专利名称：一种太阳能集热管镀膜生产线的制作方法
技术领域：
本实用新型属于太阳能集热管镀膜生产装置结构的改进。
技术背景
在现有技术中，太阳能集热管镀膜生产通常使用磁控溅射镀膜机。该机包 括传动装置、真空机组、磁控靶、充气系统等；每个生产周期需要重新抽真空， 因此，生产效率低，而且耗能大；另外，在镀膜室内的磁控溅射靶要经常暴露 于大气内，靶材易氧化，影响了膜层的质量
实用新型内容
本实用新型就是针对上述问题，提供一种生产效率高，镀膜质量好的太阳 能集热管镀膜生产线。
为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案，本实用新型包括外环轨， 其结构要点是外环轨上依次设置有进管室、镀膜室、出管室，进管室、镀膜室、 出管室的入口处、出口处分别设置有门阀、轨道岔口；进管室、镀膜室、出管 室分别同真空装置相连；外环轨和进管室、镀膜室、出管室内的内环轨上设置 有工件架链，工件架链是由既可绕外环轨、内环轨运转，又可自转的工件架连 接组成，内环轨内设置有磁控靶；外环轨侧方的拨叉设置在两个链轮之间的链 条上；相应于拨叉的工件架链上设置有拨块。
本实用新型的有益效果
1、生产效率高
本实用新型使多个装有玻璃管的工件架链，沿外环轨、内环轨的生产线连 续地进行公转或自转；又在真空状态下，连续进行磁控靶对玻璃管的溅射，因此，生产效率高；每六分钟，至少生产38个玻璃管的镀膜； 2、镀膜质量好
本实用新型的镀膜始终是在真空条件下工作，避免了靶材因经常暴露于大 气而造成的污染，确保了膜层的质量。
图1是本实用新型的结构示意图2是本实用新型的内环轨及相关结构示意图3是图2的A-A剖视图4是图2的B向视图5是图2的C-C剖视图6是本实用新型的工件架的结构示意图7是本实用新型的拨叉及相关结构示意图8是图7的D向旋转示意图。
具体实施方式
本实用新型包括外环轨12，外环轨12上依次设置有进管室14、镀膜室7、 出管室6，进管室14、镀膜室7、出管室6的入口处、出口处分别设置有门阀 21、轨道岔口35;进管室14、镀膜室7、出管室6分别同真空装置1相连； 外环轨12和进管室14、镀膜室7、出管室6内的内环轨13上设置有工件架链 18，工件架链18是由既可绕外环轨12、内环轨13运转，又可自转的工件架 29连接组成，内环轨13内设置有磁控靶17;外环轨12侧方的拨叉9设置在 两个链轮8之间的链条11上；相应于拨叉9的工件架链18上设置有拨块10。
工件架29的上方设置有玻璃管44的托架47;工件架29的底部设置有与 内环轨13相应的滚轮46;托架47与滚轮46之间设置有同自转链盘28上的 自转链条27相啮合的自转链轮43、同公转链盘25上的公转链条26拨叉22 相应的拨块23。200820011373.9
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轨道岔口 35固定于外环轨12的轴30上，轨道岔口 35的两侧分别设置有 工件架29的滚轮46的外支撑轨32、内支撑轨31;在轨道岔口35绕轴30转 动时，使外支撑轨32同内环轨13的外支撑轨36相一致，或使内支撑轨31同 外环轨12相一致，就使工件架链18进入内环轨13或进入外环轨12运转。
公转链盘25上设置有同公转链条26相啮合的浮动轮19;以使公转链条 26稳定运行。
为使工件架29运行平稳可靠，可在工件架29的外侧和内侧分别设置有与 内环轨13外限位板24、内限位板37相应的外限位轮45、内限位轮41。
与公转链条26相啮合的公转链轮39由同轴上的从动轮42所驱动，从动 轮42通过链条38同电机34上的链轮15相连。
为保证玻璃管44的镀膜效果及生产效率，可设置三个或更多镀膜室7。
进管室14、出管室6、镀膜室7内的内环轨13及外环轨12均可为扁圆形 轨道。
真空装置1可为机械泵2、扩散泵5、罗茨泵4、维持泵3分别组合。 链轮15是由电机34所驱动。
以下结合附图说明本实用新型的一次动作过程
