专利名称：形成荫罩板图案的方法
技术领域：
本发明涉及一种形成罩板图案的方法，该方法用于在有机电致发光显示器的图案区域上淀积有机材料层，更具体地说，涉及一种形成荫罩板图案的方法，其中当图案螺旋形成于用于有机材料层淀积的罩板中时，压力被均匀施加到图案区域，从而防止图案弯曲或偏离平面。
背景技术：
电致发光显示器是平板显示器的一种，根据用作发射层的材料的类型可以分为无机电致发光显示器或有机电致发光显示器。近年来，由于可以由低电压驱动、轻薄、具有宽视角以及具有较快的图像显示反应时间，因此使得有机电致发光显示器得以被使用。
常规的有机电致发光显示器具有有机电致发光装置，该有机电致发光装置具有堆在基板上的阳极、有机材料层和阴极。有机材料层包括在空穴和电子复合时发光的有机发射层。为了将空穴和电子传输到发射层并且提高发射效率，可以在阴极和有机发射层之间插入电子注入层和电子传输层，并且可以在阳极和有机发射层之间插入空穴注入层和空穴传输层。
具有该结构的有机电致发光装置可以通过包括真空淀积法、离子电镀法或喷镀法等的物理气相淀积法或者通过利用气体反应的化学淀积法制成。当使用这些方法中的一种来制造有机电致发光装置时，可以使用带有图案的罩板来在基板上的期望位置淀积有机材料层。该罩板可以固定在罩板框上并且处于压力状态下。
参见图1，为了在基板1一侧的图案中形成有机材料层(未示出)，可以通过例如焊接等方法将具有图案区域3a的罩板3固定到罩板框5上，以便罩板3在箭头“A”所示的方向上被拉紧，其中图案区域3a的图案对应于要形成的有机材料层的图案。然后，气体有机材料可以从有机材料喷射单元沿箭头“B”所示的方向被提供，而且该气体有机材料可以通过罩板框5的开口5a以及通过罩板3的图案区域3a而淀积在基板1上，从而形成具有与图案区域3a的图案相对应的图案的有机材料层。罩板附着部分3b位于图案区域3a的周边并且与其分离，而且罩板框附着部分5b位于开口5a的周边并且与其分离。可以通过将罩板附着部分3b与罩板框附着部分5b固定在一起而使罩板框5固定到罩板3上。
如图2所示，可以通过图案形成装置(未示出)在罩板3’上形成罩板图案。当罩板3’被固定到罩板框5上以在罩板3’上形成罩板图案时，图案形成装置从罩板片3’图案区域3a’的一侧移动到另一侧，例如沿箭头“C”所示的方向，而压力被沿箭头A所示的方向施加到罩板3’上。
在如上所述在罩板3’上形成罩板图案的情况下，施加到罩板3’上的压力引起相邻图案间图案区域3a’的硬度降低。因此，当罩板图案在沿箭头A所示方向的压力下在罩板3’上形成时，先前形成的罩板图案的硬度就会降低，结果导致整个罩板图案硬度的不均匀。
这种不均匀的硬度可以导致罩板3’由于所施加的压力而弯曲或偏离平面。特别地，当形成罩板图案用于薄膜淀积时，可能发生罩板3’的变形，所以使得难以形成期望的罩板3’上的罩板图案。
发明内容
本发明提供一种形成荫罩板图案的方法，其中当在用于有机材料层淀积的罩板中形成图案时，压力被均匀施加到图案区域，从而防止图案弯曲或偏离平面。
本发明的其它特征将在以下描述中进行说明，且其中的部分特征可从这些描述中清楚地看到，或者通过实施本发明来获悉。
本发明公开一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括固定到罩板框的附着部分以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到所述罩板片和辅助片；并且在罩板片的图案区域上形成图案。
本发明还公开一种在罩板片上形成图案的方法，其中该罩板片包括附着部分，该附着部分包含用以降低罩板片中压力的孔而且被固定到罩板框；以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括将拉伸力施加到罩板片，并且在该罩板片的图案区域上形成图案。
可以理解，上面的概要描述和下面的详细描述都是示例性和解释性的，目的在于进一步解释权利要求所保护的本发明。
