带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及适于修正带电粒子光学系统的光轴的偏离，稳定地得到高分辨率的带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法。
【背景技术】
[0002]以扫描电子显微镜为代表的带电粒子束装置，向试样上的希望的区域(视野)扫描带电粒子束，与扫描位置对应地记录从该扫描区域释放的带电粒子信号，由此使观察位置图像化。在扫描电子显微镜中，加速电压、探针电流、物镜与试样之间的距离和信号检测器等可自由设定的参数有很多，成为给人留下操作复杂的印象的主要原因。
[0003]另外，在每次改变这些参数时，需要光轴调整、像散调整等各种各样的调整作业。
[0004]作为与本发明相关的现有技术文献，有专利文献1和专利文献2。两文献也都涉及带电粒子束装置的自动调整。
[0005]专利文献1涉及相对于物镜的光轴偏离的自动调整、以及进行视野修正从而消除相对于像散修正器变化的图像运动，在像散调整时观察图像不运动的调整的自动调整。另夕卜，专利文献2除了涉及专利文献1的内容以外，还涉及把光轴调整到物镜光圈的中心的自动调整。
[0006]现有技术文献
[0007]专利文献
[0008]专利文献1:日本特开2003-22771号公报
[0009]专利文献2:日本特开2008-84823号公报
【发明内容】
[0010]发明要解决的问题
[0011]本发明的发明人对于经验少的操作者修正通用性高的带电粒子束装置的光轴偏离进行了认真的研究，结果发现以下的结论。
[0012]在仅以特定的试样为对象的检查装置、测量装置中，如果利用专利文献1、2的技术，则自动调整失败的可能性极小。但是，在能够观察各种观察试样，对象观察试样范围广的通用性高的带电粒子束装置中，由于调整条件复杂，所以存在由于观察试样导致自动调整失败的可能。
[0013]在自动调整失败时需要手动调整。如果在自动调整失败时最终需要手动调整，则认为会很多操作者从一开始就不使用自动调整功能而进行手动调整。
[0014]但是，手动调整需要靠经验支撑的技术，要么操作者的调整精度有波动，要么调整需要时间。
[0015]另外，操作者没有察觉到调整不足就继续观察，还会对装置性能产生不满。而且，近年来，扫描电子显微镜不再是仅由有限的人使用的特殊装置，操作者的范围扩大，所以可以想象期待操作者学习技术将变得困难。
[0016]为了使经验少的操作者无须复杂的调整就可以操作带电粒子束装置，考虑了以下的应用:由熟练者手动调整带电粒子束照射条件，登录该条件，经验少的操作者调出登录值了来进行使用。
[0017]但是，在通用性高的带电粒子束装置中，决定向试样的照射电流的物镜光圈一般是可动式的，可以想象操作者会经常地改变物镜光圈的位置，难以事先登录物镜光圈的位置。因此，难以判断熟练者进行了手动调整时的物镜光圈位置与当前的物镜光圈位置是否相同，在物镜光圈的位置与调整后的位置不同时，所登录的条件调整值变得没有意义，需要再进行调整。
[0018]另外，当操作者从带电粒子束装置暂时离开时，即使再次操作装置，操作者也无法掌握物镜光圈位置是否发生了变化，所以结果每次使用装置时都需要实施手动调整并进行登录的操作。在通用性高的带电粒子束装置中，试样台的Z坐标可以自由设定，在熟练者手动调整时的Z坐标与当前的Z坐标不同时也需要再进行调整。
[0019]本发明的目的在于，对于观察试样的种类范围广，具有难以事先登录的与一次带电粒子束的照射条件有关的参数的通用性高的带电粒子束装置，即使是经验少的操作者也可容易而且正确地进行操作，从而取得高分辨率。
[0020]用于解决问题的手段
