一种水冷散热屏定位维修装置及方法与流程

文档序号:29743962发布日期:2022-04-21 20:40阅读:164来源:国知局
一种水冷散热屏定位维修装置及方法与流程

1.本发明涉及硅片生产技术领域,具体涉及一种散热屏定位维修装置及方法。


背景技术:

2.单晶硅生产中会遇到热场升级改造的情况。在热场升级改造的过程中,水冷散热屏需要进行定位维修,此时需要将水冷散热屏和其下方的导流筒由单晶炉中取出以进行维修,在维修过程中,由于导流筒需要频繁进行升降,容易发生掉落事故,严重降低了生产效率。


技术实现要素:

3.有鉴于此,本发明提供一种水冷散热屏定位维修装置及方法,用以解决水路管道较长,导流筒在升降过程中发生倾斜的问题。
4.为解决上述技术问题,本发明采用以下技术方案:
5.根据本发明实施例的一种水冷散热屏定位维修装置,包括:
6.定位支撑架,定位支撑架包括第一支撑柱和第二支撑柱,第一支撑柱和第二支撑柱的顶端通过横杆固定连接;
7.底座,底座分别与第一支撑柱和第二支撑柱的底端固定连接,底座和定位支撑架形成为框架;
8.至少一组管道固定件,每组管道固定件包括对称设置在第一支撑柱和第二支撑柱上的管道固定件。
9.在本发明的一个实施例中,第一支撑柱和第二支撑柱垂直于底座。
10.在本发明的一个实施例中,水冷散热屏定位维修装置还包括:
11.第一停放平台,第一停放平台的一端与第一支撑柱固定连接,另一端为自由端,第一停放平台设置在与第一支撑柱上的管道固定件的下方;
12.第二停放平台,第二停放平台的一端与第二支撑柱固定连接,另一端为自由端,第二停放平台设置在与第二支撑柱连接的管道固定件的下方,第二停放平台与第一停放平台对称设置。
13.在本发明的一个实施例中,水冷散热屏定位维修装置还包括:
14.第一固定杆,第一固定杆倾斜设置在横杆与第一支撑柱之间,第一固定杆一端与横杆固定连接,另一端与第一支撑柱固定连接;
15.第二固定杆,第二固定杆倾斜设置在横杆与第二支撑柱之间,第二固定杆一端与横杆固定连接,另一端与第二支撑柱固定连接。
16.在本发明的一个实施例中,管道固定件为固定夹钳。
17.本发明还提供一种水冷散热屏定位维修方法,水冷散热屏两侧对称设置有水路管道,其特征在于,方法应用于上述任一项实施例中的水冷散热屏定位维修装置,方法包括:
18.将水冷散热屏连同导流筒一起从单晶炉中取出;
19.将水冷散热屏和导流筒分离后将水冷散热屏放置在底座上;
20.使用管道固定件将水冷散热屏两侧对称设置的水路管道分别紧固在第一支撑柱和第二支撑柱上;
21.对水冷散热屏的水路管道进行维修;
22.对水冷散热屏的水路管道维修完毕后,将导流筒挂接在水冷散热屏上并放入单晶炉中。
23.在本发明的一个实施例中,将水冷散热屏放置在底座上,包括:
24.将水冷散热屏两侧的水路管道的弯折处分别放置在第一停放平台和第二停放平台上。
25.在本发明的一个实施例中,对水冷散热屏的水路管道进行维修,包括:
26.当需要增加水路管道长度时,将水路管道的中间部位切开;
27.在切开的中间部位增加一段水路管道;
28.将中间部位与增加的一段水路管道的连接处进行焊接。
29.在本发明的一个实施例中,对水冷散热屏的水路管道进行维修,包括:
30.当需要减少水路管道长度时,将水路管道由中间段切开;
31.截取所需长度的水路管道后,将水路管道拼接并进行焊接。
32.本发明的上述技术方案至少具有如下有益效果之一:
33.1、本发明的水冷散热屏定位维修装置及方法,通过将水冷散热屏的水路管道固定至支撑柱上,使得水路管道在移动过程中保持稳定,避免了因导流筒发生晃动而掉落,有效提升了施工安全性;
34.2、本发明的水冷散热屏定位维修装置及方法,在水冷散热屏和导流筒的下方设置有底座,可以稳定地承接导流筒,进一步提升了安全性。
附图说明
35.图1为本发明实施例提供的一种水冷散热屏定位维修装置的结构示意图;
36.图2为本发明实施例提供的一种水冷散热屏定位维修方法的流程图。