以下所包括的附图用于进一步帮助理解本发明，并且被并入说明书中作为该说明书的一部分，这些附图用于说明本发明的实施例，并与文字描述一起用于解释本发明的原理。
图1示出示意性地说明用以制造有机电致发光装置的罩板的一般固定状态的分解透视图。
图2示意性地说明在常规罩板片上形成的图案。
图3A和图3B示意性地说明根据本发明一实施例的沿螺旋线在罩板片上形成图案的过程。
图4说明根据本发明第一实施例在罩板片上形成图案。
图5说明根据本发明第二实施例在罩板片上形成图案。
具体实施例方式
下面将参照示出本发明实施例的附图更全面地描述本发明。然而，本发明可以表现为多种不同的形式，且不应被解释为仅限于这里所描述的实施例。相反，提供这些实施例是为了充分公开，以及向本领域的技术人员全面传达本发明的范围。在图中，为了清楚起见，将层和区域的尺寸以及相关尺寸进行了放大。相似的附图标记代表图中相同或相似的部件。
在下文中，“罩板片”是指将要被形成图案的钢板，“罩板”是指已经形成有图案的钢板，而“罩板图案”是指在罩板片上形成的图案。
在根据本发明一实施例的形成罩板图案的方法中，首先将要被形成图案的罩板片固定到罩板框(未示出)上。然后，在该罩板片上施加外来压力A。从而，可以通过当罩板被固定到罩板框时施加压力来使罩板图案与基板对准。
然后，可以使用诸如射流(water-jet)型激光装置等图案形成装置(未示出)来在固定到罩板框的罩板片上形成罩板图案。在罩板片上形成图案，从而形成用于制造有机电致发光装置的罩板。在形成罩板图案之前，可以选择将要在罩板片上开始形成罩板图案的起点。该起始位置取决于施加到罩板片上的均匀压力“A”。图案形成装置从该起点开始沿近似螺旋线移动，从而在罩板片上形成罩板图案。
如图3A所示，用于形成罩板图案的起点可以近似位于罩板片13的图案区域13a的中心。然后，诸如穿孔器等图案形成装置可以沿着实线所示的图案形成线“d”螺旋移动，从而在罩板片13的图案区域13a上形成罩板图案。
在此，维持从在罩板片13的图案区域13a上形成的罩板图案到施加外力“A”的位置的距离大致相等，以便使压力被大致均匀地施加到罩板片上，从而防止罩板图案弯曲或偏离平面。
如图3B所示，用于形成罩板图案的起点可以近似位于罩板片13的图案区域13a的一角。然后，诸如穿孔器等图案形成装置可以沿着实线所示的图案形成线“e”螺旋移动，从而在罩板片13的图案区域13a上形成罩板图案。
在此，维持从在罩板片13的图案区域13a上形成的罩板图案到施加外力“A”的位置的距离大致相等，以便使压力被大致均匀地施加到罩板片上，从而防止罩板图案弯曲或偏离平面。
如图4所示，根据本发明的一实施例，为了当在罩板片23的图案区域23a上形成罩板图案时将压力均匀地施加到罩板片23上，该罩板片23可以在其罩板附着部分23b中具有孔23c，例如具有预定尺寸的切口。然后，可以通过图案形成装置在罩板片23的图案区域23a上形成罩板图案。
当在图案区域23a上形成罩板图案时，由于孔23c的存在，使得施加到图案区域23b的压力被降低，从而允许将要在图案区域23a上形成的图案不会弯曲或偏离平面。
因此，当通过图案形成装置在罩板23的图案区域23a上形成罩板图案时，可以选择起点以将压力“A”均匀地施加到罩板片23上，并且该图案形成装置可以沿近似螺旋线移动。如上所述，该螺旋线可以如图3A所示从图案区域23a的近似中心开始并朝着边缘螺旋向外移动，也可以如图3B所示从图案区域23a的近似一角开始并朝着图案区域23a的中心螺旋向内移动。
如图5所示，根据本发明的另一实施例，为了当在罩板片33的图案区域33a上形成罩板图案时将压力均匀地施加到罩板片33上，该罩板片33可以被固定到比罩板片33厚的辅助片31上。这样，压力“A”就被转移到辅助片31上。然后，可以在罩板33的图案区域33a上形成罩板图案。
这样，即使在通过图案形成装置形成罩板图案时压力不是被均匀地施加到罩板片33上，辅助片31可以补偿不均匀的压力，从而允许图案在罩板片33上形成而不会弯曲或偏离平面。
