技术特征：
技术总结
本发明涉及金刚石膜制备技术领域，具体涉及一种化学气相沉积镀制金刚石膜的方法，包括如下步骤：辅助步骤，所述辅助步骤包括：第一步，打开辅助腔体(5)的电动阀门(6)；第二步，工控系统控制喷枪(9)向试样(3)方向移动，并使喷枪(9)的出口对准试样(3)的异质颗粒物，挡板(32)将电极(2)遮挡；第三步，工控系统打开流量控制阀(24)，使气瓶(26)中储存的惰性气体通过喷枪(9)的出口将异质颗粒物吹离衬底试样(3)表面。该方法在镀制金刚石膜的过程中，当观察到衬底试样表面出现异质颗粒物时，可以及时将异质颗粒物从衬底试样表面清除。
技术研发人员：鲍明东;徐雪波;吕志甲;杨梦梦;冯超;丁兰;何骅波
受保护的技术使用者：宁波工程学院
技术研发日：2017.05.05
技术公布日：2017.10.20