用于吊灯型喷头安装的工具和方法与流程

用于吊灯型喷头安装的工具和方法
优先权主张
1.本技术要求于2020年7月1日申请的美国专利申请序列no.62/705,522的优先权利益，其全部公开内容都通过引用合并于此。
技术领域
2.本公开总体上吊灯型喷头安装用的工具和方法，且更具体而言涉及能够精确安装重型吊灯型式样喷头的对准设备和套件。


背景技术：

1.在现有的一些半导体制造操作中，喷头是通过手动安装的，且依赖于喷头和冷却板中的键锁特征的对准。手动安装处理通常会对该两个部件之间的热接口造成损害，从而显著影响热转移并限制工具性能(减少高达30％的热转移，从而影响总体工具生产量和工艺性能)。该键控特征经常是太小的，以致无法应付新式喷头的增大的质量，且在与较新一代的喷头共同使用时还会使损害提高以及产生残骸。
2.这里提供的背景描述是为了总体呈现本公开的背景的目的。当前指定的发明人的工作在其在此背景技术部分以及在提交申请时不能确定为现有技术的说明书的各方面中描述的范围内既不明确也不暗示地承认是针对本公开的现有技术。


技术实现要素：

3.本公开总体上涉及吊灯型喷头的安装工具和方法，并且更具体地涉及能够精确安装重型吊灯型喷头的手动操作式“同步拉动”齿轮箱和对准套件。在将喷头设置或安装于处理室中时，一些示例将喷头相对于冷却板的移动限制在单一维度中(例如，朝向或远离彼此，但无侧向移动)，以允许两表面以几乎最佳的平行性进行接触，而无其他邻近表面摩擦或干扰所期望对准的情况。一些示例性齿轮箱包括行星齿轮组以同步及驱动两个螺纹杆，该两个螺纹杆将经对准的轴向移动传递至部件(例如，喷头或冷却板)。在一些示例中，在将喷头定位且紧固至于其最终安装位置中后，这些螺纹杆是可移除的。一些示例性齿轮箱包括推力轴承，以将喷头的重量负载传导至在正常运行期间承载该重量的相同负载-轴承部件。一些示例性齿轮箱包括自对准齿轮，以使齿隙和摩擦最小化。
4.在一些示例中，提供一种对准设备以便以对准方式将两个部件拉接在一起。示例性的对准设备包括行星齿轮组，所述行星齿轮组包括环形齿轮和至少两个行星齿轮；以及一个或更多个侧板，其用于支撑所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮；其中所述至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，所述孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，所述螺纹紧固件用于与至少两个螺纹杆中的相应一者接合，而所述至少两个螺纹杆与所述两个部件中的一者接合，其中所述环形齿轮的转动将同步的转动移动传递至所述螺纹紧固件，以使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆线性移动。
5.一些示例还包括用于支撑所述至少两个行星齿轮的成对的块状扣件。所述成对的
块状扣件被配置成支撑所述至少两个行星齿轮，以使所述至少两个行星齿轮在缺乏太阳齿轮的情况下，在所述环形齿轮的内侧围绕所述至少两个螺纹杆中的相应一者转动。
6.在一些示例中，所述对准设备是便携式的；以及其中所述环形齿轮包括在其周缘上所提供的一个或更多个可手动接合构件，以由手转动所述环形齿轮而使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆移动。
7.一些示例还包括一个或更多个推力轴承，其用于支撑所述两个部件中的一者的重量，或者在转动所述环形齿轮后将由所述对准设备所产生的轴向力传送至所述两个部件中的一者。
8.在一些示例中，所述一个或更多个侧板包括第一孔口，以允许所述至少两个螺纹杆穿过所述一个或更多个侧板；以及一个或更多个第二孔口，以允许安全紧固件穿过而将所述两个部件固定在一起。
9.在一些示例中，所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮包括人字齿轮。
10.在一些示例中，所述两个部件中的第一部件包括喷头，而所述两个部件中的第二部件包括冷却板。
