一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法与流程

本发明涉及一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，属于蓝宝石窗口片双面研磨以及双面抛光加工技术领域。

背景技术：

蓝宝石（Sapphire）晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能，广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、窗口材料，因为其具有良好的抗辐射性能，常被用于航空航天中暴露在辐射环境中的光学元件材料以及智能手机显示屏、Home键、摄像头保护盖等消费电子产品领域；然而现有技术中的双面研磨以及双面抛光只能加工2英寸～6英寸且厚度≥0.30mm蓝宝石双面抛光窗口片，对于低厚度大尺寸蓝宝石双面抛光窗口片，存在抛光一次成品合格率低，研磨过程中易破片等缺陷。

技术实现要素：

本发明的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，具有操作方便，一次成品合格率高，研磨过程中无破片等特点，适用于加工直径4英寸、6英寸厚度0.20～0.25mm的蓝宝石双面抛光窗口片。

本发明是通过如下的技术方案予以实现的：

一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其方法如下：

（1）将蓝宝石晶棒用金刚线多线切片机切割成厚度为0.42±0.03mm的蓝宝石窗口片；

（2）将切割后的蓝宝石窗口片进行倒圆角处理保护边缘，倒圆角尺寸R=0.20±0.05mm；

（3）将倒圆角处理后的蓝宝石窗口片进行退火加工，在退火温度1450°C保温6h；

（4）将退火加工后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的粗磨加工，研磨移除量为0.12mm～0.15mm；

（5）将粗磨后的蓝宝石窗口片进行二次退火，在退火温度1600°C保温12h；

（6）将二次退火后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的精磨加工，研磨移除量为0.05mm～0.07mm；

（7）将精磨后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用超声波清洗15min；

（8）将超声波清洗后的蓝宝石窗口片放入双面抛光机内，用二氧化硅蓝宝石抛光液，在0.10～0.15 kg/cm²压力下抛光2.5h；

（9）将抛光后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用超声波清洗30min，得到蓝宝石双面抛光窗口片。

上述一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其中，步骤（4）中采用研磨碳化硼粒径度号为W40。

上述一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其中，步骤（5）中采用研磨碳化硼粒径度号为W5。

上述一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其中，步骤（7）和步骤（9）中超声波强度为50W/cm²。

上述一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其中，所述宝石双面抛光窗口片的厚度为0.20～0.25mm。

本发明的有益效果为：

本发明克服了现有双面研磨以及双面抛光只能加工2英寸～6英寸且厚度≥0.30mm蓝宝石双面抛光窗口片的缺点，可供直径4英寸、6英寸、厚度为0.20～0.25mm的蓝宝石双面抛光窗口片加工，同时本发明具有操作方便，一次成品合格率高，研磨过程中无破片等特点，成品的各项参数如平整度TTV、表面总平整度LTV、弯曲度Warp、翘曲度Bow可以达到如下水平：TTV < 2 um，LTV < 1 um，Warp < 20 um，Bow < 8 um。

附图说明

图1为本发明步骤（3）退火温度曲线图。

图2为本发明步骤（5）二次退火温度曲线图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明的具体实施方式作进一步说明。

实施例1

一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其方法如下：

（1）将蓝宝石晶棒用金刚线多线切片机切割成厚度为0.42mm的蓝宝石窗口片；

（2）将切割后的蓝宝石窗口片进行倒圆角处理保护边缘，倒圆角尺寸R=0.20mm；

（3）将倒圆角处理后的蓝宝石窗口片进行退火加工，按图1退火曲线先升温至退火温度1450℃后保温6h，先按80℃/h的降温速率降温至1130℃，再按100℃/h的降温速率降温至630℃，随后按120℃/h的降温速率降温至270℃,最后自然冷却至室温即可；

（4）将退火加工后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的粗磨加工，研磨碳化硼粒径度号为W40，研磨移除量为0.12mm；

（5）将粗磨后的蓝宝石窗口片进行二次退火，按图2退火曲线先升温至退火温度1600℃保温12h，先按80℃/h的降温速率降温至1120℃，再按100℃/h的降温速率降温至620℃，随后按120℃/h的降温速率降温至260℃,最后自然冷却至室温即可；

