专利名称：蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及机械领域，特别涉及一种蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的
蒸镀装置。
背景技术：
随着经济的不断发展、科技的不断进步和世界能源的日益减少，人们在生产中越 来越重视能源的节约及利用效率，使得人与自然和谐发展以满足中国新型的工业化道路要 求。例如，在数码产品的显示产业中，企业为了节约能源、降低生产成本，都加大投资 研发力度，不断地追求节能的新产品。其中，OLED^rganicLight-emitting Diode，有机发 光二极管)显示屏就是数码产品中的一种新产品，其具备轻薄、省电等特性，因此在数码产 品的显示屏上得到了广泛应用，并且具有较大的市场潜力，目前世界上对OLED的应用都聚 焦在平板显示器上，因为OLED在目前所有显示技术中，因为可制作大尺寸、高亮度、高分辨 率软屏的显示技术，可以做成和纸张一样的厚度；但OLED显示屏(有机发光显示屏)与 传统的液晶显示屏并不同，其无需背光灯，采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基片，当有电 流通过时，这些有机材料就会发光，而且OLED显示屏可以做得更轻更薄，可视角度更大， 并且能够显著节省电能；相应地，制造OLED显示屏的所有设备必须要保证OLED显示屏的 精度要求。OLED显示屏是基于有机材料的一种电流型半导体发光器件。其典型结构是在 ITOdndium-Iin Oxide，氧化铟锡)玻璃上蒸镀一层几十纳米厚的有机发光材料作发光层， 发光层上方设置(如蒸镀)一层低功函数的金属电极。当电极上加有电压时，发光层就产 生光辐射而发光。而具体涉及到蒸镀技术的腔体，现有已知的用于蒸镀的腔体容器通常为长方体也 包括正方体的结构。该腔体容器为了提高其刚性和耐压强度，需要使容器壁具有一定厚度， 从而造成重量以及成本的增加。针对现时状况，本实用新型提供一种强度高，成本低并且轻便的蒸镀腔体机构。
实用新型内容本实用新型的目的是提供一种强度高，成本低并且轻便的蒸镀腔体机构。本实用新型的另一目的是提供一种具有蒸镀腔体机构的蒸镀装置，所述蒸镀腔体 机构强度高，成本低并且轻便。为了实现上述目的，本实用新型提供一种蒸镀腔体机构，包括底板、顶板以及设于 所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中 空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折 侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜 向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接， 所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下 腔体。所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧 板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体 至所述下腔体处。对应所述维修口处设有遮挡门。该遮挡门用于遮挡该维修口。所述下侧板设有工艺开口。该工艺开口为腔体外部的用于蒸镀的材料送入腔体内 部的入口。若干所述侧板与所述底板以及所述顶板焊接连接。本实用新型还提供一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以 及蒸镀腔体机构，所述蒸镀腔体机构包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的 若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基 板传送口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所 述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中 侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体机构包括分别 与上例板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述 基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体，所述镀膜基板置于所 述上腔体内，所述蒸发源置于所述中腔体内，所述供应蒸发源材料装置置于所述下腔体内。与现有技术相比，本实用新型蒸镀腔体机构至少有一弯折侧板，弯折侧板的中侧 板是沿上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成，起到加强筋作用，大大提高了腔体的受压能 力；所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的 上腔体、中腔体以及下腔体，使腔体体积减少，节省用料。通过以下的描述并结合附图，本实用新型将变得更加清晰，这些附图用于解释本 实用新型的实施例。
图1为本实用新型蒸镀腔体机构的的结构立体图。图2为本实用新型蒸镀腔体机构的立体分解图。
具体实施方式
本实用新型提供一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及 蒸镀腔体机构100。参考图1以及图2，蒸镀腔体机构100包括底板10、顶板20、设于所述底板10与所 述顶板20之间的前侧板30、后侧板40、左侧板50以及右侧板60。所述底板10、顶板20以
