1.一种时序控制表面微结构阵列加工装置，其特征在于：由z轴调整单元(9)、加工主运动产生单元、试件精密定位单元、基础支撑单元组成；所述基础支撑单元由底座a(1)和龙门立柱(2)组成，z轴调整单元(9)安装在龙门立柱(2)上，试件精密定位单元安装在底座a(1)上，加工主运动产生单元安装在z轴调整单元(9)上，试件(5)通过熔融石蜡粘结到试件精密定位单元的导轨滑块组件a(14)上。
2.根据权利要求1所述的时序控制表面微结构阵列加工装置，其特征在于：所述的加工主运动产生单元由楔形块组合a(6)、压电叠堆a(7)、桥式柔性铰链机构(8)、力传感器(10)、工具头安装柱(11)、预紧螺钉a(12)、工具头(13)组成；其中压电叠堆a(7)安装在桥式柔性铰链机构(8)的方槽中，并且通过楔形块组合a(6)进行预紧；力传感器(10)安装在桥式柔性铰链机构(8)上，工具头安装柱(11)安装在力传感器(10)上，工具头(13)安装在工具头安装柱(11)上，并通过预紧螺钉a(12)进行预紧。
3.根据权利要求1所述的时序控制表面微结构阵列加工装置，其特征在于：所述的试件精密定位单元是一种新型的二自由度粘滑惯性式压电驱动精密定位平台，由x轴精密定位单元(4)、y轴精密定位单元(3)组成；x轴精密定位单元(4)和y轴精密定位单元(3)具有相同的结构以及驱动方式，都是通过杠杆式柔性铰链机构来放大压电叠堆的输出位移并传递到导轨滑块组件上；将x轴精密定位单元(4)和y轴精密定位单元(3)堆叠放置，可以实现在x轴和y轴上互不干扰的运动；x轴精密定位单元(4)由杠杆式柔性铰链机构a(20)、压电叠堆b(19)、楔形块组合b(17)、导轨滑块组件a(14)、底座b(15)组成；其中杠杆式柔性铰链机构a(20)通过预紧螺钉c(18)安装在底座b(15)上，压电叠堆b(19)安装在杠杆式柔性铰链机构a(20)的方槽中，并通过楔形块组合b(17)进行预紧；y轴精密定位单元(3)由杠杆式柔性铰链机构b(27)、压电叠堆c(26)、楔形块组合c(24)、导轨滑块组件b(21)、底座c(22)组成，其中杠杆式柔性铰链机构b(27)通过预紧螺钉d(25)安装在底座c(22)上，压电叠堆c(26)安装在杠杆式柔性铰链机构b(27)的方槽中，并通过楔形块组合c(24)进行预紧；x轴精密定位单元(4)的底座b(15)通过预紧螺钉b(16)安装在y轴精密定位单元(3)的导轨滑块组件b(21)上，y轴精密定位单元(3)通过底座c(22)上的安装孔(23)配合螺钉安装在基础支撑单元的底座a(1)上；对x轴精密定位单元(4)以及y轴精密定位单元(3)里的压电叠堆施加驱动电压，通过控制电压幅值和频率，可以使试件以设定的速度沿设定的轨迹运动，实现试件在x轴和y轴的精密定位。