专利名称：真空镀膜用布气系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空镀膜领域，尤其是一种真空室的布气系统，具体地说是一种能均匀布气的真空镀膜用布气系统。
背景技术：
在真空镀膜行业中，考证产品质量的一个重要指标是镀膜均匀性，影响其主要的因素是电场、磁场以及真空室的布气系统，如图1所示，传统的布气管道是以6mm的不锈钢管按一定间隔钻孔，然后平行于靶面安装，理论要求是各出气口压力均等，但在布气过程中，总是接近管道进气口的压力要高于远端压力，这样由于布气的不均匀造成了镀膜品质的下降。为了达到布气的均匀，我们必须克服管道进气口与远端的压力差。
发明内容本实用新型的目的是针对目前真空室的布气系统中，管道进气口与远端存在压力差，布气不均匀，造成镀膜品质不高的问题，提出一种真空镀膜用布气系统，通过二次布气达到了布气的均匀性，在使用过程中，通过对镀膜均匀性的检测，取得了良好的效果。本实用新型的技术方案是:一种真空镀膜用布气系统，它包括套装的第一布气管、第二布气管和隔片，所述的第一布气管上设有多个第一出气孔，第二布气管上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔，第一布气管和第二布气管的两端封闭，第一布气管的一侧为进气孔，隔片横向或斜向设置在第二布气管内，使得第二布气管形成两腔体，隔片的两端与第二布气管有一定缝隙，第一布气管安装在第二布气管内背向真空镀膜靶面的腔体内。本实用新型的隔片为一薄板，该隔片斜向安插在第二布气管中。本实用新型的隔片与水平面呈45度设置。本实用新型的第二布气管为一方形管，第一布气管为一圆形管。本实用新型的方形管的尺寸为15X 15mm。本实用新型的第一布气管上均匀设置多个第一出气孔，所述的第一出气孔的孔径为 3mm η本实用新型的第二布气管上均匀设置多个第二出气孔，所述的第二出气孔的孔径为 0.5mmο本实用新型的有益效果:本实用新型通过二次布气，达到了布气的均匀性，在使用过程中，通过对镀膜均匀性的检测，取得了良好的效果。
图1是传统布气系统的结构示意图。图2是本实用新型的布气系统的结构示意图。[0016]图3是本实用新型的布气系统的剖面结构示意图。图中:1、第一布气管；2、第二布气管；3、隔片；4、第一出气孔；5、第二出气孔；6、进气孔。
具体实施方式
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明。如图2、3所示，一种真空镀膜用布气系统，它包括套装的第一布气管1、第二布气管2和隔片3，所述的第一布气管I上设有多个第一出气孔4，第二布气管2上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔5，第一布气管I和第二布气管2的两端封闭，第一布气管I的一侧为进气孔6，隔片3横向或斜向设置在第二布气管2内，使得第二布气管2形成两腔体，隔片3的两端与第二布气管2有一定缝隙,第一布气管I安装在第二布气管2内背向真空镀膜靶面的腔体内。本实用新型的隔片3为一薄板，该隔片3斜向安插在第二布气管2中；所述的隔片3与水平面呈45度设置。本实用新型的第二布气管2为一方形管，第一布气管I为一圆形管；所述的方形管的尺寸为15X15mm。本实用新型的第一布气管I上均匀设置多个第一出气孔4，所述的第一出气孔4的孔径为3_ ;第二布气管2上均匀设置多个第二出气孔5，所述的第二出气孔5的孔径为
0.5mmο具体实施时:本实用新型利用15X 15mm的方管沿对角线插入一片薄板，将方管隔离成2个腔室，两端封闭。按原有的布气方式将压力不平衡的气体布入方管的第一个腔体，然后由薄板缝隙间将气体均匀的溢流至第二个腔体，在第二个腔体平行于靶面的方向用激光穿0.5mm均匀排布的出气孔，通过2次布气，达到了布气的均匀性，在使用过程中，通过对镀膜均匀性的检测，取得了良好的效果。本实用新型未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现。
权利要求1.一种真空镀膜用布气系统，其特征是它包括套装的第一布气管(I)、第二布气管(2)和隔片(3)，所述的第一布气管(I)上设有多个第一出气孔(4)，第二布气管(2)上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔(5)，第一布气管(I)和第二布气管(2)的两端封闭，第一布气管(I)的一侧为进气孔(6),隔片(3)横向或斜向设置在第二布气管(2)内，使得第二布气管(2)形成两腔体，隔片(3)的两端与第二布气管(2)有一定缝隙，第一布气管(I)安装在第二布气管(2 )内背向真空镀膜靶面的腔体内。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜用布气系统，其特征是所述的隔片(3)为一薄板，该隔片(3)斜向安插在第二布气管(2)中。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜用布气系统，其特征是所述的隔片(3)与水平面呈45度设置。
4.根据权利要求1所述的真空镀膜用布气系统，其特征是所述的第二布气管(2)为一方形管，第一布气管(I)为一圆形管。
5.根据权利要求4所述的真空镀膜用布气系统，其特征是所述的方形管的尺寸为15 X15mm0
6.根据权利要求1所述的真空镀膜用布气系统，其特征是所述的第一布气管(I)上均匀设置多个第一出气孔(4)，所述的第一出气孔(4)的孔径为3mm。
7.根据权利要求1所述的真空镀膜用布气系统，其特征是所述的第二布气管(2)上均匀设置多个第二出气孔(5)，所述的第二出气孔(5)的孔径为0.5mm。
专利摘要一种真空镀膜用布气系统，它包括套装的第一布气管、第二布气管和隔片，所述的第一布气管上设有多个第一出气孔，第二布气管上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔，第一布气管和第二布气管的两端封闭，第一布气管的一侧为进气孔，隔片横向或斜向设置在第二布气管内，使得第二布气管形成两腔体，隔片的两端与第二布气管有一定缝隙，第一布气管安装在第二布气管内背向真空镀膜靶面的腔体内。本实用新型通过二次布气，达到了布气的均匀性，在使用过程中，通过对镀膜均匀性的检测，取得了良好的效果。
文档编号C23C14/22GK202913049SQ20122009640
公开日2013年5月1日 申请日期2012年3月14日 优先权日2012年3月14日
发明者朱殿荣, 曹俊 申请人:无锡康力电子有限公司