[0021]本发明的带电粒子束装置例如具备:带电粒子源；用于聚焦从上述带电粒子源释放的一次带电粒子束的聚焦透镜；用于把上述一次带电粒子束聚焦到试样上的物镜；相对于上述物镜配置在上述带电粒子源一侧的具有多个物镜光圈的可动物镜光圈；检测由于上述一次带电粒子束的照射从试样产生的二次信号的检测器；对上述检测器检测到的二次信号进行图像处理，显示处理后的图像的图像显示部；存储上述一次带电粒子束的多个照射条件的存储部；以及动作控制部。
[0022]动作控制部选择上述照射条件，判断配置的物镜光圈是否适合于选择的照射条件，在上述物镜光圈不适合时在上述图像显示部上显示不适合，在上述物镜光圈适合于选择的照射条件时，执行调整上述一次带电粒子束的事先调整以便适合选择的照射条件，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在上述存储部中。
[0023]另外，本发明的带电粒子束装置的调整方法例如在存储部中存储带电粒子束装置的与一次带电粒子束照射有关的多个照射条件，选择上述存储部中存储的多个照射条件，判断配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在上述物镜光圈不适合时，在上述图像显示部上显示不适合，在上述物镜光圈适合所选择的照射条件时，执行调整上述一次带电粒子束的事先调整以便适合所选择的照射条件，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在上述存储部中。
[0024]发明的效果
[0025]可实现对于观察试样的种类范围广，具有难以事先登录的与一次带电粒子束的照射条件有关的参数的通用性高的带电粒子束装置，即使是经验少的操作者也可以容易而且正确地进行操作从而取得高分辨率的带电粒子束装置和带电粒子束装置的调整方法。
【附图说明】
[0026]图1是表不扫描电子显微镜装置的一个例子的概要结构图。
[0027]图2是照射条件选择的用户界面(UI)的一个例子。
[0028]图3是用于开始进行事先的自动调整的UI的一个例子。
[0029]图4是波束中心轴调整用图像的一个例子。
[0030]图5是事先调整的动作流程图的一个例子。
[0031]图6是变更为推荐的光圈序号的指示图像的一个例子。
[0032]图7是调整可动物镜光圈的位置的指示图像的一个例子。
[0033]图8是试样台设定画面的一个例子。
[0034]图9是可通过电动方式进行可动物镜光圈6的动作控制时的事先调整动作流程图的一个例子。
[0035]图10是扫描电子显微镜装置的通常使用时的动作流程图的一个例子。
[0036]图11是可通过电动方式进行可动物镜光圈的动作控制时的通常使用时动作流程图的一个例子。
[0037]图12是对推荐执行事先调整进行显示的画面的一个例子。
[0038]图13是对需要维护进行显示的画面的一个例子。
【具体实施方式】
[0039]以下，参照【附图说明】本发明的实施方式。
[0040]在实施例中公开了一种带电粒子束装置，其包括:带电粒子源；聚焦透镜，用于聚焦从带电粒子源释放的一次带电粒子束；物镜，用于把一次带电粒子束聚焦到试样上；可动物镜光圈，相对于物镜配置在带电粒子源侧，具有多个物镜光圈；检测器，检测由于一次带电粒子束的照射从试样产生的二次信号；图像显示部，对由检测器检测出的二次信号进行图像处理，并显示处理后的图像；存储部，存储一次带电粒子束的多个照射条件；以及动作控制部，选择照射条件，判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件，在物镜光圈不适合时在图像显示部上显示不适合，在物镜光圈适合所选择的照射条件时，执行调整一次带电粒子束的事先调整以便适合所选择的照射条件，把执行的结果作为与照射条件有关的参数预先存储在存储部中。
[0041]另外，在实施例中公开了一种带电粒子束装置的调整方法，其在存储部中存储带电粒子束装置的与一次带电粒子束照射有关的多个照射条件；选择存储部中存储的多个照射条件；判断所配置的物镜光圈是否适合所选择的照射条件；在物镜光圈