一种聚焦离子束显微镜的样品台的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供一种聚焦离子束显微镜的样品台，所述举升装置至少包含平台、盖体、螺丝和第一连接件；所述样品台包含一带有十字开口的盖体，通过加入盖体，使得样品与样品台的接触稳定性更好，且取样品时只需要打开盖体即可，操作更加便捷；所述盖体的十字开口分为四个开口部，且各开口部的宽度各不相同，可以实现对不同样品的同时检测；进一步的，盖体的材料为金属材料，在固定样品的同时，可以导走样品表面聚积的电荷，确保测量结构的准确性。
【专利说明】
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种半导体工艺设备【技术领域】，特别是涉及一种聚焦离子束显微 镜的样品台。 -种聚焦离子束显微镜的样品台
【背景技术】
[0002] FIB(F〇cus Ion Beam，聚焦离子束）是一种功能强大的电性分析工具，能够观察样 品的截面而被广泛应用于半导体失效分析中。
[0003] 目前，FIB机台使用的样品台如图1所示，包含平台11和用于将所述平台连接于检 测机台的螺丝12。在使用的过程中，如图2所示，样品13通过粘贴物14(如铜胶带、碳胶、 银胶等）粘在所述平台11上作为固定，以保证样品在后面处理过程中被电子轰击时的稳定 性，同时，铜胶带、碳胶、银胶等具有很好的导电性，避免因样品表面聚积电荷而影响最终测 试的成像效果。
[0004] 但现有方法依然存在很多缺陷：铜胶带粘贴的样品稳定性不足，在受到电子轰击 时（尤其是在高温下），极易产生图像抖动，所以，为了避免图像抖动，在粘贴的时候需要 尽量粘贴紧；但粘贴过紧，在测试完成后揭去胶带的时候却很麻烦，而且极易对样品造成损 坏。尤其是银胶和碳胶作为粘贴物14的情况中，使用完后还需要用丙酮擦洗才能彻底去除 干净，但丙酮具有一定的挥发性，会对人体造成吸入性伤害，无形中对工程师的健康构成威 胁。
[0005] 鉴于此，有必要设计一种新的聚焦离子束显微镜的样品台以解决上述技术问题。 实用新型内容
[0006] 鉴于以上所述现有技术的缺点，本实用新型的目的在于提供一种聚焦离子束显微 镜的样品台，用于解决现有技术中由于使用铜胶带、碳胶、银胶等将样品紧贴在样品台上， 在测试完成后很难将样品揭下来，且在揭的过程中很容易对样品造成损伤的问题，以及在 去除样品台上粘贴用的胶时，需要使用丙酮等易挥发性有机物，会对人体造成伤害的问题。
[0007] 为实现上述目的及其他相关目的，本实用新型提供一种聚焦离子束显微镜的样品 台，所述样品台至少包含：平台，适于放置样品；盖体，所述盖体上设有开口，适于利用所述 开口的边缘压制放置于所述样品的边缘，以固定所述样品；螺丝，位于所述平台底部，适于 将所述平台固定于测试机台上；以及连接所述平台和盖体的第一连接件。
[0008] 作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述平台上表面 设置有样品放置区，所样品放置区的轮廓与所述开口的轮廓相对应。
[0009] 作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述开口为十字 形开口，至少包含第一开口部、第二开口部、第三开口部和第四开口部。
[0010] 作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述第一开口 部、第二开口部、第三开口部和第四开口部中至少有一个开口部的宽度与其他各开口部的 宽度不相等。 toon] 作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述第一开口 部、第二开口部、第三开口部和第四开口部的宽度各不相等。
[0012] 作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述盖体的材料 为金属材料。
[0013] 作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述聚焦离子束 显微镜的样品台还包含一固定装置，所述固定装置至少包含卡扣、卡勾和第二连接件，所述 卡扣通过所述第二连接件固定于所述盖体上，且位于与所述第一连接件的相对的一端；所 述卡勾固定于所述平台的侧壁上，并与所述卡扣对应。
[0014] 作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述卡扣上设置 有一插孔，所述插孔至卡扣固定端的距离与所述卡勾至所述平台上表面的距离相等。
[0015] 作为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台的一种优选方案，所述卡扣的长度 大于所述平台的厚度。
