超窄节距的晶圆级激光切割设备的制作方法

1.本实用新型涉及激光切割技术领域，特别是涉及超窄节距的晶圆级激光切割设备。


背景技术：

2.晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之 ic产品。晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅。二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，其纯度高达99.999999999％，在晶圆的生产过程中需要使用到激光切割设备，来对其进行加工。
3.目前，现有的激光切割设备在使用过程中，对激光切割头的调节大多不够便捷，难以根据对晶圆的加工需求来对晶圆进行切割，从而大大增加了对晶圆切割的加工难度，且操作复杂，严重影响了生产效率，为此我们提出超窄节距的晶圆级激光切割设备。


技术实现要素：

4.针对上述问题，本实用新型提供了超窄节距的晶圆级激光切割设备，具有较高的操作性能，能够根据对晶圆切割形状的加工需求来对激光切割头进行有效的调整和操控，且操作简单，大大提高了加工效率。
5.本实用新型的技术方案是：超窄节距的晶圆级激光切割设备，包括机箱、切割支架和转盘，所述机箱的顶部设有切割箱，所述切割箱的通过焊接的方式与机箱固定连接，所述切割箱的内部设有切割支架，所述机箱的顶部两侧设有滑槽，所述切割支架通过滑槽与机箱滑动连接，所述切割支架的顶端设有平移块，所述平移块与切割支架之间滑动连接，所述平移块的内部底端设有旋转电机，所述旋转电机的输出轴端设有转盘，所述转盘与旋转电机的输出轴端固定连接，所述转盘的底部设有激光切割头，所述转盘的底部设有凹槽，所述激光切割头的顶端还设有卡板，所述激光切割头通过卡板与转盘的底部滑动连接，所述转盘的内部一侧固定设有电动推杆，所述电动推杆的一端与激光切割头固定连接，所述转盘的内部另一侧设有缓冲弹簧。
6.上述技术方案的工作原理如下：
7.通过设有的旋转电机，来带动转盘转动，从而实现激光切割头的旋转的功能，再配合电动推杆，来对激光切割头在转盘上的位置进行调整，从而实现对激光切割头的切割半径的调节功能，由于切割支架与机箱为滑动连接，使其能够带动激光切割头进行纵向移动，从而达到调节激光切割头切割位置的目的，又因为平移块与切割支架的顶部为滑动连接，从而来带动激光切割头的横向移动，使其能够在横向位置上进行调节，大大提高激光切割头的切割范围和可操作性，使其能够根据对晶圆的切割需求对激光切割头进行有效的调整，提高切割精度。
8.在进一步的技术方案中，所述平移块的内部顶端设有平移电机，所述平移电机的
输出轴端设有传动齿轮，所述切割支架的顶部设有平移槽，所述平移槽的内部设有锯齿条，所述平移块与切割支架通过平移槽和锯齿条进行滑动连接，所述切割支架的底部设有滑块，所述滑块设置于机箱的内部顶端，所述机箱的内部底端设有滑轨，所述切割支架通过设有的滑块和滑轨与机箱进行滑动连接。
9.通过设有的平移电机，来带动传动齿轮的转动，配合锯齿条，达到驱动平移块的移动的目的，使其能够带动激光切割头能进行横向的调节，达到有效的调节的目的，提高切割范围和适用性，通过设有的滑块和滑轨，来保证切割支架在移动时的稳定性，使得不会发生偏移，从而来保证激光切割头的稳定性，达到稳定切割的目的。
10.在进一步的技术方案中，所述机箱的内部底端还设有调节电机，所述调节电机通过安装螺丝固定安装于机箱的内部，所述机箱的内部还设有螺杆，所述螺杆与滑块进行螺旋连接，所述调节电机通过设有的皮带和皮带轮与螺杆活动连接。
11.通过设有的调节电机，配合皮带轮和皮带，来带动螺杆的转动，由于滑块与螺杆之间为螺旋连接，在螺杆转动时，能够有效的带动滑块的移动，从而实现切割支架的移动性，达到调节切割支架纵向位置的目的，提高设备的可调节性。
12.在进一步的技术方案中，所述切割支架的顶端两侧设有限位杆，所述限位杆与切割支架滑动连接，所述切割支架的顶端内侧两端设有挡板，所述挡板与切割支架固定连接。
13.通过设有的限位杆，来保证切割支架的稳定性，使其在进行位置调节时，能够保证切割支架顶端为稳定移动，避免切割支架的底部与顶端在移动中出现偏差，从而降低设备的切割精度。
