气体控制系统以及具备该气体控制系统的成膜装置的制作方法

本发明涉及气体控制系统以及具备该气体控制系统的成膜装置。

背景技术：

作为对在半导体制造工艺的成膜处理中所使用的材料气体进行输送的气体控制系统，有如专利文献1所公开的气体控制系统：向收容有材料的槽罐中导入载气，将该材料气化后的材料气体与所述载气一起作为混合气体而从所述槽罐导出，对从所述槽罐导出的材料气体的吸光度进行测定，对该测定吸光度与预先确定的目标吸光度进行比较，对导入所述槽罐的载气的流量进行调节，以控制材料气体的供给量。

此外，近年来，作为成膜处理中所使用的材料，使用气化速度比以往的材料慢、且气化时获得的材料气体的量非常少的低蒸气压的材料，但在利用所述以往的气体控制系统来对使这种低蒸气压材料气化而生成的材料气体进行输送时，存在如下的问题。

在说明所述问题时，首先，将在所述以往的气体控制系统，即，仅利用载气来输送材料气体的气体控制系统中，使载气的流量增加的情况下的混合气体中的材料气体的流量变化示于图5的图表。根据该图表可知，在载气的流量达到极限流量之前，随着载气的流量增加，混合气体中的材料气体的流量也单调增加，但在载气的流量达到极限流量之后，随着载气的流量增加，混合气体中的材料气体的流量单调减少。产生该现象的主要因素是：在槽罐中经气化的材料的气化速度跟不上通过槽罐的载气的流量。

另外，所述现象在成膜处理所使用的任何材料中都有可能引起，但以往的材料在气化时获得的材料气体的量多，即使将载气的流量控制为远少于极限流量的流量，也可充分确保效率良好地实施成膜处理所需的混合气体中的材料气体的流量，因此所述现象并不会成为问题，但对于所述低蒸气压材料而言，在气化时获得的材料气体的量非常少，需要将载气的流量控制在极限流量附近，以尽可能确保效率良好地实施成膜处理所需的混合气体中的材料气体的流量，因此所述现象会成为问题。

即，例如，在所述以往的气体控制系统中，当在载气的流量少于极限流量的状态下，在欲使载气的流量增加以使混合气体中的材料气体的流量增加的情况下，当载气的流量达到极限流量附近时，会发生混合气体中的材料气体的流量的增加量相对于载气流量的增加量而极端下降的第1状况，进而，当载气的流量达到极限流量以上时，会发生尽管使载气的流量增加，但混合气体中的材料气体的流量却减少的第2状况。另一方面，当在载气的流量多于极限流量的状态下，在欲使载气的流量减少以使混合气体中的材料气体的流量减少时，会发生尽管使载气的流量减少，但混合气体中的材料气体的流量却增加的第3状况。

若如所述第1状况至所述第3状况那样，无法利用载气的流量控制而依照规定性能来对材料气体进行流量控制的状况即控制极限状况长时间持续，则混合气体中的材料气体的流量会变得不稳定而对成膜处理造成不良影响。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平4-354131

技术实现要素：

技术问题

因此，本发明的主要课题在于，在调节载气的流量以对混合气体中的材料气体的流量进行控制的气体控制系统中，避免长时间置于所述控制极限状况下。

技术方案

即，本发明的气体控制系统是向收容有材料的槽罐中导入载气，并将所述材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述槽罐导出的气体控制系统，所述气体控制系统的特征在于，包括：流量控制部，通过对导入所述槽罐的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐导出的材料气体的流量进行控制；以及控制极限检测部，检测控制极限状况，并输出该意旨，所述控制极限状况是无法利用所述流量控制部对载气的流量调节，来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。

如图5所示，在载气的流量充分小于极限流量的状态下，当使载气的流量增加的情况下，材料气体的流量会以大致成比例的方式而增加，但所述控制极限状况表示载气的流量与材料气体的流量不处于这种关系的状况，具体而言，表示所述第1状况至所述第3状况。另外，所述控制极限状况会根据材料气体、载气或稀释气体的组成等各种因素而发生变动。

