图15?图19是表示用户确认当前的图像是否满意时(S105)以及用户调整、变更观察条件(S106)时的操作画面的例子的图。
[0168]图15是表不图像保存后的显不内容的图。
[0169]首先，操作引导画面201表示当前的操作阶段为“4.拍摄”的“图像保存”阶段。
[0170]此外，在操作引导画面201的画面A121中显示继续按钮A122和结束按钮A123。当用户对当前的图像不满意时，按下用于继续观察的继续按钮A122，操作程序31继续进行处理(S105 —否)。
[0171]当用户对当前的图像满意时，按下用于结束观察的结束按钮A123，操作程序31结束处理(S105 —是)。
[0172]此外，在图像显示画面203中显示当前的观察条件下的图像C51，并且显示观察履历C121。到此为止保存的图像(观察履历C121)与用户要设定或要确认的信息(文件名或观察条件)一起显示。例如，在图15中显示在以前保存的图像作为观察履历C121。当用户按下观察履历C121时，扩大显示该图像。
[0173]此外，当用户将鼠标移动到在观察履历C121中显示的图像上时，也可以显示该图像中的详细的观察条件等。
[0174]在操作面板画面204中显示与当前的操作阶段对应的按钮等，但在此省略说明。
[0175]并且，在应用辅助画面202中显示辅助画面B121。辅助画面B121是将拍摄作为触发来显示的画面。在辅助画面B121中显示向用户的建议、或记述了与作为图像信息的图像C51相关的状态的辅助按钮B122 (B122a, B122b ;状态图像信息)。另外，辅助画面B121是当保存图像时原则上每次显示的画面。
[0176]在此，操作程序31也可以在图像显示装置18中显示与当前的观察条件相关的信肩、O
[0177]如上所述，观察条件是一次电子束2照射时的电子显微镜101的各种参数设定的组合，具体而言，是加速电压、电流、工作距离、倍率等。这些观察条件是在试样9的拍摄前能够取得的值。另外，工作距离是物镜下表面与试样的距离。
[0178]图像的画质是亮度分布或锐度等的数值。图像的画质是拍摄后能够从被拍摄的图像取得的值。
[0179]与操作阶段相关的信息是在操作面板画面204中显示的内容或各操作阶段的操作时间或操作履历等。与操作阶段相关的信息是能够在拍摄前、拍摄后取得的信息。与操作阶段相关的信息，是针对进行过一次的操作，进行不显示辅助按钮B122的处理等时使用的信息。
[0180]也就是说，与辅助按钮B122相关的信息与图像的画质对应，并且与电子显微镜101的参数设定值的组合即观察条件对应地存储到存储装置21中。
[0181]如上所述，操作程序31根据观察条件、图像的画质、与操作阶段相关的信息，来选择、显示辅助按钮B122，由此用户能够容易地掌握当前正在发生怎样的问题。
[0182]计算机19解析图像C51的画质。然后，操作程序31根据作为解析结果的图像的画质以及当前的观察条件，从存储装置21取得与解析结果相应的辅助按钮B122相关的信息。并且，操作程序31在操作画面200的预定位置(在此为应用辅助画面202)显示与该取得的辅助按钮B122相关的信息作为辅助按钮B122。
[0183]作为在辅助按钮B122上显示的内容，除了在图15中显示的内容外，还有如下的内容。
[0184](a)与视野搜索(扫描速度:快)时相比，缺乏图像中的凹凸感和立体感。作为出现这样的症状的原因，考虑到充电等。
[0185](b)与视野搜索(扫描速度:快)时相比，图像变形。作为出现这样的症状的原因，考虑到充电或针对试样的损伤等。
[0186]由于初学者不知道基于最佳观察条件的图像，因此即使实际上不是最佳的图像也会满意的情况较多。通过如本实施方式所示地显示辅助按钮B122，提示产生的可能性较高的图像的症状，从而能够使用户注意这些症状。
[0187]在图15的例子中，操作程序31解析图像C51的结果为在亮度分布中分布偏向高亮度方向，因此操作程序31显示符号B122a所示的辅助按钮B122。此外，操作程序31解析图像C51的结果为锐度值较低，因此操作程序31显示符号B122b所示的辅助按钮B122。另外，操作程序31在存储装置21中存储与各观察条件、图像的画质以及操作阶段的组合对应的辅助按钮B122。并且，操作程序31根据各观察条件、图像的画质以及操作阶段的信息来选择辅助按钮B122，由此在应用辅助画面202中显示辅助按钮B122。
[0188]另外，如图15所示，操作程序31也可以通过强调观察条件，来显示强调了各辅助按钮B122记述的症状的强调图像B123。例如，操作程序31在辅助按钮B122a上显示使亮度分布极端地偏向高亮度方向的强调图像B123。同样地，操作程序31在辅助按钮B122b上显示使锐度极端地变低的强调图像B123。
[0189]强调图像B123可以是基于使观察条件极端的仿真的图像，也可以准备预先进行了这样的仿真的图像。在此，仿真是使产生在辅助按钮B122上显示的症状的观察条件极端化的仿真等。
[0190]在此，当用户按下辅助按钮B122a时，操作程序31显示在图16中所示的显示内容。
[0191]图16是表示目的变更中的显示内容的图。
[0192]用户看着图15中的图像C51，判定画面全体闪闪发光，白线(亮线)进入，按下辅助按钮B122a。于是，为了改善在辅助按钮B122a记述的症状，操作程序31在应用辅助画面202中显示催促将观察目的变更为“强调表面结构的观察”的解决画面B131。此外，为了变更观察目的，操作程序31同样在操作引导画面201的画面A131中显示催促按下“变更”按钮D131的消息。在此，操作程序31不自动地向下一画面迁移，而是由用户按下“变更”按钮D131。通过如上所述，用户能够识别“变更”按钮D131的位置，能够提高用户的学习效果。