14.在进一步的技术方案中，所述机箱的顶部中心位置设有传送带，所述传送带的底部设有传送电机，所述传送带的内部设有传动辊，所述传动辊的一端设有皮带轮，所述传送电机的输出轴端也设有皮带轮，两个所述的皮带轮之间设有皮带，所述传送带的两端分别设有入料口和出料口。
15.通过设有的传送带，在传送电机的带动下，来实现对代加工原料的输送，保证设备加工的连贯性，从而提升加工效率。
16.在进一步的技术方案中，所述机箱的底部四周设有液压支撑柱，所述液压支撑柱通过安装螺丝固定设置于机箱的底部四周，所述切割箱的外部一侧设有箱门，所述箱门与切割箱通过铰链进行活动连接。
17.通过设有的液压支撑柱，来保证设备整体的稳定性，使其能够稳定的运行，从而有效的保证了设备的加工效率。
18.在进一步的技术方案中，所述箱门的一侧设有控制面板，所述控制面板通过镶嵌的方式固定设置于箱门的一侧，所述箱门的另一侧设有观察橱窗
19.通过设有的控制面板，来实现对设备的操控，保证设备的可操控性，从而提升对晶圆的加工精度，通过设有的观察橱窗，来对设备内部进行观察，方便对设备进行检修。
20.本实用新型的有益效果是：
21.1、通过设有的旋转电机，来带动转盘转动，从而实现激光切割头的旋转的功能，由于切割支架与机箱为滑动连接，使其能够带动激光切割头进行纵向移动，从而达到调节激光切割头切割位置的目的，又因为平移块与切割支架的顶部为滑动连接，从而来带动激光切割头的横向移动，使其能够在横向位置上进行调节，大大提高激光切割头的切割范围和
可操作性，使其能够根据对晶圆的切割需求对激光切割头进行有效的调整，提高切割精度；
22.2、通过设有的平移电机，来带动传动齿轮的转动，配合锯齿条，达到驱动平移块的移动的目的，使其能够带动激光切割头能进行横向的调节，达到有效的调节的目的，提高切割范围和适用性，通过设有的滑块和滑轨，来保证切割支架在移动时的稳定性，使得不会发生偏移，从而来保证激光切割头的稳定性，达到稳定切割的目的；
23.3、通过设有的调节电机，配合皮带轮和皮带，来带动螺杆的转动，由于滑块与螺杆之间为螺旋连接，在螺杆转动时，能够有效的带动滑块的移动，从而实现切割支架的移动性，达到调节切割支架纵向位置的目的，提高设备的可调节性；
24.4、通过设有的限位杆，来保证切割支架的稳定性，使其在进行位置调节时，能够保证切割支架顶端为稳定移动，避免切割支架的底部与顶端在移动中出现偏差，从而降低设备的切割精度；
25.5、通过设有的传送带，在传送电机的带动下，来实现对代加工原料的输送，保证设备加工的连贯性，从而提升加工效率；
26.6、通过设有的液压支撑柱，来保证设备整体的稳定性，使其能够稳定的运行，从而有效的保证了设备的加工效率；
27.7、通过设有的控制面板，来实现对设备的操控，保证设备的可操控性，从而提升对晶圆的加工精度，通过设有的观察橱窗，来对设备内部进行观察，方便对设备进行检修。
附图说明
28.图1是本实用新型实施例的整体结构示意图；
29.图2是本实用新型实施例侧视的结构示意图；
30.图3是本实用新型实施例平面的结构示意图；
31.图4是本实用新型实施例图3中a放大的结构示意图；
32.图5是本实用新型实施例图3中b放大的结构示意图。
33.附图标记说明：
34.1、机箱；2、液压支撑柱；3、切割箱；4、入料口；5、出料口；6、传送带；7、传送电机；8、箱门；9、控制面板；10、观察橱窗；11、滑槽；12、切割支架；13、滑块；14、滑轨；15、调节电机；16、限位杆；17、平移槽；18、挡板；19、平移块；20、转盘；21、平移电机；22、锯齿条；23、传动齿轮；24、旋转电机；25、电动推杆；26、激光切割头；27、缓冲弹簧；28、卡板； 29、螺杆。
具体实施方式
35.下面结合附图对本实用新型的实施例作进一步说明。
36.实施例：
37.如图1-5所示，超窄节距的晶圆级激光切割设备，包括机箱1、切割支架 12和转盘20，机箱1的顶部设有切割箱3，切割箱3的通过焊接的方式与机箱 1固定连接，切割箱3的内部设有切割支架12，机箱1的顶部两侧设有滑槽11，切割支架12通过滑槽11与机箱1滑动连接，切割支架12的顶端设有平移块19，平移块19与切割支架12之间滑动连接，平移块19的内部底端设有旋转电机24，旋转电机24的输出轴端设有转盘20，转盘20与旋转电机24的输出轴端固定连接，转盘20的底部设有激光切割头26，转盘20的底部设有凹槽，激光切割头 26
