一种激光晶圆加工设备的光路调试装置的制作方法

本技术涉及激光晶圆加工设备，尤其涉及一种激光晶圆加工设备的光路调试装置。

背景技术：

1、激光隐切技术是一种在硬质材料体内纵向构造多个焦点，从而形成多个改质层，进而实现材料物理分割的技术。相比于传统切割方法，激光隐切技术以其加工速度快、操作简单、加工精确逐渐代替传统的机械切割，焦点处光斑的质量对晶圆加工的质量影响较大，在晶圆加工前需要对激光晶圆加工设备的光路进行调试。

2、现有技术中专利文献号为cn113547207a的中国专利文件公开了一种激光光路双焦点调节设备及方法，通过主光路、分光镜、调焦光路、合束镜、第一反射镜、第二反射镜、光闸、调焦装置、第三反射镜和出光口的配合，能够快速高效地对激光光路的焦点进行调节，该设备及方法虽然能够调节光路，使穿过晶圆的激光束聚焦在材料内部，但是，在激光光束在通过反射镜等光学精密器件时，该设备及方法并不能精确控制激光光束垂直并从光学精密器件中心通过，从而影响光斑的质量，而且，激光晶圆加工设备在不切割晶圆片时，该装置调节后的激光光路也不能规范、便捷地验证。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、针对现有技术的不足，本实用新型目的在于提供一种激光晶圆加工设备的光路调试装置，解决了现有技术中存在的问题，该装置解决了调节装置不能精确控制激光光束垂直并从光学精密器件中心通过的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种激光晶圆加工设备的光路调试装置，包括激光头，激光头射出激光的一侧设有第一反射镜，第一反射镜一侧设有第二反射镜，第二反射镜一侧设有第三反射镜，第三反射镜一侧设有扩束镜，扩束镜一侧设有第四反射镜，第四反射镜一侧设有玻片，玻片一侧设有宽带偏振分束立方体，宽带偏振分束立方体一侧设有第五反射镜，第五反射镜底部设有第六反射镜，第六反射镜一侧设有椭圆反射镜，激光头与第一反射镜之间设有调光组件。

5、优选地，第一反射镜与第二反射镜之间设有调光组件。

6、优选地，第三反射镜与扩束镜之间设有调光组件。

7、优选地，扩束镜与第四反射镜之间设有调光组件。

8、优选地，第四反射镜与玻片之间设有调光组件。

9、优选地，宽带偏振分束立方体与第五反射镜之间设有调光组件。

10、优选地，第五反射镜与第六反射镜之间设有调光组件。

11、优选地，第六反射镜与椭圆反射镜之间设有调光组件。

12、优选地，调光组件包括调光支架和固定连接在调光支架中间的调光十字光圈。

13、(三)有益效果

14、1.本实用新型提供一种激光晶圆加工设备的光路调试装置，该装置通过在激光头1与第一反射镜2之间、第一反射镜2与第二反射镜3之间、光束经过第三反射镜4与扩束镜5之间、扩束镜5与第四反射镜6之间、第四反射镜6与玻片7之间、宽带偏振分束立方体8与第五反射镜9之间、第五反射镜9与第六反射镜10之间以及第六反射镜10与椭圆反射镜11之间设置调光组件12，调光组件12包括调光支架13和固定连接在调光支架13中间的调光十字光圈14，使得装置能够精确控制激光光束垂直并从光学精密器件中心通过，以获得高质量的高斯聚焦光斑，从而提高激光隐切加工中晶圆的加工质量。

技术特征：

1.一种激光晶圆加工设备的光路调试装置，包括激光头(1)，所述激光头(1)射出激光的一侧设有第一反射镜(2)，所述第一反射镜(2)一侧设有第二反射镜(3)，所述第二反射镜(3)一侧设有第三反射镜(4)，所述第三反射镜(4)一侧设有扩束镜(5)，所述扩束镜(5)一侧设有第四反射镜(6)，所述第四反射镜(6)一侧设有玻片(7)，所述玻片(7)一侧设有宽带偏振分束立方体(8)，所述宽带偏振分束立方体(8)一侧设有第五反射镜(9)，所述第五反射镜(9)底部设有第六反射镜(10)，所述第六反射镜(10)一侧设有椭圆反射镜(11)，其特征在于：所述激光头(1)与第一反射镜(2)之间设有调光组件(12)。

2.根据权利要求1所述激光晶圆加工设备的光路调试装置，其特征在于：所述第一反射镜(2)与第二反射镜(3)之间设有调光组件(12)。

3.根据权利要求2所述激光晶圆加工设备的光路调试装置，其特征在于：所述第三反射镜(4)与扩束镜(5)之间设有调光组件(12)。

4.根据权利要求3所述激光晶圆加工设备的光路调试装置，其特征在于：所述扩束镜(5)与第四反射镜(6)之间设有调光组件(12)。

5.根据权利要求4所述激光晶圆加工设备的光路调试装置，其特征在于：所述第四反射镜(6)与玻片(7)之间设有调光组件(12)。

6.根据权利要求5所述激光晶圆加工设备的光路调试装置，其特征在于：所述宽带偏振分束立方体(8)与第五反射镜(9)之间设有调光组件(12)。

7.根据权利要求6所述激光晶圆加工设备的光路调试装置，其特征在于：所述第五反射镜(9)与第六反射镜(10)之间设有调光组件(12)。

8.根据权利要求7所述激光晶圆加工设备的光路调试装置，其特征在于：所述第六反射镜(10)与椭圆反射镜(11)之间设有调光组件(12)。

9.根据权利要求1-8任一项所述激光晶圆加工设备的光路调试装置，其特征在于：所述调光组件(12)包括调光支架(13)和固定连接在所述调光支架(13)中间的调光十字光圈(14)。

技术总结
本技术涉及激光晶圆加工设备技术领域，尤其涉及一种激光晶圆加工设备的光路调试装置，包括激光头，激光头射出激光的一侧设有第一反射镜，第一反射镜一侧设有第二反射镜，第二反射镜一侧设有第三反射镜，第三反射镜一侧设有扩束镜，扩束镜一侧设有第四反射镜，第四反射镜一侧设有玻片，玻片一侧设有宽带偏振分束立方体，宽带偏振分束立方体一侧设有第五反射镜，第五反射镜底部设有第六反射镜，第六反射镜一侧设有椭圆反射镜，激光头与第一反射镜之间设有调光组件，该装置解决了调节装置不能精确控制激光光束垂直并从光学精密器件中心通过的问题。

技术研发人员：马以洋
受保护的技术使用者：浙江达仕科技有限公司
技术研发日：20230629
技术公布日：2024/1/15