若为这种结构，则当对载气的流量进行调节时，可迅速检测出成为所述控制极限状况的情况，由此，可避免长期置于所述控制极限状况下。

另外，作为用于检测所述控制极限状况的具体结构，还包括：流量关系数据存储部，预先存储有流量关系数据，所述流量关系数据表示导入所述槽罐的载气流量与从所述槽罐导出的材料气体流量的关系，所述控制极限检测部参照所述流量关系数据来检测所述控制极限状况即可，更具体而言，只要所述流量关系数据中所存储的流量关系具有一峰值，所述峰值是从伴随载气的流量增加而材料气体的流量增加的单调增加变化为伴随载气的流量增加而材料气体的流量减少的单调减少的峰值，在被导入所述槽罐的载气流量超过所述峰值的情况下，所述控制极限检测部至少检测为处于所述控制极限状况即可。

所述流量关系数据只要表示导入所述槽罐的载气流量与从该槽罐导出的材料气体流量的关系，则并无限定，例如既可为图5所示的表示载气流量与材料气体流量的关系的映射数据，也可为表示载气流量与材料气体流量的关系的关系式。

若为这种结构，则利用从流量关系数据预先获取成为控制极限状况的载气流量的上限值，从而当因利用流量控制部来调节载气的流量而该载气的流量超过所述上限值时，可立即检测出成为控制极限状况的情况。

另外，作为用于检测所述控制极限状况的另一具体结构，还包括：测定部，测定流量指标值，所述流量指标值是直接或间接表示所述材料气体的流量的值，在尽管所述流量控制部使载气的流量增加，但在其规定期间后，所述流量指标值所表示的材料气体的流量仍未增加至预计以上的情况下，检测为处于所述控制极限状况即可，更具体而言，只要在尽管所述流量控制部使载气的流量增加，但在其规定期间后，所述流量指标值所表示的材料气体的流量却下降的情况下，检测为处于所述控制极限状况即可。另外，作为另一更具体的结构，只要在尽管所述流量控制部使载气的流量增加，但在其规定期间后，流量指标值所表示的材料气体的流量仅增加至比随着载气流量的增加而以大致成比例的方式增加而应获得的值更小的值(例如所述当获得的值的1/2以下、1/3以下或1/4以下等的值)的情况下，检测为处于所述控制极限状况即可。此时，可根据响应性比期望值下降的情况来检测。

若为这种结构，则使载气的流量增加后，参考其规定期间后的材料气体的流量变动，来检测为控制极限状况，因此在适用于反馈控制的情况下，也可准确地检测控制极限状况。即，在反馈控制中，例如，在材料气体的流量下降的状况下，即使为了使该流量上升而使载气的流量增加，材料气体的流量也不一定会立即开始上升，如此，在使载气的流量增加的情况下，有时直至其效果反映至材料气体的流量增加为止需要一定程度的期间，但即使在这种情况下，由于使载气的流量增加后，参考其规定期间后的材料气体的流量变动，因此，通过调节该规定期间的长度，可准确地仅检测成为控制极限状况的情况。

另外，在具备用于检测所述控制极限状况的另一具体结构的气体控制系统中，所述流量控制部也可对由所述测定部所测定的测定流量指标值与预先确定的目标流量指标值进行比较，并对导入所述槽罐的载气的流量进行调节，以使测定流量指标值接近目标流量指标值。在该情况下，作为所述测定部，若采用不使夹着该测定部的上游侧与下游侧之间的混合气体产生压力差的结构，具体而言，若采用不使阀处于中间的结构，则可使混合气体的流量稳定。另外，作为测定部，只要使用利用红外线吸收法的测定器即可。