的顶端还设有卡板28，激光切割头26通过卡板28与转盘20的底部滑动连接，转盘20的内部一侧固定设有电动推杆25，电动推杆25的一端与激光切割头26固定连接，转盘20的内部另一侧设有缓冲弹簧27。
38.上述技术方案的工作原理如下：
39.通过设有的旋转电机24，来带动转盘20转动，从而实现激光切割头26的旋转的功能，再配合电动推杆25，来对激光切割头26在转盘20上的位置进行调整，从而实现对激光切割头26的切割半径的调节功能，由于切割支架12与机箱1为滑动连接，使其能够带动激光切割头26进行纵向移动，从而达到调节激光切割头26切割位置的目的，又因为平移块19与切割支架12的顶部为滑动连接，从而来带动激光切割头26的横向移动，使其能够在横向位置上进行调节，大大提高激光切割头26的切割范围和可操作性，使其能够根据对晶圆的切割需求对激光切割头26进行有效的调整，提高切割精度。
40.在另外一个实施例中，如图3所示，平移块19的内部顶端设有平移电机21，平移电机21的输出轴端设有传动齿轮23，切割支架12的顶部设有平移槽17，平移槽17的内部设有锯齿条22，平移块19与切割支架12通过平移槽17和锯齿条22进行滑动连接，切割支架12的底部设有滑块13，滑块13设置于机箱1 的内部顶端，机箱1的内部底端设有滑轨14，切割支架12通过设有的滑块13 和滑轨14与机箱1进行滑动连接。
41.通过设有的平移电机21，来带动传动齿轮23的转动，配合锯齿条22，达到驱动平移块19的移动的目的，使其能够带动激光切割头26能进行横向的调节，达到有效的调节的目的，提高切割范围和适用性，通过设有的滑块13和滑轨14，来保证切割支架12在移动时的稳定性，使得不会发生偏移，从而来保证激光切割头26的稳定性，达到稳定切割的目的。
42.在另外一个实施例中，如图3所示，机箱1的内部底端还设有调节电机15，调节电机15通过安装螺丝固定安装于机箱1的内部，机箱1的内部还设有螺杆 29，螺杆29与滑块13进行螺旋连接，调节电机15通过设有的皮带和皮带轮与螺杆29活动连接。
43.通过设有的调节电机15，配合皮带轮和皮带，来带动螺杆29的转动，由于滑块13与螺杆29之间为螺旋连接，在螺杆29转动时，能够有效的带动滑块13 的移动，从而实现切割支架12的移动性，达到调节切割支架12纵向位置的目的，提高设备的可调节性。
44.在另外一个实施例中，如图3所示，切割支架12的顶端两侧设有限位杆16，限位杆16与切割支架12滑动连接，切割支架12的顶端内侧两端设有挡板18，挡板18与切割支架12固定连接。
45.通过设有的限位杆16，来保证切割支架12的稳定性，使其在进行位置调节时，能够保证切割支架12顶端为稳定移动，避免切割支架12的底部与顶端在移动中出现偏差，从而降低设备的切割精度。
46.在另外一个实施例中，如图3所示，机箱1的顶部中心位置设有传送带6，传送带6的底部设有传送电机7，传送带6的内部设有传动辊，传动辊的一端设有皮带轮，传送电机7的输出轴端也设有皮带轮，两个的皮带轮之间设有皮带，传送带6的两端分别设有入料口4和出料口5。
47.通过设有的传送带6，在传送电机7的带动下，来实现对代加工原料的输送，保证设备加工的连贯性，从而提升加工效率。
48.在另外一个实施例中，如图1所示，机箱1的底部四周设有液压支撑柱2，液压支撑
柱2通过安装螺丝固定设置于机箱1的底部四周，切割箱3的外部一侧设有箱门8，箱门8与切割箱3通过铰链进行活动连接。
49.通过设有的液压支撑柱2，来保证设备整体的稳定性，使其能够稳定的运行，从而有效的保证了设备的加工效率。
50.在另外一个实施例中，如图2所示，箱门8的一侧设有控制面板9，控制面板9通过镶嵌的方式固定设置于箱门8的一侧，箱门8的另一侧设有观察橱窗 10
51.通过设有的控制面板9，来实现对设备的操控，保证设备的可操控性，从而提升对晶圆的加工精度，通过设有的观察橱窗10，来对设备内部进行观察，方便对设备进行检修。
52.以上实施例仅表达了本实用新型的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。