及若干侧板互相焊接连接形成中空的蒸镀腔。较佳者，左侧板50为呈弯折结构的弯折侧板。所述左侧板50包括上侧板51、下 侧板53以及位于所述上侧板51与所述下侧板53之间的中侧板52。所述上侧板51、下侧 板53以及中侧板52互相一体连接。所述上侧板51与所述顶板20密封焊接，所述中侧板 52自所述上侧板51向内斜向延伸形成，所述下侧板53自所述中侧板52向下延伸并与所述底板10密封焊接。本实施例中，上、下侧板均与顶板20和底板10垂直。对应所述上侧 板51、中侧板52以及下侧板53分别形成体积依次减少的上腔体110、中腔体120以及下腔 体130。所述前侧板30以及后侧板40对应上腔体110处各设有一基板传送口 35，用于传 送镀膜基板。所述右侧板60对应中腔体120以及下腔体130处上设有两维修口 61，用于对 腔体内部零件进行安装、检修、清洁、维护。右侧板对应所述维修口 61处设有遮挡门62，用 于遮挡该维修口 61。较佳者，所述下侧板53设有工艺开口 531。该工艺开口 531为腔体外部的用于蒸 镀的材料送入腔体内部的入口。所述镀膜基板置于所述上腔体110内，所述蒸发源置于所述中腔体120内，所述供 应蒸发源材料装置及其它辅助装置置于所述下腔体130内。使用本实用新型蒸镀装置时，从基板传送口 35放入镀膜基板，从工艺开口 531放 入蒸镀材料，蒸发源加热蒸发源材料后，使蒸发源材料蒸发，从而镀至蒸镀膜基板上。当发 生故障需要检修时，打开遮挡门62，从而检修维修口 61内的各装置部件，修为完毕后关上 遮挡门62即可。本实用新型蒸镀腔体机构100包括底板10、顶板20、设于所述底板10与所述顶板 20之间的前侧板30、后侧板40、左侧板50以及右侧板60。左侧板50为弯折侧板，左侧板 50包括上侧板51、中侧板52及下侧板53，中侧板52是沿上侧板向所述蒸镀腔70内斜向延 伸形成，因而呈梯形结构，起到加强筋作用，大大提高了腔体的受压能力；所述蒸镀腔体机 构100包括分别与上侧板51、中侧板52以及下侧板53相对应的且体积依次减少的上腔体 110、中腔体120以及下腔体130，使腔体体积减少，节省用料。需要注意的是，所述底板10、顶板20以及若干侧板可通过焊接方式密封连接，还 可通过其它方式如密封件封闭连接；该侧板数量不仅局限于4个，还可为其它合适的数量； 该弯折侧板可为左侧板50，还可为右侧板60 ；该维修口 61的数量不局限于两个，其它合适 的数量均可。以上结合最佳实施例对本实用新型进行了描述，但本实用新型并不局限于以上揭 示的实施例，而应当涵盖各种根据本实施例的本质进行的修改、等效组合。
权利要求一种蒸镀腔体机构，包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送口以及维修口，其特征在于至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体。
2.如权利要求1所述的蒸镀腔体机构，其特征在于所述侧板包括前侧板、后侧板、左 侧板以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维 修口设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体至所述下腔体处。
3.如权利要求1所述的蒸镀腔体机构，其特征在于对应所述维修口处设有遮挡门。
4.如权利要求1所述的蒸镀腔体机构，其特征在于所述下侧板设有工艺开口。
5.如权利要求1所述的蒸镀腔体机构，其特征在于若干所述侧板与所述底板以及所 述顶板焊接连接。
6.一种蒸镀装置，包括镀膜基板、蒸发源、供应蒸发源材料装置以及蒸镀腔体机构，其 特征在于所述蒸镀腔体机构包括底板、顶板以及设于所述底板与所述顶板之间的若干侧 板，所述底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，所述侧板开有基板传送 口以及维修口，至少一所述侧板为呈弯折结构的弯折侧板，所述弯折侧板包括与所述顶板 密封连接的上侧板，沿所述上侧板向所述蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿所述中侧板向 下延伸形成下侧板，所述下侧板与所述底板密封连接，所述蒸镀腔体机构包括分别与上侧 板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，所述基板传 送口位于所述上腔体上，所述维修口自中腔体开设至下腔体，所述镀膜基板置于所述上腔 体内，所述蒸发源置于所述中腔体内，所述供应蒸发源材料装置置于所述下腔体内。
7.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于所述侧板包括前侧板、后侧板、左侧板 以及右侧板，所述基板传送口设于所述前侧板或后侧板对应所述上腔体处上，所述维修口 设于所述左侧板或右侧板上对应所述中腔体至所述下腔体处。
8.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于对应所述维修口处设有遮挡门。
9.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于所述下侧板设有工艺开口。
10.如权利要求6所述的蒸镀装置，其特征在于若干所述侧板与所述底板以及所述顶 板焊接连接。
专利摘要本实用新型公开了一种蒸镀腔体机构及具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置,一种蒸镀腔体机构，包括底板、顶板以及设于底板与顶板之间的若干侧板，底板、顶板以及若干侧板互相密封连接形成中空的蒸镀腔，侧板开有基板传送口以及维修口，至少一侧板为呈弯折结构的弯折侧板，弯折侧板包括与顶板密封连接的上侧板，沿上侧板向蒸镀腔内斜向延伸形成中侧板，沿中侧板向下延伸形成下侧板，下侧板与所述底板密封连接，蒸镀腔体机构包括分别与上侧板、中侧板以及下侧板相对应的且体积依次减少的上腔体、中腔体以及下腔体，基板传送口位于所述上腔体上，维修口自中腔体开设至下腔体。本实用新型蒸镀腔体机构强度高，成本低并且轻便；另，本实用新型还提供了一种具有该蒸镀腔体机构的蒸镀装置。
文档编号C23C14/24GK201665703SQ20102014064
公开日2010年12月8日 申请日期2010年3月23日 优先权日2010年3月23日
发明者刘惠森, 叶宗锋, 张华 , 杨明生, 王勇, 王曼媛, 范继良, 郭远伦 申请人:东莞宏威数码机械有限公司