能够用ebsd检测器容易地分析所期望位置的带电粒子线装置以及其控制方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及具备EBSD检测器的扫描电子显微镜等的带电粒子线装置以及其控制方法。
【背景技术】
[0002]作为试样结晶结构分析法之一有EBSD (Electron Backscattered Diffract1n)法。并且也会称为 EBSP (Electron Backscattered Diffract1n Pattern)法。
[0003]EBSD检测器为在高敏感度照相机的前端配置荧光滤光器的结构，安装于带电粒子线装置上。在试样表面上聚集带电粒子线并照射时，基于结晶方位从试样表面产生的后方散射电子的衍射图象投影于荧光滤光器上。用高敏感度照相机检测该衍射图象来分析结晶方位以及结晶结构。为了将后方散射电子的衍射图象投影至荧光滤光器上，EBSD检测器在试样的正侧面靠近顶端，如靠近至1cm左右配置。
[0004]在专利文献1中记载了:在EBSD检测器分析结晶方位以及结晶结构等的情况下，使用预先已倾斜70度的夹具，不会发生试样载物台倾斜地进行分析的技术。
[0005]另外，在电子显微镜中，作为表示试样载物台图像的众所周知的例子，有记载于专利文献2中的技术。
[0006]记载于专利文献2中的技术是具备获得试样载物台图像的摄像装置，使用用该摄像装置获得的试样载物台图像，使用与试样载物台的位置、移动距离与移动方向、显示装置显示的试样载物台的位置、移动距离与移动方向对应关系的信息，将用电子显微镜获得的试样图像、试样载物台上的位置信息显示于显示装置上的技术。
[0007]现有技术文件
[0008]专利文献
[0009]专利文献1:日本特开2000-277044号公报
[0010]专利文献2:日本特开2010-198998号公报
【发明内容】
[0011]发明所需要解决的课题
[0012]本申请的发明者关于即使是初学者也能够容易且准确地进行EBSD法而进行专心地讨论的结果，达到得到以下的知识的目的。
[0013]在带电粒子线装置中，为了用EBSD检测器高效地检测在试样表面照射带电粒子线而从试样表面产生的后方散射电子的衍射图像，需要相对于垂直线70度左右地倾斜试样台上的试样。
[0014]因此，存在倾斜的试样台与EBSD检测器以及包含于带电粒子线光学系统的部件相互干涉或接触的可能性。
[0015]而且，由于将试样设置于试样台之后70度倾斜，由于由该倾斜而产生的试样载物台的移动试样从视野中丢失，存在寻找包含试样的视野的麻烦情况。
[0016]另外，在使用以预先倾斜的状态下配置试样的EBSD专用试样台的分析法中，由于限制试样旋转方向的载物台移动，存在本来想分析的分析位置不能分析的情况。
[0017]因此，由EBSD检测器进行的试样分析即使对于熟练的操作者来说，以能够分析分析位置的方式调整试样的配置也不容易，需要大量的时间。例如，即使是熟练的操作者，在试样位置调整上也需要十分钟左右，如上述，如果从视野中丢失试样，为了寻找包含试样的视野就需要更多的时间。
[0018]本发明的目的在于提供一种带电粒子线装置，该装置能够预先把握能通过EBSD检测器分析的试样的分析位置，能够在短时间内将试样调整至所期望的分析位置。
[0019]用于解决课题的方法
[0020]本发明是带电粒子线装置，该装置例如具备:释放带电粒子线的带电粒子源；在试样上照射带电粒子线的带电粒子光学系统；检测通过带电粒子线的照射而从试样表面产生的后方散射电子衍射的EBSD检测器；对配置试样的试样台进行支撑并移动的试样载物台；区别试样中的能通过上述EBSD检测器观察的部分与不能通过上述EBSD检测器观察的部分并显示的图像显示部；输入利用EBSD检测器的观察位置的操作输入部；以能用EBSD检测器观察由操作输入部输入的观察位置的方式控制试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动的控制部。
[0021]另外，本发明是带电粒子线装置，该装置例如具备:释放带电粒子线的带电粒子源；在试样上照射带电粒子线的带电粒子光学系统；检测通过带电粒子线的照射而从试样表面产生的后方散射电子衍射的EBSD检测器；对配置试样的试样台进行支撑并移动的试样载物台；输入利用EBSD检测器的观察位置的操作输入部；在由操作输入部输入的观察位置是能通过EBSD检测器观察的部分的情况下，以能用EBSD检测器观察该观察位置的方式控制试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动的控制部；在由操作输入部输入的观察位置是不能通过EBSD检测器观察的部分的情况下，显示不能进行由EBSD检测器进行的观察的内容的图像显示部。