[0016] 如上所述，本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台，具有以下有益效果：所述样 品台包含一带有十字开口的盖体，通过加入盖体，使得样品与样品台的接触稳定性更好，且 取样品时只需要打开盖体即可，操作更加便捷；所述盖体的十字开口分为四个开口部，且各 开口部的宽度各不相同，可以实现对不同样品的同时检测；进一步的，盖体的材料为金属材 料，在固定样品的同时，可以导走样品表面聚积的电荷，确保测量结构的准确性。
【专利附图】
【附图说明】
[0017] 图1显示为现有技术中聚焦离子束显微镜的样品台的结构示意图。
[0018] 图2显示为现有技术中的样品粘贴至聚焦离子束显微镜的样品台的示意图。
[0019] 图3显示为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台盖体打开时的结构示意图。
[0020] 图4显示为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台盖体的结构示意图。
[0021] 图5显示为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台放置样品盖体盖上时的结 构示意图。
[0022] 元件标号说明
[0023] 11、21 平台
[0024] 12、22 螺丝
[0025] 13、29 样品
[0026] 14 粘贴物
[0027] 211 样品放置区
[0028] 23 盖体
[0029] 24 开口
[0030] 241 第一开口部
[0031] 242 第二开口部
[0032] 243 第三开口部
[0033] 244 第四开口部
[0034] 25 第一连接件
[0035] 26 卡扣
[0036] 261 插孔
[0037] 27 卡勾
[0038] 28 第二连接件
[0039] 29 样品
[0040] 屯 第一开口部宽度
[0041] d2 第二开口部宽度
[0042] d3 第三开口部宽度
[0043] d4 弟四开口部览度
【具体实施方式】
[0044] 以下通过特定的具体实例说明本实用新型的实施方式，本领域技术人员可由本说 明书所揭露的内容轻易地了解本实用新型的其他优点与功效。本实用新型还可以通过另 外不同的【具体实施方式】加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应 用，在没有背离本实用新型的精神下进行各种修饰或改变。
[0045] 请参阅图3至图5。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用 以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本实用新 型可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小 的调整，在不影响本实用新型所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本实用新 型所揭示的技术内容得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如"上"、"下"、"左"、 "右"、"中间"及"一"等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本实用新型可实施的 范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本实用新型可实施的 范畴。
[0046] 图3为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台盖体打开时的结构示意图，由图 3可知，本实用新型提供一种聚焦离子束显微镜的样品台，所述聚焦离子束显微镜的样品台 至少包含：平台21，适于放置样品；盖体23,所述盖体23上设有开口 24,适于利用所述开口 24的边缘压制放置于所述样品的边缘，以固定所述样品；螺丝22,位于所述平台21底部，适 于将所述平台21固定于测试机台上；以及连接所述平台21和盖体23的第一连接件25。
[0047] 具体的，所述平台21的上表面还设置有样品放置区211，在测试时，样品放置于所 述样品放置区211内。所样品放置区211的轮廓与所述开口 24的轮廓相对应，以确保放置 好样品盖好盖体23以后，样品不被所述盖体23所遮挡。
[0048] 具体的，所述开口 24为十字形开口。
[0049] 具体的，所述聚焦离子束显微镜的样品台还包含一固定装置，所述固定装置至少 包含卡扣26、卡勾27和第二连接件28,所述卡扣26通过所述第二连接件28固定于所述盖 体23上，且位于与所述第一连接件25的相对的一端；所述卡勾27固定于所述平台21的侧 壁上，并与所述卡扣26对应。所述卡扣26上设置有一插孔261，所述插孔261至卡扣26固 定端的距离与所述卡勾27至所述平台21上表面的距离相等。
[0050] 优选地，本实施例中，所述卡扣26的长大于所述平台21的厚度。
[0051] 具体的，所述盖体的材料为金属材料。盖体的材料为金属材料，在固定样品的同 时，可以导走样品表面聚积的电荷，确保测量结构的准确性。
