专利名称：一种杜美丝微波加热氧化炉的制作方法
技术领域：
一种杜美丝微波加热氧化炉技术领域[0001]本实用新型涉及一种杜美丝制造系统，具体说是一种利用微波加热氧化、烧结使铁镍合金镀铜层杜美丝快速生成Cu2O层面的杜美丝微波加热氧化炉。
背景技术：
[0002]普通红色、黄色、无硼杜美丝，在生成Cu2O过程时都是在H2或液化石油气环境场合中采用普通工频电炉加热至800-1380°C度。这一慢加热的时间过程，极易影响成品杜美丝的气密性和保存条件以及表面色差。此后再经涂硼后烧结成保护Cu2O层面，对半导体器件用杜美丝还存在钠离子沾污，从而形成杜美丝产品供于光、电源市场。[0003]现有专利号为00112365. 3公开的一种黄色杜美丝的制备方法及装置，采用裸丝还原气氛下加热；复硼；加热氧化；快速冷却制备，其铁镍合金芯金属镀铜层慢速温度氧化，里层生成Cu2O,最外层则生成CuO。红色Cu2O能熔于玻璃，而黑色CuO不能熔于玻璃，生产杜美丝的过程中不能全部形成高纯度、纳米级的Cu2O层，则在与钼组玻璃熔封过程中，残留在丝表面的少量CuO就不能熔于玻璃中，而熔封时CuO在高温下就会按下列方式[0004]高温4Cu0 — 2Cu20+02 t[0005]转变成红色的Cu2O并释放出O2造成熔封在钼组玻璃中的杜美丝周围产生汽泡，从而影响气密性；另外，在 送裸丝加热、还原时，如送丝出现故障或意外断丝时，易形成空载加热，造成能源浪费，使用性能不稳定。发明内容[0006]本实用新型的内容是针对现有慢加热技术生成Cu2O中存在的问题，提供了一种结构简单、性能可靠、操作方便，能源利用率高，使用成本低，外层无CuO生成的杜美丝微波加热氧化炉，应用于杜美丝生产线中使铁镍合金覆(镀)铜层快速生成高纯度、纳米级CU2O粒子。[0007]为了解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是一种杜美丝微波加热氧化炉，其特征在于所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器，氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内，氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内，氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内，裸丝穿过氧化陶咨管PU目O[0008]进一步地，所述微波氧化炉内设有对应氧化陶瓷管内送丝的氧化红外温度测量测控仪。[0009]再进一步地，所述微波氧化炉内设有带数字气体流量控制阀的保护气送气管。[0010]裸丝向微波氧化炉送丝，穿过氧化陶瓷管，数字气体流量控制阀打开对氧化金属内胆腔送氢气或石油天然气保护，氧化微波发生器对氧化陶瓷管内裸丝在还原气氛下加热。采用以上技术方案，本实用新型的有益效果是采用微波发生器对铁镍合金覆铜层裸丝加热，氧化、烧结，被加热裸丝温度升高均匀且迅速，有利于晶核同时生成，粒子之间的毛细作用有利于小粒子按照一定的排列方式彼此组装成一定的形状，同时水分子在电磁场下不断转向，起到微搅拌作用，有利于均匀粒子的生成，提高加热，氧化、烧结速度，便于后续工序中烧结速度提闻，闻纯度、纳米级Cu2O快速生成使铜的最外层不广生CuO,从而提闻了杜美丝产品的内在质量以及后续钼玻璃熔封的气密性，杜美丝产品无表面色差，将原工艺普通杜美丝80-90%的成品率提高至99. 8%以上，且微波快速加热新方法比传统工频电炉加热方法减少热能损耗85%以上，改善了杜美丝生产线的工作环境，节约了能源，生产出的杜美丝无需特定的保存环境，降低了生产运营成本；氧化红外温度测量测控仪探测裸丝加热温度，从而控制微波氧化炉的微波发生器的工作效率，满足氧化要求的实时调整；由氧化红外温度测量测控仪探测氧化、烧结温度决定最终裸丝收丝速度快慢，在保证送入收丝的裸丝不缩线的情况下，同时调整送丝速度，满足实时送丝速度的调整。本实用新型通过微波发生器对杜美丝材料进行 快速加热氧化，确保无CuO、高纯度、纳米级CU2O的快速生成，实现全程数字化控制，具有结构简单、性能可靠、操作方便，能源利用率高，使用成本低等优点，能有效确保杜美丝材料外层无CuO生成，在后续钼玻璃熔封时无色差、无气泡，质量性能高。
图1为本实用新型使用结构示意图；图2为本实用新型压丝装置结构示意图。图中送丝电源I，送丝控制器2，送丝盘3，裸丝4，氧化过丝轮5，微波氧化炉6，氧化炉金属内胆腔7，氧化陶瓷管8，氧化微波发生器9，氧化红外温度测量测控仪10，保护气送气管11，数字气体流量控制阀12，烧结过丝轮13，微波烧结炉14，烧结炉金属内胆腔15，烧结陶瓷管16，烧结微波发生器17，烧结红外温度测量测控仪18，过丝装置19，压丝轮20，导向轮21、22，活塞23，缸套24，弹簧25，接近开关26，收丝过丝轮27，定速轮28，收丝盘29，控制系统30。