[0022]另外，本发明例如是对EBSD检测器向带电粒子线装置的安装进行导向的带电粒子线装置的控制方法，在控制部中基于被试样载物台支撑的试样台的大小、EBSD检测器使用时的试样载物台的倾斜角度、试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动的范围，运算在配置于试样台的试样中的能通过EBSD检测器观察的部分与不能通过EBSD检测器观察的部分，在由从操作输入部输入的利用上述EBSD检测器的观察位置是能观察的部分的情况下，控制部以能用EBSD检测器观察该观察位置的方式控制试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动，在以能用EBSD检测器观察观察位置的方式进行试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动后，在显示部显示能插入EBSD检测器的内容。
[0023]发明效果
[0024]根据本发明能够预先把握能由EBSD检测器观察的试样的观察位置，并能够在短时间内将试样调整至所期望的观察位置。
【附图说明】
[0025]图1是带电粒子线装置的整体结构的概略图。
[0026]图2是表示在实施例中的试样观察之前的处理流程的流程图。
[0027]图3是表示在实施例中的用户实施的试样观察之前的处理流程的流程图。
[0028]图4是表示实施例中的用户进行试样的观察对象位置的指示的输入部的概略图。
[0029]图5是表示显示实施例中的孔部件与试样台之间的位置关系的模拟图像的一例的图。
[0030]图6是表示显示试样台从图5所示的状态移动的情况下的位置关系的模拟图像的一例的图。
[0031]图7是表示在图6所示的状态中插入检测器的情况下的模拟图像的一例的图。
【具体实施方式】
[0032]以下，参照附图关于本发明的实施方式进行说明。
[0033]实施例公开了一种带电粒子线装置，其具备:释放带电粒子线的带电粒子源；将带电粒子线照射至试样的带电粒子光学系统；检测通过带电粒子线的照射而从试样表面产生的后方散射电子衍射的EBSD检测器；对配置试样的试样台进行支撑并移动的试样载物台；区别试样中的能通过EBSD检测器分析的部分与不能通过EBSD检测器分析的部分并显示的图像显示部；输入利用EBSD检测器的分析位置的操作输入部；以能用EBSD检测器分析从操作输入部输入的分析位置的方式控制试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转运动的控制部。
[0034]另外，实施例公开了一种带电粒子线装置，其具备:释放带电粒子线的带电粒子源；将带电粒子线照射至试样的带电粒子光学系统；检测通过带电粒子线的照射而从试样表面产生的后方散射电子衍射的EBSD检测器；对配置试样的试样台进行支撑并移动的试样载物台；输入利用EBSD检测器的分析位置的操作输入部；在由操作输入部输入的分析位置是能由EBSD检测器分析的部分的情况下，以能用EBSD检测器分析该分析位置的方式控制试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转运动的控制部；在由操作输入部输入的分析位置是不能由EBSD检测器分析的部分的情况下，显示不能进行利益EBSD检测器的分析的内容的图像显示部。
[0035]另外，实施例中公开了:在引导EBSD检测器向带电粒子线装置的安装的带电粒子线装置的控制方法中，控制部基于被试样载物台支撑的试样台的大小、EBSD检测器使用时的试样载物台的倾斜角度、试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转移动的范围，运算在配置于试样台的试样中的能通过EBSD检测器分析的部分、不能通过EBSD检测器分析的部分，在由从操作输入部输入的利用EBSD检测器的分析位置是能分析的部分的情况下，控制部以能用EBSD检测器分析该分析位置的方式控制试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转运动，在试样载物台以能用EBSD检测器分析分析位置的方式进行平面移动、倾斜移动以及旋转运动后，在图像显示部中显示能插入EBSD检测器的内容。
[0036]另外，实施例公开了:在引导EBSD检测器向带电粒子线装置的安装的带电粒子线装置用程序中，控制部基于被试样载物台支撑的试样台的大小、EBSD检测器使用时的试样载物台的倾斜角度、试样载物台的平面移动、倾斜移动以及旋转运动的范围，运算在配置于试样台的试样中的能通过EBSD检测器分析分析部分、不能通过EBSD检测器分析的部分，在由从操作输入部输入的利用EBSD检测器的分析位置是能分析的部分的情况下，控制部以能用EBSD检测器分析该分析位置的方式控制试样载物台的平