所述流量指标值既可为直接表示材料气体流量的值即材料气体的流量其自身，另外，也可为间接表示材料气体流量的值即材料气体的分压。另外，间接表示材料气体流量的值并不限定于材料气体的分压，只要是追随于材料气体的流量而变动的值即可。

另外，所述各气体控制系统中，也可将在从所述槽罐导出的材料气体及载气中进一步加入有稀释气体的气体作为混合气体，所述流量控制部对加入至从所述槽罐导出的材料气体及载气中的稀释气体的流量进行调节，由此来控制所述混合气体的流量，更具体而言，所述流量控制部也可对载气流量及稀释气体流量中的任一者或两者进行调节，以使混合气体的测定总流量接近预先确定的混合气体的目标总流量，所述混合气体的测定总流量是基于导入所述槽罐的载气的流量、与加入至从所述槽罐导出的材料气体及载气中的稀释气体的流量而算出。若为这种结构，则可利用稀释气体的流量变动来抵消伴随载气流量的变动而产生的混合气体流量的变动，由此，可使混合气体的流量稳定。

另外，本发明的成膜装置是利用所述任一个气体控制系统，将混合气体供给至成膜室。

在所述气体控制系统中检测控制极限状况的检测方法也是本发明之一。即，本发明的检测控制极限状况的检测方法是对气体控制系统中的材料气体流量的控制极限状况进行检测，所述气体控制系统向收容有材料的槽罐中导入载气，并将所述材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述槽罐导出，所述检测方法中，通过对导入所述槽罐的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐导出的材料气体的流量进行控制，且对控制极限状况进行检测，所述控制极限状况是无法通过所述载气的流量调节来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。

用于所述气体控制系统的程序也为本发明之一。即，本发明的程序是用于气体控制系统的程序，所述气体控制系统向收容有材料的槽罐中导入载气，并将所述材料气化后的材料气体与所述载气一起从所述槽罐导出，且所述程序用于使计算机发挥下述功能，即：通过对导入所述槽罐的载气的流量进行调节，从而对从所述槽罐导出的材料气体的流量进行控制，且检测控制极限状况，并输出该意旨，所述控制极限状况是无法通过所述载气的流量调节来确保所述材料气体的规定性能下的流量控制的状况。

技术效果

根据这样构成的本发明，在使载气的流量变动的情况下，可迅速掌握成为所述控制极限状况的情况，由此，可防止长时间置于所述控制限制状态下。

附图说明

图1是表示本发明的实施方式中的气体控制系统的示意图。

图2是表示本发明的实施方式中的气体控制系统的动作流程的流程图。

图3是表示另一实施方式中的气体控制系统的动作流程的流程图。

图4是表示另一实施方式中的气体控制系统的示意图。

图5是表示在仅使用载气来作为输送材料气体的气体的气体控制系统中，使载气的流量增加时的材料气体的流量变化的图表。

符号说明

100、200：气体控制系统

10：槽罐

20：载气导入路径

21：导出路径

22：稀释气体导入路径

30：载气流量调节部

40：稀释气体流量调节部

50：压力测定部

60：分压测定部

70：信息处理装置

71：流量控制部

72：控制极限检测部

具体实施方式

以下，参照附图来说明本发明的气体控制系统。

本实施方式的气体控制系统例如被用于在半导体制造工艺中所使用的成膜装置中，以稳定的流量来供给材料气体。更具体而言，供给混合气体，所述混合气体是将在槽罐内使低蒸气压材料(例如氯化铝、氯化钨等卤素类材料)气化而成的材料气体与载气(氩等惰性气体)一起从该槽罐导出，并在从该槽罐导出的材料气体及载气中加入有稀释气体(氩等的惰性气体)而成的混合气体。