[0193]此外，预先在存储装置21中存储与图15的辅助按钮B122对应的画面信息。操作程序31选择与按下的辅助按钮B122对应的画面信息，由此显示图16中的画面A131、B131。
[0194]另外，图16的操作引导画面201表示当前的阶段为“1.准备”的“目的变更”。
[0195]此外，操作程序31与操作引导画面201对应地显示操作面板画面204。为了向用户催促变更观察目的，在操作面板画面204中强调显示“变更”按钮D131。
[0196]当用户按照在画面A131中记述的内容按下“变更”按钮D131时，操作程序31在图像显示装置18中显示图17所示的显示内容。
[0197]图17是表示观察目的变更中的显示内容的图。
[0198]当按下图16中的“变更”按钮D131时，如图17所示，在操作画面200的前面显示观察目的变更画面304。在此，操作画面200的结构与图16所示的结构相同，因此省略说明。
[0199]在观察目的变更画面304中显示观察目的设定按钮E141。在观察目的设定按钮E141上记述了观察目的的变更候补。
[0200]将这样的观察目的设定按钮E141的信息与图15的辅助按钮B122对应起来预先存储在存储装置21中。操作程序31选择与按下的辅助按钮B122对应的观察目的设定按钮E141，并显示在图像显示装置18中。
[0201]另外，操作程序31也可以参照操作履历，根据操作履历，使预定的观察目的设定按钮E141 (例如，被按下过一次的观察目的设定按钮E141)不显示。
[0202]当用户按下一个观察目的设定按钮E141时，反白显示该观察目的设定按钮E141 (符号E141a)。然后，操作程序31根据在被按下的观察目的设定按钮E141上记述的内容来设定观察条件。在符号E141a的例子中设定“强调表面结构”的观察条件。另外，被显示的观察目的设定按钮E141也可以根据“涂覆”、“非涂覆”等试样9的状态成为不同的显示。例如，在图4的阶段等中，用户输入试样9的状态。
[0203]操作程序31参照在存储装置21存储的观察条件设定表41 (图18)来设定观察条件。
[0204]另外，在图17的操作阶段，也可以在观察目的变更画面304中显示“涂覆”、“非涂覆”等与试样9相关的信息等。
[0205]此外，如图17所示，操作程序31也可以在观察目的变更画面304中显示“涂覆试样高真空模式”、“非涂覆试样低真空模式”的说明标签E143。例如，当用户选择“非涂覆试样低真空模式”的说明标签E143a时，操作程序31在观察目的变更画面304中显示非涂覆试样的说明、不进行涂覆较佳的试样的说明、不进行涂覆的优点、缺点以及设成低真空模式的方法的说明等的信息。
[0206]此外，如图17所示，也可以在观察目的设定按钮E141内，通过雷达图表E144显示与观察目的设定按钮E141对应的观察条件中的各参数设定值。通过如上所述，用户能够容易地确认各观察目的设定按钮E141中的观察条件的特征。
[0207]图18是表示本实施方式的观察条件设定表的图。
[0208]在图18所示的观察条件设定表41中的各记录分别与观察目的设定按钮E141对应，针对每个观察目的组合了参数设定值(加速电压、检测信号、扫描方式)。如图18所示，通过观察条件设定表41中的?、〇、Λ、X等评价“凹凸小易见度”或“凹凸大易见度”或“组成信息易见度”等观察目的。另外，评价方法并不局限于图18所示的?、〇、Λ、Χ，也可以通过分数等进行评价。根据这些评价，将观察目的设定按钮Ε141(图17)与观察目的对应起来。在此，如上所述，观察条件是各参数设定值的组合，观察目的是凹凸的易见度等观察条件对图像的影响。
[0209]当按下图17中的观察目的设定按钮Ε141的任一个时，操作程序31根据与观察目的设定按钮Ε141对应起来的观察条件设定表41的记录的参数设定值来设定观察条件。例如，操作程序31根据凹凸小以及凹凸大的易见度良好的编号I记录的参数设定值来设定观察条件。图18所示的观察条件设定表41的各值，是预先调整成通过该值设定能够拍摄最低限的图像的值。另外，观察条件设定表41中的参数设定值并不局限于加速电压、检测信号、扫描方式，还有电流、工作距离或倍率等。在此，图18中的SE (Secondary Electron)是二次电子，BSE(Back Scattered Electron)是背散射电子。另外，观察条件设定表41中的各记录经由预定的对应信息(识别信息等)与各个观察目的设定按钮E141对应。作为识别信息，例如有图18中的编号(No)等。
[0210]在此，在图18中设定了 11个观察目的，与此相对，将图17中的观察目的设定按钮E141设成5个。设定者通过选择在图18中设定的观察目的中的、5个适于初学者的观察目的，来设定观察目的设定按钮E141即可。
[0211]此外，观察条件设定表41中的一个记录成为默认的观察条件。通过如上所述，用户不进行操作也能够进行与调整图像对应的观察条件的设定。也就是说，用户实质上仅通过自动操作就能够进行拍摄，用户始终能够容易地得到恒定水平的图像，因此即使是初学者也能够容易地进行拍摄。
[0212]此外，在观察目的设定按钮E141上显示强调图像E142。
[0213]预先将与观察目的设定按钮E141对应起来的强调图像E142存储在存储装置21中。当选择、显示观察目的设定按钮E141时，操作程序31取得、显示与该观察目的设定按钮E141对应起来的强调图像E142，由此显示强调图像E142。