（6）将二次退火后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的精磨加工，研磨碳化硼径度号为W5，研磨移除量为0.05mm；

（7）将精磨后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用强度为50W/cm²的超声波清洗15min；

（8）将超声波清洗后的蓝宝石窗口片放入双面抛光机内，将二氧化硅蓝宝石抛光液与RO纯水按体积比1:1加入双面抛光机内，在0.12kg/cm²压力下抛光2.5h；

（9）将抛光后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用强度为50W/cm²的超声波清洗30min，得到厚度为0.23mm蓝宝石双面抛光窗口片。

实施例2

一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其方法如下：

（1）将蓝宝石晶棒用金刚线多线切片机切割成厚度为0.45mm的蓝宝石窗口片；

（2）将切割后的蓝宝石窗口片进行倒圆角处理保护边缘，倒圆角尺寸R=0.23mm；

（3）将倒圆角处理后的蓝宝石窗口片进行退火加工，按图1退火曲线先升温至退火温度1450℃后保温6h，先按80℃/h的降温速率降温至1130℃，再按100℃/h的降温速率降温至630℃，随后按120℃/h的降温速率降温至270℃,最后自然冷却至室温即可；

（4）将退火加工后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的粗磨加工，研磨碳化硼粒径度号为W40，研磨移除量为0.14mm；

（5）将粗磨后的蓝宝石窗口片进行二次退火，按图2退火曲线先升温至退火温度1600℃保温12h，先按80℃/h的降温速率降温至1120℃，再按100℃/h的降温速率降温至620℃，随后按120℃/h的降温速率降温至260℃,最后自然冷却至室温即可；

（6）将二次退火后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的精磨加工，研磨碳化硼径度号为W5，研磨移除量为0.06mm；

（7）将精磨后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用强度为50W/cm²的超声波清洗15min；

（8）将超声波清洗后的蓝宝石窗口片放入双面抛光机内，将二氧化硅蓝宝石抛光液与RO纯水按体积比1:1加入双面抛光机内，在0.15 kg/cm²压力下抛光2.5h；

（9）将抛光后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用强度为50W/cm²的超声波清洗30min，得到厚度为0.24mm蓝宝石双面抛光窗口片。

实施例3

一种大尺寸蓝宝石超薄双面抛光窗口片加工方法，其方法如下：

（1）将蓝宝石晶棒用金刚线多线切片机切割成厚度为0.40mm的蓝宝石窗口片；

（2）将切割后的蓝宝石窗口片进行倒圆角处理保护边缘，倒圆角尺寸R=0.18mm；

（3）将倒圆角处理后的蓝宝石窗口片进行退火加工，按图1退火曲线先升温至退火温度1450℃后保温6h，先按80℃/h的降温速率降温至1130℃，再按100℃/h的降温速率降温至630℃，随后按120℃/h的降温速率降温至270℃,最后自然冷却至室温即可；

（4）将退火加工后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的粗磨加工，研磨碳化硼粒径度号为W40，研磨移除量（厚度）为0.13mm；

（5）将粗磨后的蓝宝石窗口片进行二次退火，按图2退火曲线先升温至退火温度1600℃保温12h，先按80℃/h的降温速率降温至1120℃，再按100℃/h的降温速率降温至620℃，随后按120℃/h的降温速率降温至260℃,最后自然冷却至室温即可；

（6）将二次退火后的蓝宝石窗口片进行双面研磨的精磨加工，研磨碳化硼径度号为W5，研磨移除量为0.07mm；

（7）将精磨后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用强度为50W/cm²的超声波清洗15min；

（8）将超声波清洗后的蓝宝石窗口片放入双面抛光机内，将二氧化硅蓝宝石抛光液与RO纯水按体积比1:1加入双面抛光机内，在0.15 kg/cm²压力下抛光2.5h；

（9）将抛光后的蓝宝石窗口片放入RO纯水内，用强度为50W/cm²的超声波清洗30min，得到厚度为0.21mm蓝宝石双面抛光窗口片。

本发明具有操作方便，一次成品合格率高，研磨过程中无破片等特点，成品的各项参数如平整度TTV、表面总平整度LTV、弯曲度Warp、翘曲度Bow可以达到如下水平：TTV < 2 um，LTV < 1 um，Warp < 20 um，Bow < 8 um。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。