如图1所示，本实施方式的气体控制系统100具有：槽罐10，收容材料；载气导入路径20，对槽罐10的液相空间导入载气；导出路径21，从槽罐10的气相空间导出材料气体及载气；稀释气体导入路径22，向导出路径21中导入稀释气体；载气流量调节部30，设置于载气导入路径20中；稀释气体流量调节部40，设置于稀释气体导入路径22中；压力测定部50及分压测定部60(测定部)，设置于导出路径21中；以及信息处理装置70，具备流量控制部71及控制极限检测部72。另外，虽未图示，但载气导入路径20的起始端连接于载气供给机构，稀释气体导入路径22的起始端连接于稀释气体供给机构，导出路径21的末端连接于供给混合气体的成膜室，由此，构成成膜装置。

槽罐10可利用加热器11来对所收容的材料进行加热，利用温度计12来监测槽罐10内的温度，以将槽罐10内的温度保持为预先确定的设定温度。

载气流量调节部30对导入槽罐10的载气的流量进行调节，是所谓的mfc(质量流量控制器)。载气流量调节部30大致具备：流量计31，对流经载气导入路径20的载气的流量进行测定；以及阀32，设置于载气导入路径20中的比流量计31靠下游侧的位置，调节开度，以对导入槽罐10的载气的流量进行调节，且载气流量调节部30对从流量控制部71发送的设定流量与由流量计31所测定的测定流量进行比较，并调节阀32的开闭以使两流量一致，且进行调节，以使从流量控制部71发送的设定流量的载气流至载气导入路径20。

稀释气体流量调节部40对导入至导出路径21的稀释气体的流量进行调节，是所谓的mfc(质量流量控制器)。稀释气体流量调节部40大致具备：流量计41，对流经稀释气体导入路径22的稀释气体的流量进行测定；以及阀42，设置于稀释气体导入路径22中的比流量计41靠下游侧的位置，调节开度以对汇流至导出路径21的载气的流量进行调节，且稀释气体流量调节部40对从流量控制部71发送的设定流量与由流量计41所测定的测定流量进行比较，并调节阀42的开闭以使两流量一致，且进行调节，以使从流量控制部71发送的设定流量的稀释气体流至稀释气体导入路径22。

压力测定部50为压力传感器，设置于比导出路径21的连接稀释气体导入路径22的位置靠下游侧的位置，对流经导出路径21的混合气体的压力进行测定。

分压测定部60为吸光式的分压传感器，设置于比导出路径21的连接稀释气体导入路径22的位置靠下游侧的位置，对流经导出路径21的混合气体中的材料气体的分压进行测定。具体而言，分压测定部60是使流经导出路径21的混合气体通过流通槽61，夹着该流通槽61而在其中一侧设置光源62，并且在另一侧设置受光部63，使从光源62照射的光通过流经流通槽61的混合气体后由受光部63接收，基于由受光部63所接收的光的强度，来测定混合气体中的材料气体的分压。另外，本实施方式中，由分压测定部60所测定的混合气体中的材料气体的分压对应于流量指标值。

信息处理装置70是通用或专用的计算机，在内存(memory)中保存规定的程序，依照该程序来使cpu(中央处理单元)及其外围设备协同动作，由此来发挥作为流量控制部71及控制极限检测部72的功能。流量控制部71参照从分压测定部60获取的混合气体中的材料气体的分压，向两流量调节部30、40发送所需的设定流量，对载气及稀释气体的流量进行控制，以使混合气体中的材料气体的流量接近预先确定的目标流量。另外，在流量控制部71中，具备可输入各种信息的触控面板等输入部73。另外，控制极限检测部72连接于流量控制部71，参照从流量控制部71获取的与每个周期的流量控制相关的信息以及在该流量控制前后由分压测定部60所测定的测定分压，来检测成为控制极限状况的情况，并输出该意旨，所述控制极限状况是无法利用流量控制部71对载气的流量调节，来确保混合气体中的材料气体的规定性能下的流量控制的状况。此外，在控制极限检测部72中，具备可显示警告的显示部74。