首先，将待镀的玻璃管44装在工件架链18上，然后将装好的工件架链 18运行到进管室14外环轨12位置等候，当门阀21接到指令立即打开，工件 架链18进入进管室14，门阀21关闭，进管室14立即抽真空，当真空度抽至 《8X1(T帕，开门阀21,工件架链18进入镀膜室7，沿着扁圆形轨道进行公 转和自转，镀膜室7对玻璃管44镀金属底膜，镀膜完毕，打开门阀21,进入 第二镀膜室7，充反应气体镀介质膜，然后打开门阀21，进入第三镀膜室7， 按工艺要求用同样方法镀吸收膜，镀膜完毕打开门阀21，进入出管室6，出管 室6放气后打开门阀21，工件架链18运行到外面出管环轨准备卸管。门阀21 关闭后出管室6马上抽真空，当真空度抽至《8X1()3帕，准备再接镀膜室7
工件架链18，开始下个生产周期,
权利要求1、一种太阳能集热管镀膜生产线，包括外环轨(12)，其特征在于外环轨(12)上依次设置有进管室(14)、镀膜室(7)、出管室(6)，进管室(14)、镀膜室(7)、出管室(6)的入口处、出口处分别设置有门阀(21)、轨道岔口(35)；进管室(14)、镀膜室(7)、出管室(6)分别同真空装置(1)相连；外环轨(12)和进管室(14)、镀膜室(7)、出管室(6)内的内环轨(13)上设置有工件架链(18)，工件架链(118)是由既可绕外环轨(12)、内环轨(13)运转，又可自转的工件架(29)连接组成，内环轨(13)内设置有磁控靶(17)；外环轨(12)侧方的拨叉(9)设置在两个链轮(8)之间的链条(11)上；相应于拨叉(9)的工件架链(18)上设置有拨块(10)。
2、 根据权利要求1所述的一种太阳能集热管镀膜生产线，其特征在于工件 架(29)的上方设置有玻璃管(44)的托架(47);工件架(29)的底部设置有 与内环轨(13)相应的滚轮(46);托架(47)与滚轮(46)之间设置有同自转 链盘(28)上的自转链条(27)相啮合的自转链轮(43)、同公转链盘(25)上 的公转链条(26)拨叉(22)相应的拨块(23)。
3、 根据权利要求1所述的一种太阳能集热管镀膜生产线，其特征在于轨道 岔口 (35)固定于外环轨(12)的轴(30)上，轨道岔口 (35)的两侧分别设 置有工件架(29)的滚轮(46)的外支撑轨(32)、内支撑轨(31)。
4、 根据权利要求2所述的一种太阳能集热管镀膜生产线，其特征在于公转 链盘(25)上设置有同公转链条(26)相啮合的浮动轮(19)。
5、 根据权利要求1所述的一种太阳能集热管镀膜生产线，其特征在于在工 件架(29)的外侧和内侧分别设置有与内环轨(13)外限位板(24)、内限位板(37)相应的外限位轮(45)、内限位轮(41)。
6、 根据权利要求2所述的一种太阳能集热管镀膜生产线，其特征在于与公 转链条(26)相啮合的公转链轮(39)由同轴上的从动轮(42)所驱动，从动 轮(42)通过链条(38)同电机(34)上的链轮(15)相连。
7、 根据权利要求1所述的一种太阳能集热管镀膜生产线，其特征在于设置 三个镀膜室(7)。
8、 根据权利要求1所述的一种太阳能集热管镀膜生产线，其特征在于进管 室(14)、出管室(6)、镀膜室(7)内的内环轨(13)及外环轨(12)均为扁 圆形轨道。
专利摘要一种太阳能集热管镀膜生产线属于太阳能集热管镀膜生产装置结构的改进。本实用新型就是提供一种生产效率高，镀膜质量好的太阳能集热管镀膜生产线。本实用新型包括外环轨，其结构要点是外环轨上依次设置有进管室、镀膜室、出管室，进管室、镀膜室、出管室的入口处、出口处分别设置有门阀、轨道岔口；进管室、镀膜室、出管室分别同真空装置相连；外环轨和进管室、镀膜室、出管室内的内环轨上设置有工件架链，工件架链是由既可绕外环轨、内环轨运转，又可自转的工件架连接组成，内环轨内设置有磁控靶；外环轨侧方的拨叉设置在两个链轮之间的链条上；相应于拨叉的工件架链上设置有拨块。
文档编号C23C14/35GK201176455SQ20082001137
公开日2009年1月7日 申请日期2008年2月29日 优先权日2008年2月29日
发明者王光华, 郭保安 申请人:沈阳百乐真空技术有限公司