37.附图标记:110、第一支撑柱;111、第一停放平台;112、第一固定杆;120、第二支撑柱;121、第二停放平台;122、第二固定杆;130、横杆;140、管道固定件;200、底座;300、水冷散热屏;310、水路管道。
具体实施方式
38.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例的附图,对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例,本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
39.除非另作定义,本发明中使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。同样,“一个”或者“一”等类似词语也不表示数量限制,而是表示存在至少一个。“连接”或者“相连”等类似的
词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的连接,不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系,当被描述对象的绝对位置改变后,则该相对位置关系也相应地改变。
40.在单晶炉中,导流筒挂接在水冷散热屏的水路管道上,可以随着水冷散热屏升降。现有的水冷散热维修过程中,需要将水冷散热屏连同导流筒一同从单晶炉中取出,水冷散热屏上连接的水路管道需要跟随水冷散热屏一同加高或者降低高度以对其进行截短或增加长度的操作,由于水路管道较长并且水冷散热屏下方连接的导流筒质量较重,不能保证垂直度,在水路管道随水冷散热屏一同上升或下降时,水路管道会发生晃动而导致重大偏差,水路管道下方的导流筒发生倾斜,导致在升降过程中因受力不均而掉落造成事故。
41.基于以上所述,本发明实施例提供了一种水冷散热屏定位维修装置,同时提供了基于该维修装置的维修方法。
42.下面首先结合附图具体描述根据本发明实施例的水冷散热屏定位维修装置及方法。
43.请参考图1,本发明提供一种水冷散热屏定位维修装置,包括:定位支撑架、底座200及多个管道固定件140。其中,定位支撑架包括第一支撑柱110和第二支撑柱120,第一支撑柱110和第二支撑柱120的顶端通过横杆130固定连接;底座200分别与第一支撑柱110和第二支撑柱120的底端固定连接,底座200和定位支撑架形成为框架;多个管道固定件140分别对称设置在第一支撑柱110和第二支撑柱120上。具体来说,当通过该装置对水冷散热屏300的连接的水路管道310进行维修、截断或加长时,需要将水冷散热屏300连同导流筒由单晶炉中取出并放置在定位支撑架上方,然后下降到底座200上,此时,水冷散热屏300上连接的水路管道310可以贴合或平行于第一支撑柱110和第二支撑柱120进行固定,例如可以通过管道固定架将水路管道310分别固定在第一支撑柱110和第二支撑柱120上,使得水路管道310可以牢固的贴合在第一支撑柱110和第二支撑柱120上从而可以确保水路管道的垂直度。由此,当水冷散热屏300上升或下降时,长度较长的水路管道310能够保证垂直度,并且不易发生晃动,有效避免了导流筒由于水路管道310晃动而发生掉落的风险,提升了工作安全性。同时,导流筒的下方设置的底座200可以稳固地承接导流筒,减小了导流筒施加在水路管道310上使得水路管道310晃动的力,进一步提升了水路管道310的稳定性,便于对水路管道310进行定位和维修,提高了生产效率。
44.请参考图1,在本发明的一个实施例中,第一支撑柱110和第二支撑柱120垂直于底座200。具体来说,由于第一支撑柱110和第二支撑柱120垂直于底座200,所以在将水路管道310固定至第一支撑柱110和第二支撑柱120时,水路管道310可以在与第一支撑柱110和第二支撑柱120紧密贴合的同时与底座200垂直。由此,当水路管道310随定位支撑架上升或下降时,水路管道310可以保持垂直,有效避免了导流筒由于水路管道310晃动而发生掉落的风险,进一步提升了工作安全性。