接下来，基于图2所示的流程图来说明本实施方式的气体控制系统的动作流程。

首先，对于流量控制部71，利用输入部73来分别输入对于成膜处理为最佳的混合气体中的材料气体的目标浓度、载气及稀释气体的初始设定流量(步骤s1)。此外，优选地，所述各初始设定流量是从映射数据(参照图5)导出最佳流量，所述映射数据表示在成膜处理之前先获取的导入槽罐10的载气流量、与从槽罐10导出的材料气体的流量的关系。若利用映射数据来决定载气及稀释气体的初始设定流量，则可在使气体控制系统运行时，使混合气体中的材料气体的流量迅速上升至最佳流量。此外，映射数据也可在事前使用同一组成的材料及同一气体控制系统来获取，另外，当使用同一组成的材料及同一气体控制系统来连续实施成膜处理时，也可利用在先前的成膜处理中获取的映射数据。另外，由控制极限检测部72所检测的控制极限状况是基于从所述输入部73输入的载气及稀释气体的初始设定流量而定。

接下来，流量控制部71对载气流量调节部30发送载气的初始设定流量，并且对稀释气体流量调节部40发送稀释气体的初始设定流量。由此，载气流量调节部30将流入载气导入路径20的载气的流量调节为初始设定流量，并且，稀释气体流量调节部40将流入稀释气体导入路径22的稀释气体的流量调节为初始设定流量，其结果，在气体控制系统100内，各气体开始流通(步骤s2)。

接下来，当混合气体通过压力测定部50及分压测定部60时，以固定周期(步骤s3)，压力测定部50对流经导出路径21的混合气体的压力进行测定，并且，分压测定部60对流经导出路径21的混合气体中的材料气体的分压进行测定(步骤s4)。

接下来，流量控制部71接收由压力测定部50所测定的测定压力及由分压测定部60所测定的测定分压(测定流量指标值)，并使用测定压力及目标浓度，利用式(1)来算出假定流经导出路径21的混合气体中的材料气体为目标浓度的情况下所需的、混合气体中的材料气体的目标分压(目标流量指标值)(步骤s5)。

pvaporset＝c×ptotal(1)

应予说明，pvaporset为混合气体中的材料气体的目标分压，c为混合气体中的材料气体的目标浓度，ptotal为混合气体的压力。

接下来，流量控制部71对测定分压与目标分压进行比较(步骤s6)，当测定分压小于目标分压的情况下，将使流经载气导入路径20的载气流量增加的设定流量发送至载气流量调节部30，并且，将使流经稀释气体导入路径22的稀释气体的流量减少的设定流量发送至稀释气体流量调节部40。由此，为使流经导出路径21的混合气体中的材料气体的流量接近最佳流量，实施如下所述的流量上升控制，即：载气流量调节部30将流入载气导入路径20中的载气的流量调节为所述设定流量，并且，稀释气体流量调节部40将流入稀释气体导入路径22中的稀释气体的流量调节为所述设定流量(步骤s7)。另一方面，当测定分压大于目标分压的情况下，将使流经载气导入路径20的载气流量减少的设定流量发送至载气流量调节部30，并且将使流经稀释气体导入路径22的稀释气体的流量增加的设定流量发送至稀释气体流量调节部40。由此，为使流经导出路径21的混合气体中的材料气体的流量接近最佳流量，实施如下所述的流量下降控制，即，载气流量调节部30将流入载气导入路径20中的载气的流量调节为所述设定流量，并且，稀释气体流量调节部40将流入稀释气体导入路径22中的稀释气体的流量调节为所述设定流量(步骤s8)。