11.在一些示例中，提供了一种促进将两个部件以对准方式拉接在一起的对准套件，示例性的对准套件包括：至少两个螺纹杆，其各自与所述两个部件中的一者是能接合的；以及对准设备，所述对准设备包括：行星齿轮组，所述行星齿轮箱包括环形齿轮和至少两个行星齿轮；以及一个或更多个侧板，其用于支撑所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮；其中所述至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，所述孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，所述螺纹紧固件用于与所述至少两个螺纹杆中的相应一者接合，其中所述环形齿轮的转动将同步的转动移动传递至所述螺纹紧固件，以使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆线性移动。
12.在一些示例中，所述对准套件还包括与所述两个部件中的一者接合的螺纹杆导件。
13.在一些示例中，所述对准套件还包括对准检查器，以在将所述两个部件拉接在一起时检查或确认所述两个部件的对准。
14.在一些示例中，所述对准设备还包括用于支撑所述至少两个行星齿轮的成对的块状扣件。在一些示例中，所述成对的块状扣件被配置成支撑所述至少两个行星齿轮，以使所述至少两个行星齿轮在缺乏太阳齿轮的情况下，在所述环形齿轮的内侧围绕所述至少两个螺纹杆中的相应一者转动。
15.在一些示例中，所述对准设备是便携式的；以及所述环形齿轮包括在其周缘上所提供的一个或更多个可手动接合构件，以由手转动所述环形齿轮而使所述对准设备相对于所述至少两个螺纹杆移动。
16.在一些示例中，所述对准设备还包括一个或更多个推力轴承，其用于支撑所述两个部件中的一者的重量，或者在转动所述环形齿轮后将由所述对准设备所产生的轴向力传送至所述两个部件中的一者。
17.在一些示例中，所述对准设备的所述一个或更多个侧板包括第一孔口，以允许所述相应的螺纹杆通过；以及一个或更多个第二孔口，以允许安全紧固件穿过而将所述两个部件固定在一起。
18.在一些示例中，所述对准设备的所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮包括人字齿轮。
19.在一些示例中，所述两个部件中的第一部件包括喷头，而所述两个部件中的第二部件包括冷却板。
20.在一些示例中，提供了一种将待拉接在一起的两个部件进行对准的方法。一种示例性方法包括：将两个或更多个螺纹杆连接至所述两个部件中的第一者；将对准设备与所述两个部件中的第二者接合，所述对准设备包括行星齿轮组，所述行星齿轮组包括环形齿轮和至少两个行星齿轮，所述对准设备包括用于支撑所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮的一个或更多个侧板，其中所述至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，所述孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，所述螺纹紧固件用于与所述两个或更多个螺纹杆中的一者接合，其中所述环形齿轮的转动将同步的转动移动传递至所述螺纹紧固件，以使所述对准设备相对于所述两个或更多个螺纹杆线性移动；以及转动所述环形齿轮，以使所述对准设备相对于所述两个或更多个螺纹杆移动。
21.在一些示例中，所述方法还包括将螺纹杆导件与所述两个部件中的一者接合。
22.在一些示例中，所述方法还包括使用对准检查器，以在将所述两个部件拉接在一起时检查或确认所述两个部件的对准。
23.在所述方法的一些示例中，所述对准设备还包括用于支撑所述至少两个行星齿轮的成对的块状扣件。在一些示例中，所述成对的块状扣件被配置成支撑所述至少两个行星齿轮，以使所述至少两个行星齿轮在缺乏太阳齿轮的情况下，在所述环形齿轮的内侧围绕所述两个或更多个螺纹杆中的相应一者转动。
24.在所述方法的一些示例中，所述对准设备是便携式的；以及所述环形齿轮包括在其周缘上所提供的一个或更多个可手动接合构件，以由手转动所述环形齿轮而使所述设备沿着所述两个或更多个螺纹杆前进；以及其中所述方法还包括由手转动所述环形齿轮以使所述对准设备沿着所述两个或更多个螺纹杆移动。
