专利名称：一种水平式薄膜沉积冷却板装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光伏玻璃工艺设备领域，具体涉及一种水平式薄膜沉积冷却板装置。
背景技术：
目前，于水平式光伏玻璃薄膜沉积设备中，光伏玻璃必需被加热，具体的表面温度约达200度左右，于制程结束后，传送出腔体外以进行下一道工艺前的光伏玻璃表面温度就显得格外重要。以往设备上的克服方式为直接以深孔钻贯穿两侧形成水道的冷却板设置于腔室内进行光伏玻璃的表面温度的降温，但这种设置成本高，加工不易，花费时间也较长。
实用新型内容综上所述，为了克服以上的不足，本实用新型的主要目的在于提供一种水平式薄膜沉积冷却板装置，它利用冷却板内部设置的冷却铜管凹槽用以包覆冷却铜管，同时冷却铜管内通入一定温度的冷却介质，使冷却板表面均匀地达到一定温度，再通过冷却板与光伏玻璃表面接触，使其进行温度传导，有效地降低光伏玻璃薄膜沉积时的表面温度，减少成本，不需维修，冷却效果优良的装置。本实用新型的目的通过以下技术方案实现:一种水平式薄膜沉积冷却板装置，包括上下两片冷却板装置，内部设有5mm深度的冷却板凹槽，用以放置冷却铜管，冷却铜管直径IOmm,上下冷却板以M6螺丝锁固。本实用新型进一步改进在于。1.所述的冷却板为不锈钢304材质，厚度10mm，表面抛光处理。2.所述的冷却板以M6螺丝锁固，拆卸方便。3.所述的冷却铜管为一般纯铜。本实用新型与现有技术相比具有的优点:冷却板为不锈钢304材质，加工容易，降低成本，采用冷却铜管方式，能够防止冷却水泄漏，更换容易，维修方便。
图1系为本实用新型结构示意图。图2系为冷却板结构示意图。图3系为冷却铜管示意图。主要组件符号说明。1...上冷却板。2...下冷却板。3...冷却铜管。21...冷却板凹槽。[0019]31...冷却铜管。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步说明: 请参阅图1所示，一种水平式薄膜沉积冷却板装置，其包括上冷却板I及下冷却板2组成，上下冷却板上设有M6螺丝孔位4，中间包覆冷却铜管3。请参阅图2所示，一种水平式薄膜沉积冷却板装置，冷却板1，2表面设有5mm深冷却板凹槽21，用以包覆冷却铜管。请参阅图3所示，一种水平式薄膜沉积冷却板装置，冷却铜管31，可通入冷却介质，使温度能直接传导到上下冷却板1，2上。藉由通入一定温度的冷却介质于冷却铜管3内，使冷却铜管3到达与冷却介质相同的温度，再经由接触传递的方式，使的冷却板1，2表面均匀地达到一定的冷却温度以上所述实例是对本实用新型技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本实用新型技术方案的思路和范围，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。
权利要求1.一种水平式薄膜沉积冷却板装置，其包括上下两片冷却板装置、冷却板凹槽，冷却铜管。
2.根据权利要求1所述之一种水平式薄膜沉积冷却板装置，其特征在于，所述的冷却板材质为不锈钢304，厚度IOmm及表面抛光处理。
3.根据权利要求1所述之一种水平式薄膜沉积冷却板装置，其特征在于，所述的冷却铜管直径10mm。
4.根据权利要求1所述之一种水平式薄膜沉积冷却板装置，其特征在于，所述之上下冷却板设有冷却板凹槽，使上下冷却板可完全包覆冷却铜管，并设有M6螺丝孔位，用以将上下冷却板锁固在一起。
专利摘要本实用新型的主要目的在于提供一种水平式薄膜沉积冷却板装置，它利用冷却板内部设置的冷却铜管凹槽用以包覆冷却铜管，同时冷却铜管内通入一定温度的冷却介质，使不锈钢板表面均匀地达到一定温度，再通过不锈钢板与光伏玻璃表面接触，使其进行温度传导，有效地降低光伏玻璃薄膜沉积时的表面温度，减少成本，不需维修，冷却效果优良的装置。
文档编号C23C16/56GK203007401SQ201220714838
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月23日 优先权日2012年12月23日
发明者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司