技术总结
光学辅助镀膜离子源的栅网板通常做成凸曲面形状，以获得在一定空间角中扩散形的离子束流。本发明提出一种双曲线回转面的凸曲面形状栅网板设计，从栅网板凸曲面的横截面上看，凸曲线是一种双曲线，由中部的弧线段和两侧的近似渐近线段组成，通过对双曲线特性参数的调整，可适用于对不同栅网板口径、不同离子束流空间角的设计，用这种双曲线回转面栅网板制作的离子源离子束流截面能量分布均衡。
技术研发人员：刘杰;刘康
受保护的技术使用者：上海伟钊光学科技股份有限公司
文档号码：201710211184
技术研发日：2017.03.31
技术公布日：2017.06.13