[0214]通过如上所述地显示强调图像E142，当选择相应的观察目的设定按钮E141时，用户能够视觉地掌握得到怎样的效果。在专利文献1、2中，使用户比较未处理的图像，因此初学者很难知道观察条件的差异导致的图像的差异。与此相对，通过如本实施方式这样显示强调图像E142，即使用户是初学者，也能够容易地掌握选择观察目的设定按钮E141的效果O
[0215]在此，强调图像E142a显示标准的图像以便了解是标准的观察，强调图像E142b强调阴影以便强调表面结构。此外，强调图像E142c强调阴影以便了解表面结构与材料分布的差异，并且对各材料赋予不同的颜色等。并且，强调图像E142d对各材料赋予不同的颜色等以便了解材料分布的差异，强调图像E142e成为图表状的图像以便明白是元素分析。
[0216]强调图像E142最强调以对应的观察目的(观察条件)拍摄的情况下的图像的状态。具体而言，强调图像E142使用视觉上强调或者变形了图像的状态的图像。如图17所示，希望使用长方体或圆柱体等象征性的块或被简化的图表作为强调图像E142，并有效果。
[0217]另外，这些强调图像E142是一例，也可以显示其他强调图像。此外，如图17所示，不仅可以在观察目的设定按钮E141上显示强调图像E142，也可以在观察目的设定按钮E141的近旁显示强调图像E142。
[0218]此外，操作程序31参照操作履历，在已经进行了拍摄的观察目的设定按钮E141上显示“拍摄完毕”等信息，由此能够使用户容易地选择未拍摄的观察目的。
[0219]图19是表示刚按下图17中的观察目的设定按钮E141a后的显示内容的图。
[0220]显示催促按下观察目的设定E153的意思的消息。
[0221]并且，也可以在操作画面200的前面显示的观察目的变更画面304上显示特殊设定按钮E151。
[0222]在图19的例子中显示了特殊设定按钮E151。特殊设定按钮E151并非是必须的设定，而是与特殊的设定(特殊设定)相关的按钮。
[0223]当用户按下特殊设定按钮E151时，操作程序31参照存储装置21。然后，操作程序31取得与特殊设定按钮E151对应起来的特殊设定信息。并且，操作程序31在观察目的变更画面304的特殊信息显示区域E152中显示取得的特殊设定信息。
[0224]在特殊信息显示区域E152中显示与特殊设定相关的信息。在图19的例子中，作为特殊设定，显示与涂覆相关的内容。在图19的例子中，假定在特殊设定按钮E151上有能够进行针对涂覆的设定的意思的表述。并且，当用户按下特殊设定按钮E151时，操作程序31在特殊信息显示区域E152中显示涂覆了的情况下的观察上的优点、缺点或适于涂覆的试样9等的信息。并且，操作程序31也可以在特殊信息显示区域E152中显示没有进行涂覆的试样9的观察方法(具体而言，选择用于向低真空观察转移的真空度的操作过程)等。此外，也可以与涂覆相关的信息一起显示离子镀膜或真空蒸镀等与涂覆方法相关的信息。
[0225]如上所述，通过显示特殊设定按钮E151、特殊信息显示区域E152，用户能够注意特殊设定的观察。
[0226]可以在所有的观察目的变更画面304中显示特殊设定按钮E151。或者，也可以当按下特定的观察目的设定按钮E141 (图17)时，使操作程序31显示与观察目的设定按钮E141对应起来存储在存储装置21中的特殊设定按钮E151。
[0227]然后，当用户按照在操作引导画面201的画面A151中显示的消息按下观察目的变更画面304的“决定”按钮E153时，操作程序31参照观察条件设定表41。接着，操作程序31对各电路11?17 (图1)设定与按下的观察目的设定按钮E141对应的记录的参数设定值作为观察条件。
[0228]另外，操作程序31随时将到此为止的操作履历存储在存储装置21中。
[0229]在之后的图20?图37中，对于与图4?图19相同的操作画面200，适当地省略各个操作画面200的详细的说明，仅保留表示与图4?图19的附图的差异的说明。
[0230]图20是表示在图19中刚按下“决定”按钮E153之后的显示内容的图。另外，在图19中用户按下“决定”按钮E153时，操作程序31再次将处理返回视野搜索、倍率调整(图2的S103)，计算机19按照选择的观察目的(观察条件)取得图像。
[0231]图20具有与图7相同的画面结构，因此也省略对各画面结构的说明，但与图7的不同点在于，在图像显示画面203中显示的图像C51维持图16的状态，并且在图像显示画面203中显示了观察履历C121。
[0232]用户在图20中通过与图7相同的方法进行倍率的调整或视野搜索。
[0233]在此，当用户设定了不能设定的倍率(预定倍率以上或预定倍率以下的倍率)时，操作程序31也可以在图像显示装置18中显示警告。
[0234]此外，伴随观察目的被变更，在操作面板画面204中将“当前的观察目的”显示按钮D51从此前(图7)的“标准的观察”变更为“强调表面结构的观察”。
[0235]图21是表示刚进行了基于图20的倍率的调整、视野搜索之后的显示内容的图。
[0236]在图21中表示基于图20的倍率的调整、视野搜索的结果，倍率被扩大(例如，20000倍)的状态。
[0237]图21的操作画面200，除了在图像显示画面203中显示倍率上升后的状态的图像C171这一点、和在操作面板画面204中显示“手动调整”按钮D171这一点外，与图20相同。
[0238]在此，所谓“手动调整”是指如后所述地手动调整亮度、对比度或聚焦等，而不是自动地进行调整。
