专利名称：阴极波纹管接口的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及溅射镀膜设备阴极与溅射室之间的连接接口，特别是一种阴极波
纹管接口。
背景技术：
在溅射镀膜设备中，阴极是一个必不可少的关键部件。阴极被装在溅射室内，溅射室内是真空环境。这样的条件下，要求阴极与溅射室之间的连接必须有可靠的密封。阴极上有一根电缆和两根水管需要引到溅射室外，阴极与溅射室的连接接口，就是用于将电缆和水管引出到溅射室外，同时要保证连接的密封性。另外，由于阴极的安装位置并是很精确，同时，在系统抽真空时及溅射时会产生高温，从而导致在工作过程中阴极的位置会有小幅变动，如果阴极与溅射室之间的连接柔性太差，将导致连接件的损坏，也会导致密封不可靠(特别是对于大型的阴极而言，影响更为严重)，从而使此处的连接成为薄弱环节。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种阴极波纹管接口，它主要解决上述现有技术中所存在的技术问题，该结构以柔性连接的方式，满足了溅射镀膜设备中阴极(特别是大型阴极)与溅射室之间的连接要求，保证了该连接的密封可靠性。为实现上述目的，本实用新型是这样实现的。一种阴极波纹管接口，其特征在于:它设有波纹管，该波纹管一端通过后法兰和后密封圈连接在阴极上，该波纹管的另一端则通过前法兰和前密封圈连接到溅射室端板上；该波纹管内穿过电缆和冷却水管。本实用新型的技术效果是:1、本实用新型采用不锈钢波纹管结构，实现柔性连接，避免连接件的损坏。2、本实用新型波纹管两端用法兰及密封圈连接及密封，实现密封的可靠性。
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
请参阅图1，本实用新型公开了一种阴极波纹管接口。如图所示:它设有波纹管2，该波纹管2 —端通过后法兰31和后密封圈41连接在阴极I上，该波纹管2的另一端则通过前法兰32和前密封圈42连接到溅射室端板上；该波纹管2内穿过电缆和冷却水管。本实用新型的工作原理是:波纹管的一端通过法兰和密封圈连接在阴极上，另一端通过法兰和密封圈连接在溅射室端板上，波纹管中间用于引出电缆和冷却水管，从而实现阴极与溅射室之间的可靠连接。波纹管起到柔性连接的作用，避免外力对密封的破坏。[0013]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用来限定本实用新型的实施范围。即凡依本实用新型申请专利范围的内容所作的等效变化与修饰，都应为本实用新型的技术范畴。
权利要求1.一种阴极波纹管接口，其特征在于:它设有波纹管(2)，该波纹管(2)—端通过后法兰(31)和后密封圈(41)连接在阴极(I)上，该波纹管(2)的另一端则通过前法兰(32)和前密封圈(42)连接到溅射室端板上；该波纹管(2)内穿过电缆和冷却水管。
专利摘要本实用新型涉及溅射镀膜设备阴极与溅射室之间的连接接口，特别是一种阴极波纹管接口。它设有波纹管，该波纹管一端通过后法兰和后密封圈连接在阴极上，该波纹管的另一端则通过前法兰和前密封圈连接到溅射室端板上；该波纹管内穿过电缆和冷却水管。该结构以柔性连接的方式，满足了溅射镀膜设备中阴极(特别是大型阴极)与溅射室之间的连接要求，保证了该连接的密封可靠性。
文档编号C23C14/34GK203007394SQ20122063438
公开日2013年6月19日 申请日期2012年11月27日 优先权日2012年11月27日
发明者李银生 申请人:上海米开罗那机电技术有限公司, 北京米开罗那机电技术有限责任公司