一种晶圆设备部件加工用锻压装置的制作方法

本技术涉及锻压，尤其涉及一种晶圆设备部件加工用锻压装置。

背景技术：

1、随着社会发展，在对于晶圆部件的加工方式上主要有片加工和批加工，因此需要使用到锻压机，通过锻压改变其形状，从而使得锻压出的晶圆部件既满足产品的功能和外观要求，又能使得锻压模具制造简单、成本低。

2、目前，现有的锻压机在对晶圆部件加工时难以保证锻压时的稳定性，加工时容易出现偏移，导致锻压出的零件精准度出现偏差，严重时可能导致材料的浪费，且现有的锻压机在加工成型之后需要人工手动卸料，不能满足晶圆部件成型后快速顶出的需求，需要工作人员再手动取料，保证不了工作人员的人身安全，增加工作人员的工作负担。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种晶圆设备部件加工用锻压装置。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种晶圆设备部件加工用锻压装置，包括防护框，所述防护框上端中部设置有锻压台，所述锻压台上端中部固定连接有下夹板，所述下夹板通过多个固定块与上夹板相连，所述上夹板内侧壁设置有均匀分布的第二限位槽，所述下夹板内侧壁设置有第一限位槽，所述下夹板内侧壁中部滑动连接有滑动板，所述滑动板外侧固定连接有拉杆，所述滑动板内侧壁设置有第二滑动槽，所述第二滑动槽滑动连接有滑动柱，所述滑动柱上端固定连接有夹持块，所述夹持块上端固定连接有限位杆，所述限位杆滑动连接有第二限位槽。

3、作为上述技术方案的进一步描述：

4、所述防护框上端固定连接有固定框，所述固定框内侧壁滑动连接有锻压台，所述防护框下端固定连接有均匀分布的底脚。

5、作为上述技术方案的进一步描述：

6、所述锻压台下端中部设置有凸块，所述凸块下端中部固定连接有连接台，所述连接台下端中部固定连接有固定台。

7、作为上述技术方案的进一步描述：

8、所述固定台一侧固定连接有左右相对的限位钉，所述固定台内侧壁设置有左右相对的第三限位槽，所述限位钉滑动连接有第三限位槽。

9、作为上述技术方案的进一步描述：

10、所述固定台下端固定连接有左右相对的第一固定架，所述第一固定架内侧壁固定连接有轴承。

11、作为上述技术方案的进一步描述：

12、所述防护框内侧壁底部设置有左右相对的第一滑动槽，所述第一滑动槽滑动连接有滑动块，所述防护框通过压缩弹簧与固定台连接。

13、作为上述技术方案的进一步描述：

14、所述滑动块上端固定连接有第二固定架，所述第二固定架内侧壁固定连接有轴承，所述轴承转动连接有连接杆。

15、作为上述技术方案的进一步描述：

16、所述锻压台上端中部固定连接有气缸，所述气缸下端固定连接有锻压块，所述锻压块下端中部设置有锻压框。

17、本实用新型具有如下有益效果：

18、1、本实用新型中，通过上夹板、下夹板、第一限位槽、拉杆、固定块、滑动板、第二滑动槽、限位杆、夹持块、滑动柱以及第二限位槽的配合，可对锻压框进行有夹持，防止在加工时部件出现偏移，实现对锻压部件的固定效果，对于不同大小的部件都能够进行有效夹持，避免了传统锻压机因稳定性不高，导致锻压出的零件精准度出现偏差的问题。

19、2、本实用新型中，在防护框内设置有固定台，通过连接台、凸块、限位钉，第三限位槽、第一固定架、第二固定架、轴承、连接杆、滑动块、第一滑动槽以及压缩弹簧的配合，是实现了对于锻压部件快速顶出的效果，在锻压时压缩弹簧受到压力进行缩紧，滑动块通过第一滑动槽进行滑动，同时通过第三限位槽对限位钉进行限位，确保部件加工时的稳定，加工结束后，通过压缩弹簧弹力使固定台回弹到初始位置，且通过凸块对部件进行快速顶出。

技术特征：

1.一种晶圆设备部件加工用锻压装置，包括防护框(1)，其特征在于：所述防护框(1)上端中部设置有锻压台(4)，所述锻压台(4)上端中部固定连接有下夹板(18)，所述下夹板(18)通过多个固定块(21)与上夹板(17)相连，所述上夹板(17)内侧壁设置有均匀分布的第二限位槽(27)，所述下夹板(18)内侧壁设置有第一限位槽(19)，所述下夹板(18)内侧壁中部滑动连接有滑动板(22)，所述滑动板(22)外侧固定连接有拉杆(20)，所述滑动板(22)内侧壁设置有第二滑动槽(23)，所述第二滑动槽(23)滑动连接有滑动柱(26)，所述滑动柱(26)上端固定连接有夹持块(25)，所述夹持块(25)上端固定连接有限位杆(24)，所述限位杆(24)滑动连接有第二限位槽(27)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆设备部件加工用锻压装置，其特征在于：所述防护框(1)上端固定连接有固定框(3)，所述固定框(3)内侧壁滑动连接有锻压台(4)，所述防护框(1)下端固定连接有均匀分布的底脚(2)。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆设备部件加工用锻压装置，其特征在于：所述锻压台(4)下端中部设置有凸块(7)，所述凸块(7)下端中部固定连接有连接台(6)，所述连接台(6)下端中部固定连接有固定台(5)。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆设备部件加工用锻压装置，其特征在于：所述固定台(5)一侧固定连接有左右相对的限位钉(9)，所述固定台(5)内侧壁设置有左右相对的第三限位槽(28)，所述限位钉(9)滑动连接有第三限位槽(28)。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆设备部件加工用锻压装置，其特征在于：所述固定台(5)下端固定连接有左右相对的第一固定架(10)，所述第一固定架(10)内侧壁固定连接有轴承(12)。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆设备部件加工用锻压装置，其特征在于：所述防护框(1)内侧壁底部设置有左右相对的第一滑动槽(15)，所述第一滑动槽(15)滑动连接有滑动块(14)，所述防护框(1)通过压缩弹簧(16)与固定台(5)连接。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆设备部件加工用锻压装置，其特征在于：所述滑动块(14)上端固定连接有第二固定架(11)，所述第二固定架(11)内侧壁固定连接有轴承(12)，所述轴承(12)转动连接有连接杆(13)。

8.根据权利要求2所述的一种晶圆设备部件加工用锻压装置，其特征在于：所述锻压台(4)上端中部固定连接有气缸(29)，所述气缸(29)下端固定连接有锻压块(30)，所述锻压块(30)下端中部设置有锻压框(8)。

技术总结
本技术涉及锻压技术领域，公开了一种晶圆设备部件加工用锻压装置，包括防护框，所述防护框上端中部设置有锻压台，所述锻压台上端中部固定连接有下夹板，所述下夹板通过多个固定块与上夹板相连，所述上夹板内侧壁设置有均匀分布的第二限位槽，所述下夹板内侧壁设置有第一限位槽，所述下夹板内侧壁中部滑动连接有滑动板，所述滑动板外侧固定连接有拉杆。本技术中，通过上夹板、下夹板、第一限位槽、拉杆、固定块、滑动板、第二滑动槽、限位杆、夹持块、滑动柱以及第二限位槽的配合，可对锻压框进行有夹持，防止在加工时部件出现偏移，实现对部件的固定效果，对于不同大小的部件都能够进行有效夹持。

技术研发人员：何环清,苏丽静
受保护的技术使用者：厦门莱尔德光电科技有限公司
技术研发日：20230712
技术公布日：2024/3/11