[0239]当按下“手动调整”按钮D171时，显示手动亮度调整按钮、手动对比度调整按钮、聚焦按钮(例如，图27的符号C223)、聚焦X按钮(例如，图29的符号C251)或聚焦Y按钮(例如，图31的符号C271)等。“手动调整”按钮D171、聚焦按钮、聚焦X按钮或聚焦Y按钮是在预定的倍率以上时才能够显示的按钮，而在预定的倍率以下则不能显示。另外，当按下“手动调整”按钮D171时，如果在预定的倍率以上，则显示所有的手动亮度调整按钮、手动对比度调整按钮、聚焦按钮、聚焦X按钮以及聚焦Y按钮，如果不到预定的倍率，则可以不显示所有的这些按钮。
[0240]在此，当在预定的倍率以上时显示“手动调整”按钮D171，但如果在预定的倍率以上，则可以将视野的移动手段设成图像偏移，如果在预定的倍率以下时，则将视野的移动手段设成载物台移动。
[0241]如上所述，根据预定的条件设成特定的操作项目，由此能够防止不需要的操作，减少误动作。
[0242]另外，也可以根据观察目的限定倍率的调整范围。在这样的情况下，也就是说，在当前的观察目的下未得到所希望的倍率时，用户可以通过按下操作面板画面204的观察目的变更按钮D172来变更观察目的。
[0243]图22是表示自动调整中的显示内容的图。
[0244]图22除了在图像显示画面203中显示扩大倍率的图像C171、观察履历C121以及“手动调整”按钮D171(图21)等外，基本上与图8相同，因此省略说明。
[0245](S104)
[0246]图23是表示自动调整结束，用户重新保存(拍摄)图像时(S104)的操作画面的图。
[0247]图23除了在图像显示画面203中显示扩大倍率的图像C171、观察履历C121以及“手动调整”按钮D171(图21)等外，基本上与图9相同，因此省略说明。
[0248]之后，进行与图10?图14中的处理相同的处理，由此将基于当前的观察条件的图像保存在存储装置21中。
[0249](S105、S106)
[0250]接着，图24?图34是表示用户重新确认是否对当前的图像满意时(S105)以及用户重新调整、重新变更观察条件(S106)时的操作画面的例子的图。
[0251]图24是表示保存图像后的显示内容的图。
[0252]在图24中显示扩大了图像显示画面203中的倍率的图像C171和新加上了在图23中保存的图像的观察履历C201。另外，在图23中显示扩大了倍率的图像C171，但之后恢复到原来的倍率后保存图像。
[0253]此外，不显示图15的应用辅助画面202中的辅助按钮B122a，而是代替显示新的辅助按钮 B122c(B122)。
[0254]除此以外基本上与图15相同，因此省略说明。
[0255]另外，当显示辅助按钮B122b，B122c时操作程序31进行的处理与在图15中说明的处理相同，因此在此省略说明。
[0256]当在该时刻，用户对图像满意时，用户通过按下操作引导画面201的结束按钮A123来结束观察。
[0257]作为通过辅助按钮B122c显示的内容，如上所述，与视野搜索(扫描速度:快)时相比，缺乏图像中的凹凸感和立体感，或者与视野搜索(操作速度:快)时相比，图像变形坐寸ο
[0258]另外，这些症状虽然在低倍率下不发生，但在高倍率下出于照射束(一次电子束2)密度上升等原因，有时发生这些症状。
[0259]在应用辅助画面202中不显示辅助按钮B122a(图15)而代替显示新的辅助按钮B122c，这是因为操作程序31参照随时在存储装置21中存储的操作履历，不显示进行过一次的处理项目(在此为辅助按钮B122a)。
[0260]此外，操作程序31通过解析当前的图像C171来显示新的辅助按钮B122c。另外，该处理与图15相同。
[0261]在此，假定用户按下继续按钮A122，进而用户按下辅助按钮B122b。
[0262]图25是表示目的变更中的显示内容的图。
[0263]用户看着图24中的图像C171判定为觉得图像模糊，然后按下辅助按钮B122b。于是，操作程序31为了改善在辅助按钮B122b中记述的症状，在图25所示的应用辅助画面202中显示画面B211。在画面B211中显示催促通过手动调整模式调整聚焦的消息。此外，也同样地在操作引导画面201的画面A211中显示按下“手动调整”按钮D211来手动进行聚焦调整的意思的消息。
[0264]为了显示这样的画面A211、B211，操作程序31进行的处理与在图16中说明的处理相同，因此省略说明。
[0265]当用户按下在操作面板画面204中强调显示的“手动调整”按钮D211时，操作程序31将图26的显示内容显示在图像显示装置18中。
[0266]另外，在图25?图33中，操作引导画面201的主项目“图像确认”的子项目与图8等不同，显示手动调整用的子项目。
[0267]图26?图28是在手动调整画面中表示聚焦调整的显示内容的图。
[0268]在图26中，在图像显示画面203中的图像C221的近旁(在图26的例子中为图像显示区域C224的旁边)显示手动调整按钮群C222。在此，图像C221显示的是在图24等中的图像C171的中心部分。在图像C221中仅显示图像C171的中心部分(一部分)是由于如下的理由。为了确保聚焦等的调整所需要的画质和跟踪性，操作程序31将图像C171如图像C221那般缩小观察部分，由此以较慢的扫描速度提高画质的同时缩短重复扫描时的时间(以下，图27?图33也相同)。
[0269]另外，在图26?图33中缩小显示了图像C221、C231，但并不局限于此，也可以是与窗口配合的显不。
[0270]并且，在操作引导画面201中显示当前的操作阶段为“3.图像确认”的“聚焦调整”的意思的信息，并且，在操作引导画面201的画面A221中显示催促按下聚焦按钮C223的消肩、O
