一种真空环境用五轴位移台的制作方法

本发明属于五轴调节，具体涉及一种真空环境用五轴位移台。

背景技术：

1、五轴位移台又名五轴微移台，将手轮转动转换成位移动作，由机械完成，五轴移台有多种，其中最简单一种是机械式，全部功能都是由机构完成，还有一种是压电式，精度高，可以通过计算机控制，响应速度快但是行程很小，用在高精密定位。

2、然而目前国内无采用z，y，x，r组轴顺序的五轴位移台；并且国外五轴位移台结构复杂，体积庞大，并将电机置于真空外。

技术实现思路

1、本发明要解决的技术问题是克服现有的缺陷，提供一种真空环境用五轴位移台，以解决上述背景技术中提出的国内无采用z，y，x，r组轴顺序五轴位移台，和国外五轴位移台结构复杂，体积庞大，并将电机置于真空外的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种真空环境用五轴位移台，包括转动台，所述转动台一侧的上端固定连接有转动座，所述转动座一侧设置有支撑架，所述转动座一侧固定连接有第一转动齿轮，所述第一转动齿轮外侧啮合连接有第一涡轮，所述第一涡轮底部固定连接于第一电机的输出端，所述支撑架一侧上下对称设置有第一固定座，所述第一固定座内部螺纹连接有r轴，所述r轴底部固定连接于蜗杆电机的输出端，所述支撑架内部的下端固定连接有第一滚珠丝杠电机，所述第一滚珠丝杠电机输出端固定连接有y轴，所述转动台顶部分别设置有第二固定座和轴承固定座，所述y轴顶部设置有移动板，所述转动台顶部一侧对称固定连接有第一滑轨，所述移动板顶部一侧固定连接有第二滚珠丝杠电机，所述第二滚珠丝杠电机输出端固定连接有x轴，所述x轴两侧对称设置有第二滑轨，所述第二滑轨顶部设置有工作台，所述工作台底部固定连接有第二滑块，所述工作台一侧固定连接有第五电机，所述第五电机输出端固定连接有第二涡轮，所述第二涡轮外侧啮合连接有第二转动齿轮。

3、优选的，所述第一转动齿轮位于支撑架的一侧转动连接。

4、优选的，所述第一固定座通过螺栓固定连接于五轴移动台设备上。

5、优选的，所述第二固定座和轴承固定座通过螺栓与转动台固定连接。

6、优选的，所述移动板和第一滑块通过第一滑轨与转动台滑动连接。

7、优选的，所述x轴外侧的一端对称转动连接有轴承固定座。

8、优选的，所述工作台和第二滑块通过x轴与第二滑轨滑动连接。

9、优选的，所述第二转动齿轮位于工作台的顶部。

10、与现有技术相比，本发明提供了一种真空环境用五轴位移台，具备以下有益效果：

11、1、本发明通过设置第一涡轮、第一电机r轴、蜗杆电机、滚珠丝杠电机、y轴和第二滚珠丝杠电机，在五轴位移台使用过程中，通过驱动第一电机使第一涡轮发生转动，第一涡轮采用的是蜗杆一体电机，直接驱动涡轮使得转动台完成360°的旋转，并可自锁，然后驱动第二滚珠丝杠电机使得x轴发生旋转，x轴采用的是滚珠丝杠一体电机，驱动滑台左右移动，进一步驱动第一滚珠丝杠电机使得y轴发生旋转，y轴在第一滚珠丝杠电机的驱使下带动滚珠丝杠，驱动滑台前后移动，通过设置的蜗杆电机驱动r轴发生旋转，这时便可将驱动滑台完成上下移动，并可自锁，即时可以有效提高五轴位移台的工作效率，从而结构紧凑，质量轻，可在真空下使用的优点；