25.在所述方法的一些示例中，所述对准设备还包括一个或更多个推力轴承，其用于支撑所述两个部件中的一者的重量，或者在转动所述环形齿轮后将由所述对准设备所产生的轴向力传送至所述两个部件中的一者。
26.在所述方法的一些示例中，所述对准设备的所述一个或更多个侧板包括第一孔口，以允许所述两个或更多个螺纹杆穿过所述一个或更多个侧板；和一个或更多个第二孔口，以允许安全紧固件穿过而将所述两个部件固定在一起；以及其中所述方法还包括使安全紧固件穿过所述第二孔口中的一者并将所述部件固定在一起。
27.在所述方法的一些示例中，所述对准设备的所述环形齿轮和所述至少两个行星齿轮包括人字齿轮。
28.在所述方法的一些示例中，所述两个部件中的第一部件包括喷头，而所述两个部件中的第二部件包括冷却板。
附图说明
29.一些实施方案以示例性而非限制性方式显示于附图的图中。
30.图1根据一些示例性实施方案显示了处理室的示例性配置，其中在该处理室中可
使用本公开的一些示例。
31.图2根据一实施方案显示了对准设备、喷头及冷却板的组件。
32.图3根据一实施方案显示了对准设备。
33.图4根据一实施方案显示了对准设备的分解图。
34.图5根据一实施方案显示了对准套件。
35.图6根据一实施方案显示了一种方法。
具体实施方式
36.后续说明包含实行本公开的说明性实施方案的系统、方法、技术、指令序列以及计算机器程序产品。在后续描述中，为了说明的目的，说明了许多特定细节以提供对示例性实施方案的完整了解。然而，对于本领域技术人员而言将显而易见的是，本公开可在不具有这些特定细节的情况下实践。
37.本专利文件的公开内容的一部分会含有受到版权保护的材料。版权所有者不反对任何人对专利文件或专利公开内容进行传真复制，因为其出现于专利和商标局的专利档案或纪录中，但除此之外保留所有的版权。以下声明适用于下文所描述和构成本文件的一部分的附图中的任何数据：copyright lam research corporation,2020,all rights reserved。
38.现在参考图1，示出了基于等离子体的处理室的示例性布置100。本主题可用于各种半导体制造和晶片处理操作，但在所示示例中，在等离子体增强或自由基增强的化学气相沉积(cvd)或原子层沉积(ald)操作的背景中描述了基于等离子体的处理室。本领域技术人员也应认识到，其他类型的ald处理技术是已知的(例如，基于热的ald操作)并且可以结合基于非等离子体的处理室。ald工具是一种特殊类型的cvd处理系统，其中在两种或多种化学物质之间发生ald反应。两种或更多种化学物质被称为前体气体并且用于在衬底(例如半导体工业中使用的硅晶片)上形成薄的材料膜沉积。前体气体被依序引入ald处理室中并与衬底表面反应以形成沉积层。通常，衬底反复与前体相互作用以在衬底上缓慢地沉积越来越厚的一或多个材料膜层。在某些应用中，多种前体气体可用于在衬底制造工艺中形成多种类型的一层或多层膜。
39.图1显示了包含基于等离子体的处理室102，在该处理室中设置喷头104和衬底支撑组件108或基座。喷头104可以是喷头电极或是较完整描述于下文的吊灯型喷头类型。喷头104可与冷却板(未显示于图1中，但会描述于下文)相邻设置，或者可以与该冷却板联系。该基座或基板-支撑组件108可包括转位头(indexing head)。通常，衬底支撑组件108寻求提供基本等温的表面且可以用作衬底106的加热元件和散热器。衬底支撑组件108可以包含静电卡盘(esc)，所述静电卡盘中包含加热元件以如上所述地帮助处理衬底106。衬底106可以包含晶片，该晶片包含例如元素半导体材料(例如硅(si)或锗(ge))或化合物半导体材料(例如硅锗(sige)或砷化镓(gaas))。此外，其他衬底包含例如介电材料，例如石英、蓝宝石、半结晶聚合物或其他非金属和非半导体材料。
40.在操作中，衬底106通过装载端口110而装载到衬底支撑组件108上。气体管线114可以向喷头104供应一种或多种工艺气体(例如前体气体)。喷头104进而将一种或多种工艺气体输送到基于等离子体的处理室102中。供应一种或多种工艺气体的气源112(例如，一个
或多个前体气体安瓿)耦合到气体管线114。在一些示例中，射频(rf)电源116耦合到喷头104。在其他示例中，电源耦合到衬底支撑组件108或esc。