[0271]并且，在应用辅助画面202的画面B221中显示表示已将显示模式切换成“图像调整”模式的消息。另外，在操作面板画面204的画面D41中也显示当前的显示模式为“图像调整”模式。当切换显示模式时，操作程序31进行的处理已在图7进行了说明，因此省略。
[0272]按照画面A221或画面B221的指示，用户将鼠标的光标移动到聚焦按钮C223时，如图26所示，强调显示聚焦按钮C223，图像C221(图26)变化成图像C231(图27)。
[0273]并且，当用户按下聚焦按钮C223时，如图27所示反白显示聚焦按钮C223，显示用于进行聚焦调整的聚焦滑块C232。
[0274]用户通过移动聚焦滑块C232来判定是否需要调整像散。
[0275]并且，当用户移动聚焦滑块C232时，计算机19根据经由输入装置23输入的聚焦滑块C232的移动距离，使X方向像散校正器控制电路13以及Y方向像散校正器控制电路14控制X方向像散校正器4以及Y方向像散校正器5。
[0276]图像C231根据用户移动聚焦滑块C232来表示图像C221 (图26)的聚焦偏移的状态。
[0277]在此，在图27的操作引导画面201的画面A231中显示聚焦调整的目标。并且，在画面A231的参考图像A232中变形显示移动聚焦滑块C232时预想的图像变化。
[0278]然后，当用户确定通过移动聚焦滑块C232图像仅向预定的方向扩大(伸长)时，用户按下画面A231的“伸长”按钮A233。另外，即使移动聚焦滑块C232图像也不伸长时，用户按下画面A231的“不伸长”按钮A234。当按下“不伸长”按钮A234时，操作程序31不进行图28?图33的聚焦X调整、聚焦Y调整，在图像显示装置18中显示图34所示的显示内容。
[0279]另外，图27中的聚焦X调整是X方向的像散调整，聚焦Y调整是Y方向的像散调難
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[0280]然后，操作程序31在图像显示装置18中显示图28的显示内容。
[0281]另外，也可以在应用辅助画面202中显示画面A231。此外，参考图像A232可以是静止的图像也可以是运动的图像。
[0282]图28中的操作画面200，除了显示操作引导画面201中的画面A241夕卜，与图27中的操作画面200相同。
[0283]在画面A241中显示催促用户通过移动聚焦滑块C232来进行聚焦调整的消息。
[0284]用户通过移动聚焦滑块C232将聚焦滑块C232移动到图像C231的没有伸长的位置时，按下操作引导画面201中的“向下一个”按钮A242。
[0285]于是，操作程序31结束聚焦调整处理，在图像显示装置18中显示用于聚焦X调整的显示内容。
[0286]图29以及图30是表示手动调整画面中的聚焦X调整的显示内容的图。
[0287]在聚焦X调整中，首先如图29所示，在用于操作引导画面201的画面A251中显示催促按下聚焦X按钮C251的消息。
[0288]此外，在应用辅助画面202的画面B251中显示仅通过聚焦X调整有时不会变锐利的意思的消息。通过这样的显示，用户即使通过聚焦X调整不能得到锐利的图像，也能够不急躁地进行作业。
[0289]按照画面A251的消息，用户将鼠标的光标移动到在图像C221近旁(图29的例子中为在图像显示区域C224的旁边)显示的聚焦X按钮C251时，如图29所示强调显示聚焦X按钮C251。
[0290]然后，当用户按下强调显示的聚焦X按钮C251时,如图30所示反白显示聚焦X按钮C251，显示聚焦X滑块C261。
[0291]此外，如图30所示，在操作引导画面201的画面A261中显示催促移动聚焦X滑块C261来锐化图像的消息。
[0292]另外，在画面A261中显示图像A262，其强调显示了移动聚焦X滑块C261时的效果O
[0293]用户按照画面A261的消息来移动聚焦X滑块C261。于是，计算机19根据经由输入装置23输入的聚焦X滑块C261的移动距离，使X方向像散校正器控制电路13控制X方向像散校正器4。
[0294]并且，当认为图像大致锐利时，用户按下“向下一个”按钮A263，由此操作程序31结束聚焦X调整，进入随后的聚焦Y调整。
[0295]图31以及图32是表示用于手动调整画面中的聚焦Y调整的显示内容的图。
[0296]在聚焦Y调整中，如图31所示，在操作引导画面201的画面A271中显示催促按下聚焦Y按钮C271的消息。
[0297]此外，当进行聚焦Y调整时大幅度地移动时，在应用辅助画面202的画面B271中显示容易识别图像变化的意思的消息。通过这样的显示，在聚焦Y调整中，能够向用户催促尝试较大幅度地移动。
[0298]用户按照画面A271的消息，将鼠标的光标移动到在图像C221近旁(图31的例子中为在图像显示区域C224的旁边)显示的聚焦Y按钮C271时，如图31所示，强调显示聚焦Y按钮C271。
[0299]然后，当用户按下强调显示的聚焦Y按钮C271时，如图32所示反白显示聚焦Y按钮C271，显示聚焦Y滑块C281。
[0300]此外，如图32所示，在操作引导画面201的画面A281显示催促移动聚焦Y滑块C281来锐化图像的消息。
[0301]另外，在画面A281中显示图像A282，其强调显示了移动聚焦Y滑块C281时的效果O
[0302]用户按照画面A281的消息来移动聚焦Y滑块C281。于是，计算机19根据经由输入装置23输入的聚焦Y滑块C281的移动距离，使Y方向像散校正器控制电路14控制Y方向像散校正器5。
[0303]并且，当认为图像大致锐利时，用户按下“向下一个”按钮A283，由此操作程序31结束聚焦Y调整，在图像显示装置18中显示随后的滑块调整画面的显示内容。