45.请参考图1,在本发明的一个实施例中,水冷散热屏定位维修装置还包括:第一停放平台111、第二停放平台121。其中,第一停放平台111的一端与第一支撑柱110固定连接,另一端为自由端,第一停放平台111设置在与第一支撑柱110上的管道固定件140的下方;第二停放平台121的一端与第二支撑柱120固定连接,另一端为自由端,第二停放平台121设置在与第二支撑柱120连接的管道固定件140的下方,第二停放平台121与第一停放平台111对
称设置。具体来说,水路管道310在第一停放平台111和第二停放平台121处设有对向的弯折,可以将弯折处放置在第一停放平台111和第二停放平台121上使得第一停放平台111和第二停放平台121向上方撑起水路管道310。由此,可以使得水路管道310的稳定性进一步提升,提升了施工的安全性。
46.请参考图1,在本发明的一个实施例中,水冷散热屏定位维修装置还包括:第一固定杆112、第二固定杆122。其中,第一固定杆112倾斜设置在横杆130与第一支撑柱110之间,第一固定杆112一端与横杆130固定连接,另一端与第一支撑柱110固定连接;第二固定杆122倾斜设置在横杆130与第二支撑柱120之间,第二固定杆122一端与横杆130固定连接,另一端与第二支撑柱120固定连接。具体来说,第一固定杆112和第二固定杆122可以与定位支撑架的接触处形成为三角结构,三角结构架构稳定,有效提升了结构强度。由此,有效提升了定位支撑架的整体强度,进一步提升了随水路管道310一同上升或下降时的稳定性。
47.请参考图1,在本发明的一个实施例中,管道固定件140为固定夹钳。具体来说,固定夹钳包括三个,并依次设置在支撑柱上,固定夹钳可以通过t型锁定装置延螺纹锁定或松开,可以调节夹紧力度,同时也适用于不同管径的水路管道310。由此,在稳固固定水路的同时,提高适用范围。
48.如图2所示,本发明还提供一种水冷散热屏定位维修方法,水冷散热屏两侧对称设置有水路管道,方法应用于上述任一实施例中的水冷散热屏定位维修装置,该方法包括s210-s250。
49.s210,将水冷散热屏连同导流筒一起从单晶炉中取出。
50.s220,将水冷散热屏和导流筒分离后将水冷散热屏放置在底座上。
51.在本发明的一个实施例中,将水冷散热屏放置在底座上,包括:
52.将水冷散热屏两侧的水路管道的弯折处分别放置在第一停放平台和第二停放平台上。
53.s230,使用管道固定件将水冷散热屏两侧对称设置的水路管道分别紧固在第一支撑柱和第二支撑柱上。
54.s240,水冷散热屏的水路管道进行维修。
55.在本发明的一个实施例中,对水冷散热屏的水路管道进行维修,包括:
56.当需要增加水路管道长度时,将水路管道由中间段切开;
57.在切开的中间段增加一段水路管道;
58.将中间段与增加的一段水路管道的连接处进行焊接。
59.在本发明的一个实施例中,对水冷散热屏的水路管道进行维修,包括:
60.当需要减少水路管道长度时,将水路管道由中间段切开;
61.截取所需长度的水路管道后,将水路管道拼接并进行焊接。
62.s250,对水冷散热屏的水路管道维修完毕后,将导流筒挂接在水冷散热屏上并放入单晶炉中。
63.根据本发明实施例的方法,使得水路管道在移动过程中保持稳定,避免了因导流筒发生晃动而掉落,有效提升了施工安全性;同时,在水冷散热屏和导流筒的下方设置有底座,可以稳定地承接导流筒,进一步提升了安全性。
64.以上所述是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员
来说,在不脱离本发明所述原理的前提下,还可以作出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
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