1.立式低温蒸发束源炉，它主要由用于盛放蒸发材料的坩埚和用于导引蒸发材料并垂直安装在坩埚上面与坩埚内部相通的喷管组成，其特征在于所述的坩埚底部设置有用于给坩埚加热的坩埚加热器，所述的喷管上、从上到下分别设置有3-50个用于调节喷管不同位置蒸发量的喷口；所述的坩埚内部或侧壁上设置有用于测量坩埚温度的坩埚热电偶。
2.根据权利要求1所述的立式低温蒸发束源炉，其特征在于所述的喷管上端部加料口上配制有密封盖；所述喷管内配置有用于喷管加热的喷管加热器，并在喷管内部还安装有用于喷管内温度测量的喷管热电偶，在所述喷管的喷口上配置有用于控制蒸发范围和使喷口处于同一直线的喷座；所述坩埚的外围还配置有用于屏蔽外部环境干扰坩埚内部温度的水冷屏蔽装置；所述的坩埚加热器和喷管加热器均为盘管加热器。
3.根据权利要求2所述的立式低温蒸发束源炉，其特征在于所述喷管与坩埚通过无缝焊连；所述喷管上安装的喷口为圆孔，孔径为非均匀分布；所述喷管加热器至少有两个并分别安装在喷管的上下两端，喷管加热器的安装位置在喷管侧面均匀或对称分布，并与喷管紧密接触；所述坩埚加热器的安装位置在坩埚侧面均匀或对称分布，并与坩埚紧密接触；所述的水冷屏蔽装置采用水箱式样或水管盘状结构包围在坩埚的周围。
4.根据权利要求3所述的立式低温蒸发束源炉，其特征在于所述喷管加热器和坩埚加热器均选用铠装加热器或棒状陶瓷加热器或柔性加热丝构成的盘管加热器；其中所述棒状加热器采用内串联法进行连接和电极引出。