专利名称：一种溅镀靶极自循环冷却装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于一种溅镀靶极自循环冷却装置，具体涉及一种溅镀靶极自循环冷却装置，特别是指一种能散除真空溅镀靶极工作热能，以确保靶极运作正常。
背景技术：
溅镀靶极主要作为溅镀的来源，是以物理气相沉积方式运作，其工作原理既在真空腔室通入高压电源以解离腔室内工作气体，同时以溅镀靶极为阴极，解离后的工作气体中含有正离子及电子，正离子在高压电场的作用下会被加速冲向阴极的靶极，轰击靶极上的溅镀原材料，使材料以原子方式飞溅在对象的光伏玻璃表面上，形成薄膜。是以，此过程会在靶极上产生极高的热能，需要将废热适时的散除，否则靶极会因为温度过高产生极大的副作用，甚至无法工作。而目前作普遍的作法是，在靶极上通入连接整个系统的冷却水回路，众所周知地，此类方式所常面临耗水量大、水压及水温无法独立控制等问题。
实用新型内容综上所述，为了克服现有技术不足，本实用新型的主要目的在于提供一种溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元。该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在1(T15°C，且一用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供已经回流之冷却水。温控阀进水单元未动作时，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极，可独立控制循环至溅镀靶极的水流及水压，当温控阀进水单元动作时，阀门打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，阀门既关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极，藉此，整体溅镀靶极可独立控制温度，热交换效率佳，且达到省水功效。本实用新型之功效在于，利用该循环系统单元、该冷却水进水系统单元与该温控阀进水单元等相配合，达到热能交换，水压及水温控制等功效。
图1系为本实用新型一种溅镀靶极自循环冷却装置示意图。主要组件符号说明。1...循环汞浦。2...溅镀靶极。3...自循环进水管。4...自循环出水管。5...温控单元。6...自循环出水管温度传感器。7...自循环进水管温度传感器。[0014]8...冷却水进水阀。9...自循环旁路管路。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步说明。请参阅图1所示，一种溅镀靶极自循环冷却装置，是属于密闭式循环系统，其包括循环汞浦1、溅镀靶极2、自循环进水管3、自循环出水管4、温控单元5、自循环出水管温度传感器6、自循环进水管温度传感器7、冷却水进水阀8及自循环旁路管路9所组成，该冰水进水单元为厂务端进水系统，保持在1(T15°C ;用以将冷却水输出至循环系统，具体作用是，循环汞浦I将循环水从自循环进水管3将寻环水输入至溅镀靶极2，在从自循环出水管路4回至循环汞浦I，如此不断循环以将溅镀靶极2的工作热能散除，同时设有旁路管9以消除多馀水压却保管内压力保一稳定。该温控阀进水单元5是用以侦测管内水温，当自循环出水管温度传感器6读值未超过设定值时，整个系统处于密闭式循环，当自循环出水管温度传感器6温度超过设定值时，温控阀进水单元5动作，同时打开外部冷却水进水阀8，此举，将外部冷却冰水引入密闭式循环中，以快速冷却循环系统中来自溅镀靶极2的热能，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极2，可独立控制循环至溅镀靶极2的水流及水压，当温控阀进水单元5动作时，冷却水进水阀门8打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，冷却水进水阀门9关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极本实用新型之功效在于，利用该循环系统单元、该冷却水进水系统单元与该温控阀进水单元等相配合，达到热能交换，水压及水温控制等功效。以上所述实例是对本实用新型技术方案的说明而非限制，所属技术领域普通技术人员的等同替换或者根据现有技术而做的修改，只要未超出本实用新型技术方案的思路和范围，均应包含在本实用新型的权利要求范围之内。
权利要求1.一种溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元，该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在1(T15°C，且一用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供已经回流之冷却水。
2.根据权利要求1所述之一种溅镀靶极自循环冷却装置，其特征在于，温控阀进水单元于进水口及出水口设置温度传感器。
3.根据权利要求1所述之一种溅镀靶极自循环冷却装置，其特征在于，该循环系统单元包括一循环汞浦。
专利摘要本实用新型系提供一种溅镀靶极自循环冷却装置，包含一循环系统单元、一连接该循环系统单元且包括一冰水进水单元、及一设置于冰水进水单元及循环系统单元的温控阀进水系统单元。该冰水进水单元为厂务端进水系统，水温保持在10~15℃，用以将冷却水输出往循环系统、一旁路连接管路及一供给经回流之冷却水。温控阀进水单元未动作时，循环系统以自循环方式循环管内的冷却水至溅镀靶极，可独立控制循环至溅镀靶极的水流及水压，当温控阀进水单元动作时，阀门打开，冷却水进水单元的冷却水进入循环系统单元快速冷却靶极温度，待温度下降后，阀门既关闭，循环系统回到先前状态，循环管内冷却水至靶极，藉此，整体溅镀靶极可独立控制温度，热交换效率佳，且达到省水功效。
文档编号C23C14/34GK203007395SQ20122071483
公开日2013年6月19日 申请日期2012年12月23日 优先权日2012年12月23日
发明者周文彬, 刘幼海, 刘吉人 申请人:吉富新能源科技(上海)有限公司