一种激光蚀刻tco图案的方法
【专利摘要】本发明提供了一种激光蚀刻TCO图案的方法，包括如下步骤：1）绘制激光蚀刻图形：使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；2）将步骤1）中的图形导入激光设备；3）将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤1）中的图形一样的线条。本发明具有如下技术效果：蚀刻时间与蚀刻面积成正比关系，蚀刻线条的面积远远小于蚀刻一个面的面积，原来需要蚀刻的面积越大，采用本发明后节省的时间越多。能够缩短激光蚀刻时间，提高生产效率。
【专利说明】一种激光蚀刻TCO图案的方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及一种激光蚀刻TCO图案的方法，属于激光蚀刻【技术领域】。
【背景技术】
[0002]TCO是Transparent Conductive Oxide的英文缩写，一般是通过磁控派射的方法镀在有机薄膜PET、玻璃(钠钙Na-Ca玻璃)或是硬性塑料(表面做过硬化处理的亚克力板)基板上，一般厚度只有几百埃到几千埃，这种透明导电薄膜具有较低电阻率、高可见光透过率等优良特性。目前透明导电膜分为三种=ZnO基TCO薄膜、多元TCO薄膜、高迁移率TCO薄膜。随着电子产品的多样化及高速发展，TCO薄膜广泛地应用于平板显示、太阳能电池、触膜屏、OLED显示或照明及其他光电器件领域。
[0003]传统的湿法化学试剂蚀刻加工方式需增加清洗剂，废水处理等占地较大的设备，制作成本高、污染大，如果工艺控制不好还常出现光阻残留等引起产品的缺陷。
[0004]激光蚀刻TCO已出现多年，而且有很多好处，但一直没被液晶行业、OLED显示或照明等行业推广使用，其中一个主要原因是:设计时继承了湿法蚀刻的设计图案，大部份图案都要被蚀刻掉，导致蚀刻时间很长，效率低下。具个例子:激光光斑直径是0.025mm，激光频率100KHZ，光斑重叠率是2/3，假如需蚀刻面积为I平方米的TCO玻璃，则需要53小时左右，因此没有商业价值。
【发明内容】
[0005]本发明的目的是克服现有技术的不足之处，提供一种激光蚀刻TCO图案的方法。
[0006]本发明的激光蚀刻TCO图案的方法包括如下步骤:
O绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；
2)此图案不用填充，将步骤I)中的图形导入激光设备；
3)将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤I)中的图形一样的单光斑线条。这条激光蚀刻过的线条能断开相邻两边的TC0，起到隔断电流的作用。
[0007]所述的步骤3)中的线条为单光斑线条。
[0008]所述的步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在一边再画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，所述的步骤3)中的线条为双光斑线条。
[0009]所述的步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在两边各画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，所述的步骤3)中的线条为三光斑线条。
[0010]所述的绘图软件为AUTO CAD、CORELDRAW或CAM。
[0011]如图1a和图1b标识(2)的地方是需要想要的通电的地方，标识(I)为不需要通电的地方。传统激光蚀刻方法是把标识(I)上所有的TCO均使用激光蚀刻掉，需要花很多的时间去蚀刻。而本发明是只需沿图2a和图2b中的线条蚀刻一圈即可，可节省大量的时间。
[0012]本发明具有如下技术效果:蚀刻时间与蚀刻面积成正比关系，蚀刻线条的面积远远小于蚀刻一个面的面积，原来需要蚀刻的面积越大，采用本发明后节省的时间越多。能够缩短激光蚀刻时间，提高生产效率。另外，如果使用单光斑线条来蚀刻，担心玻璃基板上异物的影响，可用双光斑线条或三光斑线条降低没蚀刻断开的可能性。
【专利附图】
【附图说明】
[0013]图1a和图1b为需要蚀刻的TCO的示意图；
图2a为与图1a对应的TCO上需要蚀刻的线条示意图；
图2b为与图1b对应的TCO上需要蚀刻的线条示意图；
图3是按照传统方法蚀刻的实施例1的图形；
图4是按照本发明方法蚀刻的实施例1的图形；
图5是按照传统方法蚀刻的实施例3的图形；
图6是按照本发明方法蚀刻的实施例3的图形。
[0014]其中，I为不需要通电的地方；2为需要想要的通电的地方。
【具体实施方式】
[0015]实施例1
本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法，包括如下步骤:1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；2)将步骤I)中的图形导入激光设备；3)将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤I)中的图形一样的线条。所述的步骤3)中的线条为单光斑线条。所述的绘图软件为AUTO CAD、CORELDRAW或CAM。
[0016]激光器波长(激光器8W):532nm，激光控制能量电流:21A，光斑直径:25um，频率:100KHZ，振镜速度:600mm/s，激光开延时:_450us，激光关延时:140us，跳转延时:100us，拐弯延时:100us，纵向填充密度:0.012mm，需要切割出一个面积为的方形，与周围的TCO断开，使用传统的方法把整个面积为的方形蚀刻干净，如图3，蚀刻时间为19.054s，但使用本发明后，如图4，蚀刻时间为0.475s。时间相差40.11倍。
[0017]实施例2
本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法，包括如下步骤:1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条；2)将步骤I)中的图形导入激光设备；3)将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤I)中的图形一样的线条。所述的步骤3)中的线条为单光斑线条。所述的绘图软件为AUTO CAD、CORELDRAW或CAM。
[0018]激光波长为1064nm，激光器能量:20W，电流控制:100%，单光斑直径:65um，频率:50KHZ，振镜速度:500mm/s，激光开延时:50us，激光关延时:180us，跳转延时:400us，光闸开延时:500us，纵向填充密度:0.02mm，需要切割出一个面积为20mm*20mm的方形，与周围的TCO断开，使用传统的方法把整个面积为20mm*20mm的方形蚀刻干净，蚀刻时间为87s，但使用本发明后，蚀刻时间为4s。时间相差21.75倍。
[0019]实施例3
本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法和设备，与实施例2相同。
[0020]传统的对位标如图5，是一个面十字标，这样设计会浪费蚀刻时间，如使用本发明后，可以简化为图6，直接用蚀刻线代替，可达到同样对位的，但可以节省了很多时间。[0021]实施例4
本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法和设备，与实施例1相同。只是在步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在一边再画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，步骤3)中的线条为双光斑线条。
[0022]实施例5
本实施例中，激光蚀刻TCO图案的方法和设备，与实施例1相同。只是步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在两边各画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，步骤3)中的线条为三光斑线条。
【权利要求】
1.一种激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，包括如下步骤: 1)绘制激光蚀刻图形:使用绘图软件绘制好需要被断开的TCO线条； 2)将步骤I)中的图形导入激光设备； 3)将TCO固定在激光设备的工作台上，使用激光设备在TCO蚀刻出与步骤I)中的图形一样的线条。
2.根据权利要求1所述的激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，所述的步骤3)中的线条为单光斑线条。
3.根据权利要求1所述的激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，所述的步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在一边再画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，所述的步骤3)中的线条为双光斑线条。
4.根据权利要求1所述的激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，所述的步骤I)中绘图时，以被断开的TCO线条为基础，在两边各画一条线条，线条间距大概为光斑直径的1/3，所述的步骤3)中的线条为三光斑线条。
5.根据权利要求1所述的激光蚀刻TCO图案的方法，其特征在于，所述的绘图软件为AUTO CAD、CORELDRAW 或 CAM。
【文档编号】B23K26/362GK103737182SQ201310646532
【公开日】2014年4月23日 申请日期:2013年12月6日 优先权日:2013年12月6日
【发明者】田元生, 任华进 申请人:南京第壹有机光电有限公司