41.在进入喷头104和气体管线114的下游之前，使用点(pou)和歧管组合(未示出)控制一种或多种工艺气体进入基于等离子体的处理室102中。在用于在等离子体增强的ald操作中沉积膜的基于等离子体的处理室102的情况下，前体气体可以在喷头104中混合。
42.在操作中，基于等离子体的处理室102由真空泵118抽空。rf功率在喷头104和包含在衬底支撑组件108内或上的下电极(未清晰显示)之间电容耦合。衬底支撑组件108通常被提供有两个或更多个rf频率。例如，在多种实施方案中，rf频率可以从约1mhz、2mhz、13.56mhz、27mhz、60mhz和其他期望的频率中的至少一个频率中选择。可以根据需要设计用于阻止或部分阻止特定rf频率的线圈。因此，提供这里讨论的特定频率仅仅是为了便于理解。rf功率用于将一种或多种工艺气体激励成在衬底106和喷头104之间的空间中的等离子体。等离子体可以帮助在衬底106上沉积各种层(未示出)。在其他应用中，等离子体可用于将器件特征蚀刻到衬底106上的各个层中。rf功率至少通过衬底-支撑组件108耦合。衬底-支撑组件108可具有并入其中的加热器(图1中未示出)。基于等离子体的处理室102的详细设计可以变化。
43.如上所述，在一些现有的半导体制造操作中，喷头被手动安装且依赖于该喷头及相关冷却板中的键锁特征的对准。手动安装工艺通常会对该两个部件之间的热接口造成损害，从而显著影响热转移并限制工具性能(减少高达30％的热转移，从而影响总体工具生产量和工艺性能)。该键控特征经常是太小的，而无法应对新式喷头的增大的质量，且在与较新一代的喷头共同使用时还会使损害扩大以及产生残骸。
44.为解决这些问题，本文中的一些示例将两个部件(例如，喷头和冷却板)拉接在一起以促进其对准。某些示例将该两个部件相对于彼此的移动限制在单一维度(例如，朝向或远离彼此)，以允许该两个部件的配合表面以几乎最佳的平行性彼此接触，而无其他相邻部件表面摩擦或干扰该对准操作的情况。某些示例包括对准设备，其包括用于将两个螺纹杆进行同步与驱动的行星齿轮组(或齿轮箱)，该两个螺纹杆将对准设备与所述两个部件中的一者互连。在一些示例中，在将喷头定位于其最终安装位置中且紧固至冷却板后，该两个螺纹杆是可移除的。该对准设备利用与该齿轮组结合的推力轴承将喷头的重量负载传导至在正常运行期间承载该重量的相同负载-轴承部件以及自对准齿轮(例如，人字齿轮)以使齿隙及摩擦最小化。
45.在一些情况下，通过示例性对准设备所促进的精确安装使更加抛光的部件表面能够在无受损且不使用热滑脂的情况下进行接触。该增高的热接触使横跨接合点的热传输提升高达30％，从而提高整体工具性能，以及在一些示例中，能够因为较高功率而实现较高的沉积速率。某些示例还能够减少执行部件安装的服务人员的数量(例如，能够使服务人员从2至3人减低至1人)。
46.参考图2，其显示了组件200，其中试图将两个部件拉接在一起，接着彼此紧固在最终位置中。在所显示的示例中，该两个部件中的第一部件为冷却板204，该两个部件中的第二部件为喷头104。使用本文所公开的部件和技术进行其他部件的对准是可行的。喷头104具有喷头杆部206。喷头杆部206包括多个螺纹孔洞208，以通过一个或更多互补式螺纹安全紧固件(未显示)将冷却板204固定至喷头104。在所显示的组件200中，成对螺纹杆210中的
每一者是在其下端处通过旋进成对的相应的螺纹孔洞208中而与喷头杆部206连接。其他数量的螺纹杆210及其配置是可行的。
47.如较完整描述于下文的，对准设备202与螺纹杆210接合。对准设备202是便携式的(即，可以由手携带)，且包括可手动操作的环形齿轮212，以使对准设备202沿着螺纹杆210在一限定线性方向或另一方向(即，图中的向上或向下)中前进。由于对准设备202与冷却板204连接，因此在手动转动环形齿轮212后可将该喷头104与该冷却板204以对准方式朝一起拉动(或者如果沿相反方向转动环形齿轮212则是远离彼此移动)。对准设备202沿着成对螺纹杆210中的每一者的移动是同步的，如将在下文更完整描述的。