[0304]如上所述，用户能够通过在图像C221(图26等)、C231(图27等)近旁显示的聚焦滑块C232 (图27)、聚焦X滑块C261 (图30)、聚焦Y滑块C281 (图32)等来进行聚焦调整。通过如上所述，用户能够一边看着图像C221、C231 —边简便地进行调整。此外，当显示多个图像C221、C231时，也可以对多个图像C221、C231的每一个显示聚焦滑块C232、聚焦X滑块C261、聚焦Y滑块C281等。通过如上所述，用户能够容易地进行每个图像C221、C231的调整。
[0305]图33是在手动调整画面中表示聚焦确认的显示内容的图。
[0306]图33除了操作引导画面201的画面A291以外，还具有与图26相同的结构(然而，显示模式为“视野搜索模式”)。
[0307]在操作引导画面201的画面A291中显示催促以与图27相同的过程确认是否进行了聚焦调整(并且是否需要聚焦调整)的消息。
[0308]用户以与图26?图28相同的过程进行聚焦调整，确认需要或不需要重新调整聚焦。
[0309]其结果，当用户判定为需要重新调整聚焦时，用户通过按下“调整”按钮A292，重新进行图29?图32的处理来进行聚焦调整。
[0310]此外，用户判定为不需要重新调整聚焦时，用户按下“向下一个”按钮A293，由此操作程序31结束手动调整的处理，在图像显示装置18中显示图34的自动调整的显示内容。具体而言，操作程序31在图像显示装置18中显示图34的亮度的自动调整画面。
[0311]另外，预先在存储装置21中设定与手动调整的过程对应的操作画面200，操作程序31在图像显示装置18中显示与当前的过程对应的操作画面200，由此显示图26?图33的各操作画面200。
[0312]图34是表示自动调整中的显示内容的图。
[0313]图34是用于用户自动调整图像的亮度的操作画面200，除了显示登录了两个图像的观察履历C201外与图22相同，因此省略说明。
[0314]在此，用户针对在图26?图33中进行了基于手动调整的聚焦调整的图像进行自动调整。
[0315]另外，也可以在图34的操作画面200前显示与图20、图21相同的操作画面200，用户进行视野搜索或倍率的调整。
[0316](S104)
[0317]图35是表示自动调整结束，用户重新保存图像(拍摄)时(S104)的操作画面的图。
[0318]图35除了显示登录了两个图像的观察履历C201外，与图23相同，因此省略说明。
[0319]之后，通过进行与图10?图14中的处理相同的处理，将通过自动调整被聚焦调整的图像保存在存储装置21中。
[0320](S105, S106)
[0321]图36是表示用户重新确认是否对当前的图像满意时(S105)、以及用户重新调整、重新变更观察条件(S106)时的操作画面的例子的图。
[0322]在图36中显示新增加了在图35中保存的图像的观察履历C321。另外，在图35中显示扩大了倍率的图像，但之后，恢复到原来的倍率后保存图像。
[0323]此外，操作程序31通过参照处理履历，不显示图24的应用辅助画面202中的辅助按钮B122b，而是代替显示新的辅助按钮B122d(B122)。
[0324]除此以外与图24相同，因此省略说明。
[0325]此外，显示辅助按钮B122c，B122d时，操作程序31进行的处理与在图15中说明的处理相同，因此在此省略说明。
[0326]作为通过辅助按钮B122c，B122d显示的内容，如上所述，包括与视野搜索(扫描速度:快)时相比，缺乏图像中的凹凸感和立体感，或者与视野搜索(操作速度:快)时相比，图像变形等。
[0327]此外，这些症状虽然在低倍率下不发生，但在高倍率下出于照射束(一次电子束2)密度上升等原因，有时发生这些症状。
[0328]在该时刻，用户对图像满意时，用户通过按下操作引导画面201的结束按钮A123来结束观察。
[0329]当用户对图像不满意时，按下操作引导画面201的继续按钮A122。
[0330]之后，到按下结束按钮A123为止重复如上所述的处理，由此，用户能够学习过程，并且能够得到优质的图像。
[0331](S106)
[0332]图37是本实施方式的应用辅助画面的变形例。图37是步骤S106“调整、变更”中的画面。
[0333]在图37中，在图15中的操作画面200的前面显示解决方法画面305。当用户按下辅助按钮B122时，操作程序31显示与按下的辅助按钮B122对应的解决方法画面305。也就是说，在存储装置21存储与各辅助按钮B122对应的解决方法画面305，当按下辅助按钮B122时，操作程序31从存储装置21取得与按下的辅助按钮B122对应的解决方法画面305。然后，操作程序31在图像显示装置18中显示取得的解决方法画面305。
[0334]解决方法画面305，按照操作的难易度以列表形式显示针对在辅助按钮B122中记载的症状的解决手段。在此，具体而言，解决手段为变更为适当的观察目的。这样的列表可以在存储装置21中预先赋予各手段的难易度。
[0335]当按下解决方法画面305中的详细按钮E331时，显示对应的解决手段的原理等。并且，当按下执行按钮E332时，显示将观察目的变更为相应的观察目的的操作画面200。
[0336]此外，位于不可执行区域E333的解决手段表示用户无法执行相应的解决手段。向用户通知用户是初学者，因此无法执行这些解决手段。另外，如上所述，本实施方式的操作画面200以用户是初学者为前提。通过这样，能够使用户注意存在如果不是熟练者则无法执行的解决手段。
[0337]此外，如解决方法画面305所示，通过以列表形式显示观察目的，能够使用户容易地确认到此为止自己进行的操作和没有进行的操作。