12、2、本发明通过设置第五电机、工作台、第二转动齿轮和第二涡轮，在五轴位移台对物件进行加工期间，通过驱动第五电机使得第二涡轮发生旋转，在第二涡轮的外侧啮合连接有第二转动齿轮，第二转动齿轮位于工作台的顶部，在第五电机的驱使下，可以完成物件在第二转动齿轮上转动，从而提高了五轴位移台的加工效率。

13、该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本发明结构科学合理，使用安全方便，为人们提供了很大的帮助。

技术特征：

1.一种真空环境用五轴位移台，包括转动台(1)，其特征在于：所述转动台(1)一侧的上端固定连接有转动座(2)，所述转动座(2)一侧设置有支撑架(15)，所述转动座(2)一侧固定连接有第一转动齿轮(3)，所述第一转动齿轮(3)外侧啮合连接有第一涡轮(4)，所述第一涡轮(4)底部固定连接于第一电机(5)的输出端，所述支撑架(15)一侧上下对称设置有第一固定座(6)，所述第一固定座(6)内部螺纹连接有r轴(7)，所述r轴(7)底部固定连接于蜗杆电机(8)的输出端，所述支撑架(15)内部的下端固定连接有第一滚珠丝杠电机(9)，所述第一滚珠丝杠电机(9)输出端固定连接有y轴(10)，所述转动台(1)顶部分别设置有第二固定座(11)和轴承固定座(12)，所述y轴(10)顶部设置有移动板(13)，所述转动台(1)顶部一侧对称固定连接有第一滑轨(16)，所述移动板(13)顶部一侧固定连接有第二滚珠丝杠电机(17)，所述第二滚珠丝杠电机(17)输出端固定连接有x轴(18)，所述x轴(18)两侧对称设置有第二滑轨(19)，所述第二滑轨(19)顶部设置有工作台(22)，所述工作台(22)底部固定连接有第二滑块(20)，所述工作台(22)一侧固定连接有第五电机(21)，所述第五电机(21)输出端固定连接有第二涡轮(24)，所述第二涡轮(24)外侧啮合连接有第二转动齿轮(23)。

2.根据权利要求1所述的一种真空环境用五轴位移台，其特征在于：所述第一转动齿轮(3)位于支撑架(15)的一侧转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种真空环境用五轴位移台，其特征在于：所述第一固定座(6)通过螺栓固定连接于五轴移动台设备上。

4.根据权利要求1所述的一种真空环境用五轴位移台，其特征在于：所述第二固定座(11)和轴承固定座(12)通过螺栓与转动台(1)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种真空环境用五轴位移台，其特征在于：所述移动板(13)和第一滑块(14)通过第一滑轨(16)与转动台(1)滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种真空环境用五轴位移台，其特征在于：所述x轴(18)外侧的一端对称转动连接有轴承固定座(12)。

7.根据权利要求1所述的一种真空环境用五轴位移台，其特征在于：所述工作台(22)和第二滑块(20)通过x轴(18)与第二滑轨(19)滑动连接。

8.根据权利要求1所述的一种真空环境用五轴位移台，其特征在于：所述第二转动齿轮(23)位于工作台(22)的顶部。

技术总结
本发明公开了一种真空环境用五轴位移台，包括转动台，所述转动台一侧的上端固定连接有转动座，所述转动座一侧设置有支撑架，所述转动座一侧固定连接有第一转动齿轮，所述第一转动齿轮外侧啮合连接有第一涡轮，所述第一涡轮底部固定连接于第一电机的输出端，所述支撑架一侧上下对称设置有第一固定座，所述第一固定座内部螺纹连接有R轴，驱动第一滚珠丝杠电机使得Y轴发生旋转，Y轴在第一滚珠丝杠电机的驱使下带动滚珠丝杠，驱动滑台前后移动，通过设置的蜗杆电机驱动R轴发生旋转，这时便可将驱动滑台完成上下移动，并可自锁，即时可以有效提高五轴位移台的工作效率，从而结构紧凑，质量轻，可在真空下使用的优点。

技术研发人员：鹿启帅,张圭尧,黄莉
受保护的技术使用者：苏州航宇九天动力技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13