48.图3提供示例性对准设备202的放大立体图，其中该对准设备202以对准方式将两个部件拉接在一起。对准设备202包括行星齿轮组302。行星齿轮组302包括环形齿轮212以及至少两个行星齿轮304。一个或更多侧板306为行星齿轮组302提供外壳，并支撑该环形齿轮212及该行星齿轮304。在所显示的示例中，两个行星齿轮304中的每一者包括孔口308，其尺寸和形状被设定成接收螺纹紧固件(例如，图4的螺帽402)，其中该螺纹紧固件用于与连接至喷头104的螺纹杆210中的相应一者螺旋接合，如上文所进一步描述的。应理解的是，环形齿轮212的手动转动将同步的转动动作传递至该两个行星齿轮304以及行星齿轮304中的每个孔口308。位于各自孔口308中的每个螺帽402因此绕着其螺纹杆210转动，以使对准设备202沿着该两个螺纹杆210线性前进。该线性移动将被对准设备202固定的附接冷却板204以对准方式拉向(或拉离)喷头104，其中该冷却板204与喷头104的配合面被保持为基本上平行于彼此。
49.图4提供了示例性对准设备202的分解图。如上所述，对准设备202包括行星齿轮组302。该行星齿轮组302包括环形齿轮212轮和至少两个行星齿轮304。一个或更多侧板306为行星齿轮组302提供外壳，并支撑该环形齿轮212以及该行星齿轮304。在一些示例中，侧板306被设计成便于由薄板存料制造。在所显示的示例中，两个行星齿轮304中的每一者包括孔口308，其尺寸和形状被设定成接收螺纹紧固件(例如，图4的螺帽402)，该螺纹紧固件用于与连接至喷头104的螺纹杆210中的相应一者螺旋接合。成对的夹持块状扣件404被配置成支撑该两个行星齿轮304，使其在环形齿轮212内侧围绕该两个螺纹杆210中的相应一者转动。在示例性分解图400中，块状扣件404及行星齿轮组302的配置并不需要提供太阳齿轮，原因在于这有时在常规行星齿轮组配置中是显而易见的。在一些呈现的示例中，环形齿轮212和两个行星齿轮304包括如图所示的自对准人字齿轮。可通过螺钉或铆钉(未显示)将对准设备202的侧板306固定在一起。其他配置是可行的。
50.在一些示例中，环形齿轮212包括在其周缘上所提供的一个或更多可手动接合构件406或突出部，以通过手转动该环形齿轮使对准设备202沿着螺纹杆210前进或退回。在一些示例中，对准设备202包括一个或更多推力轴承408和垫圈410，以支撑该两个部件中的一者(喷头104或冷却板204)的重量，或在转动环形齿轮212后将对准设备202设备所产生的轴向力传送至该两个部件中的一者。推力轴承408将负载转移至对准设备202的下方层，同时允许螺帽402自由旋转。
51.在一些示例中，该一个或更多侧板306包括第一孔口412以允许该两个螺纹杆210通过该一或更多侧板306；以及一个或更多第二孔口414以允许安全紧固件416通过而将该两个部件固定在一起。在一些示例中，第一孔口412和第二孔口414具有相同尺寸和螺纹，使
得螺纹杆210和安全紧固件416可利用相同孔洞。这种便利配置例如允许在将喷头104及冷却板204拉接在一起时，使螺纹杆210穿过第一孔口412及行星齿轮304中的螺帽402并固定在喷头杆部206中的互补螺纹孔洞208中，从而留下第二孔口414是畅通的以接收将穿过它的安全紧固件416。举例而言，这还避免在将该两个部件进行安全固定之前抽回该螺纹杆210，或者在喷头杆部206或冷却板204中增加额外螺纹孔洞208的必要性。换言之，第一孔口412或第二孔口414允许在不事先移除对准设备202的情况下使最终安装紧固件(例如，安全紧固件416)往里放并锁紧。
52.参照图5，本文中的一些示例包括用于促进将两个部件(例如，喷头104和冷却板204)以对准方式拉接在一起的对准套件500。在一些示例中，螺纹杆210包括滚花手柄508，以用于迅速地将螺纹杆210穿过该对准设备202而拧入喷头104(更具体来说为喷头杆部206)中，以能够将该两个部件“粗略”对准而不需还“精确”使用对准设备202。
53.在一些示例中，对准套件500包括至少两个螺纹杆210，该至少两个螺纹杆210各自与该两个部件中的一者(在此情况下为喷头杆部206)是可接合的(例如，以图2中显示的方式)。对准套件500还包括对准设备202。对准设备202可以包括上述特征中的任何一者或更多者。在一些示例中，对准设备202在安装和固定期间将喷头104的重量沿着与在处理室102的操作中的正常使用期间存在的相同负载路径转移至冷却板204。