因此，当在设置于辅助片31之上的罩板片33上形成罩板图案时，可以设置起点并将压力“A”均匀施加到罩板33上，以便图案形成装置沿着近似螺旋线移动，从而形成所期望的罩板图案。如上所述，该螺旋线可以如图3A所示，从图案区域23a的近似中心开始并朝着边缘螺旋向外移动，也可以如图3B所示，从图案区域23a的近似一角开始并朝着图案区域23a的中心螺旋向内移动。
罩板片13、23、33可以由不锈钢材料制成，例如含有大量镍的镍铁合金(invar)或者含有大量镍和铬的铁镍铬合金(elinvar)。另外，典型的不锈钢材料可以从包括SUS304、SUS430以及SUS304+SUS430的组中选取。此外，用来形成罩板片的材料可以具有低的热膨胀系数，并且可以被磁化。
在罩板片的图案区域上形成的罩板图案的穿孔可以按照圆点或矩形单独形成。另外，可以使该点状图案或矩形图案固定。
如上所述，根据本发明的实施例，当在将外力施加到罩板片上的同时在罩板片上形成预定图案时，可以使施加到罩板片上的压力均匀分布，因此使得罩板片不会弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。
本领域的技术人员应能理解，只要不背离本发明的精神或范围，可对本发明进行各种修改或变化。因此，本发明意在覆盖所附权利要求及其等同替换范围之内的对本发明的修改和变化。
权利要求
1.一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括固定到罩板框的附着部分以及在其中形成图案的图案区域，该方法包括将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到所述罩板片和辅助片；并且在罩板片的图案区域上形成图案。
2.如权利要求1所述的方法，其中形成所述图案的步骤包括设置用以开始在罩板片的图案区域上形成图案的起点；从该起点开始沿螺旋线形成图案。
3.如权利要求2所述的方法，其中所述起点近似为罩板片的图案区域的中心，并且所述螺旋线朝着该图案区域的边缘螺旋向外移动。
4.如权利要求2所述的方法，其中所述起点近似为罩板片的图案区域的边缘，并且所述螺旋线朝着该图案区域的中心螺旋向内移动。
5.如权利要求1所述的方法，其中所述拉伸力被双向施加到罩板片和辅助片。
6.如权利要求1所述的方法，其中所述罩板片由镍铁合金、铁镍铬合金或从包括SUS 304、SUS 430和SUS 304+SUS 430的组中选取的不锈钢制成。
7.一种在罩板片上形成图案的方法，其中该罩板片包括附着部分以及在其中形成图案的图案区域，其中该附着部分包含用以降低罩板片中压力的孔而且被固定到罩板框；该方法包括将拉伸力施加到罩板片；并且在该罩板片的图案区域上形成图案。
8.如权利要求7所述的方法，其中形成所述图案的步骤包括设置用以开始在罩板片的图案区域上形成图案的起点；从该起点开始沿螺旋线形成图案。
9.如权利要求8所述的方法，其中所述起点近似为罩板片的图案区域的中心，并且所述螺旋线朝着该图案区域的边缘螺旋向外移动。
10.如权利要求8所述的方法，其中所述起点近似为罩板片的图案区域的边缘，并且所述螺旋线朝着该图案区域的中心螺旋向内移动。
11.如权利要求7所述的方法，其中所述拉伸力被双向施加到罩板片。
12.如权利要求7所述的方法，其中所述罩板片由镍铁合金、铁镍铬合金或从包括SUS 304、SUS 430和SUS 304+SUS 430的组中选取的不锈钢制成。
全文摘要
公开的是一种在罩板片上形成图案的方法，该罩板片包括要附着到罩板框的附着部分，以及在其中形成图案的图案区域。该方法包括将罩板片置于比该罩板片厚的辅助片上；将辅助片固定到罩板框；将拉伸力施加到罩板片和辅助片；并在罩板片的图案区域上形成图案。这样，当均匀分布的外力被施加到罩板片上时，就会在罩板片上形成预定的图案，因此可以防止罩板片的弯曲或偏离平面，从而形成精确的罩板图案。
文档编号C23C16/04GK1824825SQ200610000428
公开日2006年8月30日 申请日期2006年1月5日 优先权日2005年1月5日
发明者金振圭, 韩尚辰, 康熙哲, 姜有珍, 金泰亨 申请人:三星Sdi株式会社