另外，控制极限检测部72在步骤s4与步骤s5之间，实施如下所述的动作。详细而言，首先，判断在前周期中是否实施了流量上升控制(步骤s40)，当判断为在前周期中实施了流量上升控制的情况下，对即将实施该流量上升控制之前由分压测定部60所测定的前周期的测定分压、与刚实施该流量上升控制之后由分压测定部所测定的当前周期的测定分压进行比较，判断是否已成为前周期的测定分压大于当前周期的测定分压的所述第2状况(步骤s41)，当判断为已成为所述第2状况的情况下，判断该第2状况是否已连续产生了n次(步骤s42)，在已连续产生了n次的情况下，则判断为已成为控制极限状况并输出该意旨(步骤s43)，且于显示部74显示警告(步骤s44)。另一方面，在步骤s40中判断为在前周期中未实施流量上升控制的情况下，则判断是否在前周期中实施了流量下降控制(步骤s45)，在判断为在前周期中实施了流量下降控制的情况下，则对即将实施该流量下降控制之前由分压测定部60所测定的前周期的测定分压、与刚实施该流量下降控制之后由分压测定部所测定的当前周期的测定分压进行比较，判断是否成为前周期的测定分压小于当前周期的测定分压的所述第3状况(步骤s46)，在判断为已成为所述第3状况的情况下，则判断该第3状况是否已连续产生了m次(步骤s47)，在已连续产生了m次的情况下，则判断为已成为控制极限状况并输出该意旨(步骤s43)，且于显示部74显示警告(步骤s44)。

此外，当在步骤s44中于显示部74显示警告之后，既可使气体控制系统自动停止，也可由对显示部74所显示的警告进行了确认的作业员手动停止气体控制系统，以免相同的状况进一步持续。另外，也可取代步骤s4与步骤s5之间的动作或者除该动作以外，实施如下所述的动作：若尽管使载气的流量增加，但在其规定期间后(例如x周期后，x为预先确定的整数)，测定分压仅增加至比随着载气流量的增加而以大致成比例的方式增加而应获得的值更小的值(例如所述当获得的值的1/2以下、1/3以下或1/4以下等的值)，则判断为已成为控制极限状况，另一方面，若尽管使载气的流量减少，但在其规定期间后(例如y周期后，y为预先确定的整数)，测定分压仅减少至比随着载气流量的减少而以成大致比例的方式减少而应获得的值更大的值(例如所述当获得的值的1/2以上、1/3以上或1/4以上等的值)，则判断为已成为控制极限状况。

另外，在步骤1中，也可利用输入部91来对流量控制部71输入对于成膜处理为最佳的混合气体的目标总流量，且在步骤s7及步骤s8的流量控制中，当使载气及稀释气体的流量增减时，以混合气体的流量达到目标总流量的方式来决定载气及稀释气体的设定流量。

具体而言，利用流量控制部71，来接收由压力测定部50所测定的测定压力及由分压测定部60所测定的测定分压，并且接收在测定出该些测定值时由载气流量调节部所设定的载气的设定流量、及由稀释气体流量调节部所设定的稀释气体的设定流量，在步骤s7及步骤s8的流量控制中，使用测定压力、测定分压、载气的设定流量及稀释气体的设定流量，根据式(2)来算出混合气体的算出总流量，以该混合气体的算出总流量达到预先确定的混合气体的目标总流量的方式，来决定载气及稀释气体的设定流量。

qtotal＝(qc+qd)/(1-pvaporir/ptotal)(2)

应予说明，qtotal为混合气体的算出总流量，qc为载气的设定流量，qd为稀释气体的设定流量，pvaporir为混合气体中的材料气体的测定分压，ptotal为混合气体的压力(总压)。

本实施方式中，当实施流量控制时，使载气的流量与稀释气体的流量均进行增减，但也可仅使其中任一个流量增减而实施流量控制。而且，本实施方式中，在每个固定周期判断是否已成为第2状况及第3状况，在任一状况连续了n次、m次(n周期、m周期)的情况下，判断为已成为控制极限状况，并输出该意旨，但也可监测是否已成为第2状况或第3状况，在任一状况持续了t小时的情况下，判断为已成为控制极限状况，并输出该意旨。而且，本实施方式中，采用分压测定部来作为测定部，将混合气体中的材料气体的分压作为流量指标值，但并不限定于此，例如，也可采用浓度传感器，将混合气体中的材料气体的浓度作为流量指标值，还可使用对间接表示混合气体中的材料气体流量的值进行测定的其他传感器。

