技术特征:
技术总结
本发明涉及镀膜设备技术领域,具体涉及一种非均匀多层薄膜的镀膜方法,其特征在于,包括如下步骤:S1.将试样(3)放入超声波清洗机中,用丙酮清洗试样(3);S2.将试样(3)放入真空干燥箱中干燥;S3.将试样(3)放入非均匀多层薄膜的镀膜设备的试样台(3)上;S4.镀制第一薄膜层(16),S5.镀制第二薄膜层(17);S6.镀制第三薄膜层(18),S7.镀膜完成,关闭非均匀多层薄膜的镀膜设备。采用这种结构后,该方法可以镀制非均匀多层薄膜,为科研人员对非均匀多层薄膜的研究工作做铺垫。
技术研发人员:鲍明东
受保护的技术使用者:宁波工程学院
技术研发日:2018.10.23
技术公布日:2019.01.15