[0338]另外，在图像显示画面203中显示的图像以高倍率(例如，20000倍以上)显示时，也可以不显示图26中的手动调整按钮群C222(或者，其中的至少一个)。
[0339]并且，也可以仅在当前的倍率在预定的倍率以上时，显示手动调整按钮群C222。这样，根据预定的条件显示、不显示操作项目(按钮)，或设成特定的操作项目，由此能够防止不需要的操作，减少误动作。
[0340]根据本实施方式，首先能够以默认的观察条件取得图像，针对该图像引导修正的方向性，因此即使用户是初学者也能够有效地得到目的图像，并且可以期待用户的学习效果O
[0341]此外，如图17中的强调图像E142所示，将变更为相应的观察目的时得到的结果表示成示意性的强调图像，由此，即使用户是初学者也能够作为图像而容易地掌握通过观察目的变更能够得到怎样的结果。
[0342]此外，根据本实施方式，操作程序31首先取得基于默认的观察条件的图像。然后，操作程序31针对该图像在应用辅助画面202中显示向用户的建议。然后，操作程序31进行观察条件的变更，保存反映观察条件变更的图像。然后，操作程序31针对反映观察条件变更的结果而得到的图像，再次在应用辅助画面202中显示向用户的建议，进行观察条件的变更，保存反映观察条件变更的图像。通过重复该过程，作为初学者的用户能够设定用于取得作为目的的图像的观察条件，或能够体会通过设定的观察条件拍摄的图像的特征，提高用户的技能。
[0343]另外，在本实施方式中以使用扫描型电子显微镜(尤其通用操作型电子显微镜)为前提，但并不局限于此，也可以应用透过型电子显微镜或离子显微镜等带电粒子束装置。
[0344]此外，在本实施方式中，通过默认的观察条件取得第一张图像，但也可以使用户进行设定后由操作程序31取得第一张图像，之后，按照应用辅助画面202等的消息使用户进行观察条件的调整。通过如上所述，用户能够比较自己考虑的观察条件与用于取得所希望的图像的观察条件。
[0345]另外，也可以根据用户的熟练度使操作引导画面201不显示。此时，在操作面板画面204中显示要使用的所有的按钮。
[0346]此外，也可以在存储装置21中存储用语词典，当用户按下特定的标志、词典标志或在操作画面200中显示的语句时，操作程序31参照用语词典，在图像显示装置18中显示相应的语句的说明文。
[0347]此外，在本实施方式中，在图17中的观察目的设定按钮E141中显示示意性的强调图像E142，但例如也可以将图15中的辅助按钮B122中的图像B123设成相同的示意性的强调图像。
[0348]并且，在本实施方式中，为从最初开始设想了初学者的操作的结构，但例如也可以在图2的步骤SlOl启动后,在图像显示装置18中显示选择是初学者或者中级者或者高级者的画面。然后，当选择了是初学者时，可以由计算机19执行本实施方式的处理。
[0349]另外，本发明并不局限于如上所述的实施方式，还包括各种变形例。例如，如上所述的实施方式是为了便于理解本发明而进行的详细说明，并不限定成必须具备所有的说明的结构。此外，可以对实施方式中的结构的一部分追加、消除、置换其他的结构。
[0350]此外，上述的各结构、功能、各电路11?17、图像显示装置18、存储装置21、操作程序31等，例如可以通过用集成电路设计等由硬件实现它们的一部分或者全部。此外，如图1所示，也可以通过CPU等处理器解析并执行实现各自的功能的程序，由软件实现所述的各种结构、功能等。可以将实现各功能的程序、表、文件等信息如图1所示地存储在存储装置21中外，还可以存储在存储器、SSD(Solid State Drive，固态硬盘)等记录装置，或者IC (Integrated Circuit,集成电路)卡、SD (Secure Digital,安全数位)卡、DVD (DigitalVersatile Disc,数字通用光盘)等记录介质中。
[0351]此外，在各实施方式中，控制线和信息线表示认为在说明上有需要，制品上并不一定表示所有的控制线和信息线。实际上，也可以认为几乎所有的结构是相互连接的。
[0352]符号说明
[0353]I 电子枪
[0354]2 一次电子束
[0355]3 聚光镜
[0356]4 X方向像散校正器
[0357]5 Y方向像散校正器
[0358]6 上部偏转器
[0359]7 下部偏转器
[0360]8 物镜
[0361]9 试样
[0362]10检测器
[0363]11高电压控制电路
[0364]12聚光镜控制电路
[0365]13 X方向像散校正器控制电路
[0366]14 Y方向像散校正器控制电路
[0367]15偏转器控制电路
[0368]16物镜控制电路
[0369]17检测信号控制电路
[0370]18图像显示装置
[0371]19计算机(图像显示部、处理部)
[0372]21存储装置(存储部)
[0373]22存储器
[0374]23输入装置
[0375]31操作程序
[0376]41观察条件设定表
[0377]100电子显微镜筒(带电粒子束装置)
[0378]101电子显微镜(带电粒子束装置、带电粒子束装置系统)
[0379]200操作画面
[0380]201操作引导画面
[0381]202应用辅助画面
[0382]203图像显示画面
[0383]204操作面板画面
[0384]304观察目的设定画面
[0385]B122、B122a?B122d辅助按钮(包括状态图像信息)
[0386]B123强调图像
[0387]E141、E141a观察目的设定按钮
[0388]E143、E143a ?E143d 强调图像
【权利要求】
