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银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法与流程
文档序号:17742875
发布日期:2019-05-24 20:20
阅读:
来源:国知局
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金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术
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银膜蚀刻液组合物、用它的蚀刻方法及金属图案形成方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明涉及一种银薄膜蚀刻液组合物、利用它的蚀刻方法及金属图案形成方法,该银薄膜蚀刻液组合物包含有机酸、无机酸、蚀刻引发剂及余量的水且蚀刻终止指数为0.05至0.35。
技术研发人员:
沈庆辅;金童基;尹暎晋
受保护的技术使用者:
东友精细化工有限公司
技术研发日:
2018.09.12
技术公布日:
2019.05.24
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