54.对准套件500还可以包括与该两个部件中的一者(在此示例中为冷却板204)接合的一个或更多螺纹杆导件502。螺纹杆导件502有助于在对准设备202的操作下将喷头104(或更具体来说为喷头杆部206)向上拖拉以与冷却板204的下表面配合时支撑和引导螺纹杆210。螺纹杆导件502可插置于冷却板204中以将螺纹杆210竖直地对准且居中，并保护冷却板204表面以避免因螺纹杆210而受损。在一些示例中，对准套件500还包括对准检查器504或平坦度检查器，以在将两个部件拉接在一起时检查或确认该两个部件的对准。必要时，对准检查器504可检查或确认该两个部件的热面的平行度。举例而言，对准检查器504可包括对置平坦表面506，所述对置平坦表面506已事先校准或对准以能够进行喷头104及冷却板204的预定匹配对准。
55.所呈现的一些示例包括方法。参照图6，其以流程图的形式显示在将待拉接在一起的两个部件进行对准的方法600中的操作。在操作602中，方法600包括将两个或更多螺纹杆连接至该两个部件中的第一者。在操作604中，方法600包括将对准设备与该两个部件的第二者接合，该对准设备包括行星齿轮箱，该行星齿轮箱包括环形齿轮及至少两个行星齿轮，该对准设备包括用于支撑该环形齿轮及该至少两个行星齿轮的一个或更多侧板，其中该至少两个行星齿轮中的每一者包括孔口，该孔口的尺寸被设定成接收螺纹紧固件，以与该两个或更多螺纹杆中的一者接合，其中该环形齿轮的转动将同步旋转的动作传递至这些螺纹紧固件，以使该对准设备沿着两个或更多螺纹杆线性前进。在操作606中，方法600包括转动该环形齿轮，以使对准设备沿着两个或更多螺纹杆前进。
56.方法600的一些示例还包括将螺纹杆导件与该两个部件中的一者接合。方法600的一些示例还包括在将该两个部件拉接在一起时使用对准检查器以检查或确认该两个部件的对准。
57.在方法600的一些示例中，对准设备还包括用于支撑至少两个行星齿轮的成对块状扣件。在方法600的一些示例中，该成对的块状扣件被配置成支撑该至少两个行星齿轮，
使该至少两个行星齿轮在缺乏太阳齿轮的情况下，在该环形齿轮的内侧围绕该至少两个螺纹杆中的相应一者转动。在方法600的一些示例中，该对准设备是便携式的，且环形齿轮包括在其周缘上所提供的一个或更多可手动接合构件，以便由手转动该环形齿轮而使该设备沿着螺纹杆前进，且其中方法600还包括由手转动该环形齿轮以使该对准设备沿着螺纹杆前进。在方法600的一些示例中，该对准设备还包括一个或更多推力轴承，以支撑该两个部件中的一者的重量，或者在转动环形齿轮后将对准设备所产生的轴向力传送至该两个部件中的一者。在方法600的一些示例中，对准设备的一个或更多侧板包括第一孔口以允许相应的螺纹杆穿过该一个或更多侧板；以及一个或更多第二孔口以允许安全紧固件穿过而将该两个部件固定在一起，且方法600还包括使安全紧固件穿过这些第二孔口中的一者并将该两个部件固定在一起。在方法600的一些示例中，对准设备的环形齿轮和至少两个行星齿轮包括人字齿轮。在一些示例中，三维(3d)打印的人字齿轮提供约4:1的减速比以使升降力最小化，且其是自对准的以进行流畅运动。
58.虽然已参照特定的示例性实施方案或方法描述了示例，但显然，可在不偏离所述实施方案的更广泛范围的情况下对这些实施方案进行各种修改及改变。因此，说明书和附图被视为说明性的而非限制性的。构成本文中的一部分的附图以说明(而非限制)的方式显示特定实施方案，可在这些特定实施方案中实践主题。所示实施方案以足够细节进行描述，以使本领域技术人员能够实行本文所公开的教导。可使用其他实施方案及从中产生其他实施方案，使得可在不偏离本公开内容的范围的情况下进行结构与逻辑的替换及变化。因此该具体实施方式不被视为限制性的，且各种实施方案的范围仅由所附权利要求、连同这些权利要求所赋予的等效方案的全部范围限定。
59.本发明主题的这些实施方案在此可单个地和/或共同地由术语“发明”所提及，其仅是为了方便，而不旨在将本技术的范围自愿性地限制于任何单一的发明或发明构思(如果事实上公开多于一个的发明或发明构思的话)。因此，虽然本文显示并描述了特定实施方案，但应理解，为实现相同目的而计算的任何配置可替代所示的特定实施方案。本公开内容旨在涵盖各种实施方案的任何和所有的调整或变化。在阅读以上说明后，上述实施方案的组合以及本文未具体描述的其他实施方案对于本领域技术人员而言是显而易见的。