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，具有: 图像显示部，其将显示带电粒子束装置的操作项目的操作画面显示在图像显示装置中； 存储部，其使与从所述带电粒子束装置的检测器取得的试样的图像即试样图像的状态相关的信息即状态图像信息与所述试样图像的画质对应，并且使所述状态图像信息与所述带电粒子束装置的参数设定值的组合即观察条件对应地存储；以及 处理部，其解析从所述检测器取得的所述试样图像的画质，根据作为所述解析结果的所述试样图像的画质以及当前的观察条件，从存储部取得所述状态图像信息，在所述操作画面的预定位置显示该取得的状态图像信息。
2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部以预先完成设定的观察条件取得所述试样图像，根据所述取得的试样图像的画质以及当前的观察条件，在所述图像显示部中显示所述状态图像信息， 当经由输入部进行所述观察条件的变更时， 以该被变更的观察条件重新取得所述试样图像，根据所述重新取得的试样图像的画质以及所述当前的观察条件，重复在所述图像显示部中显示所述状态图像信息的处理，直到经由所述输入部输入结束所述处理的指示为止。
3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部显示所述状态图像信息，并且显示在所述试样图像的画质中强调了所述观察条件的图像。
4.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部在取得最初的所述试样图像前，显示与有无针对所述试样的涂覆的确认或者针对所述试样的预处理相关的信息。
5.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部在处理待机时间显示学习画面，所述学习画面显示电子显微镜的构造、电子显微镜的操作步骤以及所述操作画面中的操作项目的说明的至少一项。
6.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部将在所述操作画面中显示的预定的操作项目设为不显示或者不激活。
7.根据权利要求6所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述预定的操作项目是聚焦调整、X聚焦调整以及Y聚焦调整的至少一个。
8.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部根据所述观察条件限制所述带电粒子束装置的功能。
9.根据权利要求8所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部，当倍率在预定值以上时，将图像偏移设成可使用，并将载物台移动设成不可使用， 当所述倍率不到预定值时，将所述载物台移动设成可使用，并将所述图像偏移设成不可使用， 由此进行基于所述观察条件的所述带电粒子束装置的功能的限制。
10.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部根据操作履历将预定的状态图像信息设为不显示。
11.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部在所述操作画面中，将表示当前的操作阶段的信息和所述状态图像信息分开显示， 所述表示当前的操作阶段的信息由表示主操作阶段的主项目以及表示子操作阶段的子项目构成。
12.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于， 所述处理部在所述操作画面中显示所述取得的试样图像， 在所述图像显示部中显示的所述试样图像的近旁显示倍率调整滑块、聚焦调整滑块、聚焦X调整滑块以及聚焦Y调整滑块的至少一个。
13.—种试样观察系统，具有带电粒子束装置和控制所述带电粒子束装置的计算机，所述试样观察系统的特征在于， 所述计算机具有: 图像显示部，其对显示带电粒子束装置的操作项目的操作画面进行显示； 存储部，其使与从所述带电粒子束装置的检测器取得的试样的图像即试样图像的状态相关的信息即状态图像信息与所述试样图像的画质对应，并且使所述状态图像信息与所述带电粒子束装置的参数设定值的组合即观察条件对应地存储；以及 处理部，其解析从所述检测器取得的所述试样图像的画质，根据作为所述解析结果的所述试样图像的画质以及当前的观察条件，从存储部取得所述状态图像信息，在所述操作画面的预定位置显示该取得的状态图像信息。
14.一种用于操作带电粒子束装置的操作程序，其特征在于， 计算机，使与从所述带电粒子束装置的检测器取得的试样的图像即试样图像的状态相关的信息即状态图像信息与所述试样图像的画质对应，并且使所述状态图像信息与所述带电粒子束装置的参数设定值的组合即观察条件对应地存储， 所述操作程序使计算机执行以下操作: 将显示带电粒子束装置的操作项目的操作画面显示在图像显示部中， 解析从所述检测器取得的所述试样图像的画质， 根据作为所述解析结果的所述试样图像的画质以及当前的观察条件，从存储部取得所述状态图像信息， 在所述操作画面的预定位置显示该取得的状态图像信息。
【文档编号】H01J37/24GK104137220SQ201380011705
【公开日】2014年11月5日 申请日期:2013年3月15日 优先权日:2012年3月16日
【发明者】小西弥生, 能田弘行, 稻田高洋, 重藤训志, 安藤彻, 饭泉纪子, 多持隆一郎, 佐藤贡 申请人:株式会社日立高新技术