用激光器制备α_SiO膜的激光光致化学气相反应装置制造方法
【专利摘要】本发明公开了一种用激光器制备α_SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于：包括有反应炉，在所述的反应炉内设有石英管，在所述石英管一端上设有能让激光束透过的窗口，在所述石英管设有窗口一端上设有第一进气口和第二进气口，在所述石英管另一端上设有真空泵连接管，在所述石英管内设有基片架。本发明的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，生产成本低，用激光器制备α_SiO膜的激光光致化学气相反应装置。
【专利说明】用激光器制备a_SiO膜的激光光致化学气相反应装置
【技术领域】[0001]本发明涉及一种用激光器制备a _SiO膜的激光光致化学气相反应装置。
【背景技术】
[0002]现有的用激光器制备a _SiO膜的激光光致化学气相反应装置其结构相对比较复杂，生产成本高。故有必要提供一种结构简单，投入成本低的用激光器制备a_SiO膜的激光光致化学气相反应装置，以满足需求。
【发明内容】
[0003]本发明的目的是为了克服现有技术中的不足之处，提供一种结构简单，生产成本低，用激光器制备a _SiO膜的激光光致化学气相反应装置。
[0004]为了达到上述目的，本发明采用以下方案:
[0005]一种用激光器制备a _SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于:包括有反应炉，在所述的反应炉内设有石英管，在所述石英管一端上设有能让激光束透过的窗口，在所述石英管设有窗口一端上设有第一进气口和第二进气口，在所述石英管另一端上设有真空泵连接管，在所述石英管内设有基片架。
[0006]如上所述的用激光器制备a _SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于所述基片架平衡与所述石英管轴向方向设置，所述基片架与石英管内壁的最短距离为5-10mmo
[0007]如上所述的用激光器制备a _SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于在所述反应炉上设有加热机构。
[0008]如上所述的用激光器制备a _SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于所述的加热机构为缠绕在反应炉外壁上的加热丝。
[0009]综上所述，本发明相对于现有技术其有益效果是:
[0010]本发明产品结构简单，生产成本相对较低。
【具体实施方式】
[0011]下面结合【具体实施方式】对本发明作进一步描述:
[0012]本发明一种用激光器制备a _SiO膜的激光光致化学气相反应装置，包括有反应炉，在所述的反应炉内设有石英管，在所述石英管一端上设有能让激光束透过的窗口，在所述石英管设有窗口的一端上设有第一进气口和第二进气口，在所述石英管另一端上设有真空泵连接管，在所述石英管内设有基片架。
[0013]本发明中所述基片架平衡与所述石英管轴向方向设置，所述基片架与石英管内壁的最短距离为5-10mm。其中在所述反应炉上设有加热机构。所述的加热机构可为缠绕在反应炉外壁上的加热丝。所述的加热机构还可以为其它加热方式。
[0014]本装置使用ArF激光器在低压下、热壁反应炉中，将NH3和硅烷光致分解得到SiN。[0015]激光束沿石英管水平方向射入并通过位于基片上方5-10mm处。石英管连续抽真空并用He连续净化以防止汞油倒流，当激光进入石英管中沉积便开始进行。NH3和硅烷比为5:1，总气压为33Pa，沉积温度为225~625°C。通过改变NH3/SiH4比、沉积温度或气体，可以SiN的组分。
[0016]以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征以及本发明的优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种用激光器制备a_SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于:包括有反应炉，在所述的反应炉内设有石英管，在所述石英管一端上设有能让激光束透过的窗口，在所述石英管设有窗口的一端上设有第一进气口和第二进气口，在所述石英管另一端上设有真空泵连接管，在所述石英管内设有基片架。
2.根据权利要求1所述的用激光器制备a_SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于所述基片架平衡与所述石英管轴向方向设置，所述基片架与石英管内壁的最短距离为 5~1Omnin
3.根据权利要求1所述的用激光器制备a_SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于在所述反应炉上设有加热机构。
4.根据权利要求1所述的用激光器制备a_SiO膜的激光光致化学气相反应装置，其特征在于所述的加热机构为缠绕在反应炉外壁上的加热丝。
【文档编号】C23C16/48GK103834933SQ201310567234
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年11月14日 优先权日:2013年11月14日
【发明者】秦文锋, 李学军, 杨文志 申请人:中山市创科科研技术服务有限公司