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一种多孔周期式二氧化钒结构及其制备方法与流程
文档序号:16626382
发布日期:2019-01-16 06:08
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来源:国知局
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金属材料;冶金;铸造;磨削;抛光设备的制造及处理,应用技术
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一种多孔周期式二氧化钒结构及其制备方法与流程
技术特征:
技术总结
本发明公开了一种多孔周期式二氧化钒结构及其制备方法,采用自组装技术形成周期式SiO2阵列,采用磁控溅射的方式溅射钒薄膜,然后在快速退火炉中进行快速氧化退火,最后进行酸腐蚀形成周期式纳米颗粒VO2结构,在整个过程中没有其他物质的复合引入,制备过程简单,易于控制,实现VO2智能窗光学性能的提高。
技术研发人员:
梁继然;苏天宇;张颖;杨治彬;张叶
受保护的技术使用者:
天津大学
技术研发日:
2018.10.17
技术公布日:
2019.01.15
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