<其他实施方式>

例如，除了连接有流量关系数据存储部以外，具有与图1所示的气体控制系统100相同的结构，且依照图3所示的流程图的流程来动作的气体控制系统也包含于本发明中，所述流量关系数据存储部针对控制极限检测部而预先存储有映射数据(流量关系数据)，该映射数据(流量关系数据)表示导入槽罐10的载气流量、与从槽罐10导出的材料气体流量的关系。

所述气体控制系统中，由图3可知，步骤s1、步骤s4及步骤s4与步骤s5之间的动作不同于气体控制系统100的动作。详细而言，所述气体控制系统中，在步骤s1中，输入混合气体中的材料气体的目标浓度、载气及稀释气体的初始设定流量，并且参照流量关系数据存储部中所存储的映射数据，来获取载气的极限流量。继而，在步骤s4中，获取由压力测定部50所测定的测定压力及由分压测定部60所测定的测定分压，并且从载气流量调节部30获取测定出所述测定压力及测定分压时的载气流量。然后，在步骤s4与步骤s5之间实施下述动作。即，判断载气的流量是否超过极限流量(步骤s140)，若判断为超过极限流量，则判断载气的流量是否已连续l周期超过极限流量(步骤s141)，若判断为已链接l周期超过极限流量，则判断为已成为控制极限状况，并输出该意旨(步骤s142)，且于显示部74显示警告(步骤s143)。

此外，所述气体控制系统中，作为判断是否已成为控制极限状况的指标，采用了载气的极限流量，但作为该指标，也可采用相对于载气流量的增加量而混合气体中的材料气体流量的增加量极端下降的、极限流量附近的流量。

另外，例如，如图4所示，气体控制系统200也包含于本发明中，该气体控制系统200去除了所述实施方式中的气体控制系统100所具有的稀释气体导入路径22，仅利用经由载气导入路径20而导入槽罐10内的载气，来对在槽罐内使材料气化而生成的材料气体进行输送。另外，气体控制系统200除了从所述实施方式中的气体控制系统100去除了稀释气体导入路径22及设置于稀释气体导入路径22的稀释气体流量调节部以外，具备与气体控制系统100同样的结构。因而，压力测定部50及分压测定部60的测定对象成为包含从槽罐10经由导出路径21而导出的载气及材料气体的混合气体。根据该实施方式，必须仅利用载气流量的增减来实施混合气体中的材料气体的浓度控制，因此与所述实施方式中的气体控制系统100相比，载气流量成为控制极限状况的可能性高，本发明的检测功能的重要性增大。

另外，所述各实施方式中，检测出控制极限状况之后，于显示部显示警告，但也可设置扬声器来发出警告声。

而且，所述各实施方式中，对起泡器式(起泡式)的气体控制系统进行了说明，但本发明的气体控制系统也可适用于dli(直接液体注入)方式的结构，该dli方式是以液体状态来输送材料，并在使用点(例如成膜室)附近使其气化而进行流量控制的方式。在该情况下，只要在使用点附近配置槽罐，向该槽罐内导入载气，并将在该槽罐内气化的材料气体与载气一起从该槽罐中导出即可。

另外，所述各实施方式中，作为载气流量调节部30及稀释气体流量调节部40，使用在流量计31、41的下游侧配置有阀32、42的结构，但也可使用在流量计31、41的上游侧配置有阀32、42的结构。

产业上的可利用性

在对载气的流量进行调节以对混合气体中的材料气体的流量进行控制的气体控制系统中，避免长时间置于所述控制极限状况下。