[0052] 图4为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台盖体的结构示意图。由图4可知， 所述盖体23上的开口 24为十字形开口，所述十字形开口至少包含第一开口部241、第二开 口部242、第三开口部243和第四开口部244。
[0053] 具体的，所述第一开口部241、第二开口部242、第三开口部243和第四开口部244 中至少有一个开口部的宽度与其他各开口部的宽度不相等。优选地，本实施例中，所述第一 开口部241的宽度屯、第二开口部242的宽度d 2、第三开口部243的宽度d3和第四开口部 244的宽度山各不相等。将所述盖体23的十字开口分为四个开口部，且各开口部的尺寸各 不相同，可以通过预留孔径大小的不同实现对不同样品的同时检测。
[0054] 图5为本实用新型的聚焦离子束显微镜的样品台放置样品盖体盖上时的结构示 意图。由图5可知，将样品29放入平台21表面上的样品放置区以后，盖上盖体23,并将固 定装置中所述盖体23上的卡扣26扳下来，将所述平台21侧壁上的卡勾27置于所述卡扣 26上的插孔261内，使盖体23紧紧地盖在在所述平台21上，从而实现将样品牢固地固定在 所述平台21上。通过加入盖体23,使得样品与样品台的接触稳定性更好，且取样品时只需 要打开盖体23即可，操作更加便捷。
[0055] 综上所述，本实用新型提供一种聚焦离子束显微镜的样品台，所述样品台包含一 带有十字开口的盖体，通过加入盖体，使得样品与样品台的接触稳定性更好，且取样品时只 需要打开盖体即可，操作更加便捷；所述盖体的十字开口分为四个开口部，且各开口部的宽 度各不相同，可以实现对不同样品的同时检测；进一步的，盖体的材料为金属材料，在固定 样品的同时，可以导走样品表面聚积的电荷，确保测量结构的准确性。
[0056] 上述实施例仅例示性说明本实用新型的原理及其功效，而非用于限制本实用新 型。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本实用新型的精神及范畴下，对上述实施例进行 修饰或改变。因此，举凡所属【技术领域】中具有通常知识者在未脱离本实用新型所揭示的精 神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本实用新型的权利要求所涵盖。
【权利要求】
1. 一种聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于，所述样品台至少包含： 平台，适于放置样品； 盖体，所述盖体上设有开口，适于利用所述开口的边缘压制住所述样品的边缘，以固定 所述样品； 螺丝，位于所述平台底部，适于将所述平台固定于测试机台上； 以及连接所述平台和盖体的第一连接件。
2. 根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于：所述平台上表面 设置有样品放置区，所样品放置区的轮廓与所述开口的轮廓相对应。
3. 根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于：所述开口为十字 形开口，至少包含第一开口部、第二开口部、第三开口部和第四开口部。
4. 根据权利要求3所述的聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于：所述第一开口部、 第二开口部、第三开口部和第四开口部中至少有一个开口部的宽度与其他各开口部的宽度 不相等。
5. 根据权利要求3所述的聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于：所述第一开口部、 第二开口部、第三开口部和第四开口部的宽度各不相等。
6. 根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于：所述盖体的材料 为金属材料。
7. 根据权利要求1所述的聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于：还包含一固定装 置，所述固定装置至少包含卡扣、卡勾和第二连接件，所述卡扣通过所述第二连接件固定于 所述盖体上，且位于与所述第一连接件的相对的一端；所述卡勾固定于所述平台的侧壁上， 并与所述卡扣对应。
8. 根据权利要求7所述的聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于：所述卡扣上设置 有一插孔，所述插孔至卡扣固定端的距离与所述卡勾至所述平台上表面的距离相等。
9. 根据权利要求7所述的聚焦离子束显微镜的样品台，其特征在于：所述卡扣的长度 大于所述平台的厚度。
【文档编号】H01J37/20GK203910742SQ201420348330
【公开日】2014年10月29日 申请日期:2014年6月26日 优先权日:2014年6月26日
【发明者】付贺伟 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司