具体实施方式
以下结合附图来进一步说明本实用新型的具体实施方式
。图1、2所示，一种杜美丝微波加热氧化炉包括微波氧化炉6、氧化炉金属内胆腔7、氧化陶瓷管8、氧化微波发生器9、氧化红外温度测量测控仪10、保护气送气管11和数字气体流量控制阀12。该氧化炉使用时，接入杜美丝生产系统中，由送丝电源I经送丝控制器2控制连接一只以上的送丝盘3，一只以上的送丝盘3将裸丝4经氧化送丝轮5送至微波氧化炉6内，氧化炉金属内胆腔7设置于微波氧化炉6外壳内，氧化陶瓷管8穿接于氧化炉金属内胆腔7内，氧化微波发生器9对应氧化陶瓷管8设置于氧化炉金属内胆腔7内，裸丝4穿过氧化陶瓷管8经烧结过丝轮13连接至微波烧结炉14，烧结炉金属内胆腔15设置于微波烧结炉14外壳内，烧结陶瓷管16穿接于烧结炉金属内胆腔15内，烧结微波发生器17对应烧结陶瓷管16设置于烧结炉金属内胆腔15内，裸丝4穿过烧结陶瓷管16连接至过丝装置19 ;过丝装置19包括一压丝轮20、两导向轮21、22、活塞23、缸套24、弹簧25和接近开关26，裸丝4依次经一导向轮21、压丝轮20和另一导向轮22连接收丝过丝轮27，压丝轮20铰接于活塞23上，送丝经压丝轮两侧的导向轮压合在压丝轮上使活塞23经弹簧25在缸套24内呈上下活动状态，弹簧25上下活动使弹簧底端的接近开关呈接通启动或断开关闭烧结、氧化微波发生器状态；裸丝4经收丝过丝轮27、定速轮28由收丝盘29收丝，收丝盘连接收丝电机，定速轮连接定速电机；微波氧化炉6内设有对应氧化陶瓷管8内送丝的氧化红外温度测量测控仪10，氧化红外温度测量测控仪10连接氧化微波发生器9 ;微波氧化炉6内设有带数字气体流量控制阀12的保护气送气管11 ;微波烧结炉14内设有对应烧结陶瓷管16内送丝的烧结红外温度测量测控仪18，烧结红外温度测量测控仪18连接烧结微波发生器17。裸丝由送丝电源经送丝控制装置控制送丝盘向微波氧化炉送丝，裸丝穿过氧化陶瓷管，数字气体流量控制阀打开对氧化金属内胆腔送氢气或石油天然气保护，氧化微波发生器对氧化陶瓷管内裸丝在还原气氛下加热；还原气氛下加热后的裸丝送入微波烧结炉，在微波烧结炉穿过烧结陶瓷管，烧结微波发生器对烧结陶瓷管内裸丝进行氧化烧结；氧化烧结后的裸丝依次由压丝轮、定速轮送至收丝轮收丝。以上实施例仅用以说明本实用新型而并非限制本实用新型所描述的技术方案，送丝盘可设置多个同步送丝，氧化陶瓷管和烧结陶瓷管可设置多组配合多个送丝盘进行氧化、烧结，最终由多个收丝盘分别收丝，便于提高工作效率，且在各电器件的控制上可使用独立电源开关、键盘等，或使用控制系统30，由接近开关、红外温度测量测控仪对其输送测试信号后综合计算、控制送丝盘、氧化微波发生器、烧结微波发生器、定速轮和收丝盘；因此，尽管本说明书参照上述的各个实施例对本实用新型已进行了详细的说明，但是，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本实用新型进行修改或等同替换；而一切不脱离本实用新型的精神和范围的技术方案及其改进，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围中。
权利要求1.一种杜美丝微波加热氧化炉，其特征在于所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器，氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内，氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内，氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内，裸丝穿过氧化陶瓷管。
2.根据权利要求1所述的一种杜美丝微波加热氧化炉，其特征在于所述微波氧化炉内设有对应氧化陶瓷管内送丝的氧化红外温度测量测控仪。
3.根据权利要求1或2所述的一种杜美丝微波加热氧化炉，其特征在于所述微波氧化炉内设有带数字气体流量控制阀的保护气送气管。
专利摘要本实用新型公开了一种杜美丝微波加热氧化炉，所述微波氧化炉包括氧化炉外壳、氧化炉金属内胆腔、氧化陶瓷管和氧化微波发生器，氧化炉金属内胆腔设置于氧化炉外壳内，氧化陶瓷管穿接于氧化炉金属内胆腔内，氧化微波发生器对应氧化陶瓷管设置于氧化炉金属内胆腔内，裸丝穿过氧化陶瓷管。通过微波发生器对杜美丝材料进行快速加热氧化，确保无CuO、高纯度、纳米级Cu2O的快速生成，实现全程数字化控制，具有结构简单、性能可靠、操作方便，能源利用率高，使用成本低等优点，能有效确保杜美丝材料外层无CuO生成，在后续铂玻璃熔封时无色差、无气泡，质量性能高。
文档编号C23C8/10GK202830151SQ20122038919
公开日2013年3月27日 申请日期2012年8月8日 优先权日2012年8月8日
发明者樊伟, 常建艮, 陆余圣 申请人:樊伟