凹面精密抛光装置的制作方法

文档序号:16305915发布日期:2018-12-18 22:18阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种凹面精密抛光装置,其特征在于:包括抛光槽(1)、正电极(2)、工件托板(3)、工件(4)、气囊液态金属抛光机(5)、中心轴(7)、负电极(6)、连接件(8)、法线轴(9)、电机(10)、气泵(11)、喷头(12)、液态金属输送管(13)和液态金属回收管(14),所述工件托板(3)安装在抛光槽(1)内,工件(4)安装在所述工件托板(3)上;所述正电极(2)安装在工件托板(3)远离气囊液态金属抛光机(5)的一侧;所述中心轴(7)的一端连接气囊液态金属抛光机(5),且气囊液态金属抛光机(5)和中心轴(7)设置有负电极(6),中心轴(7)的另一端通过连接件(8)连接法线轴(9);法线轴(9)后端连接驱动法线轴(9)转动的电机(10);气泵(11)通过管道连接气囊液态金属抛光机(5)并为气囊液态金属抛光机(5)的气囊充气;所述喷头(12)通过液态金属输送管(13)喷射由抛光槽(1)底部的回收孔(15)所回收的液态金属抛光液;所述回收孔(15)设置在抛光槽(1)底部最低位置,液态金属回收管(14)的一端连接回收孔(15),液态金属回收管(14)的另一端连接循环泵(16)的入口,循环泵(16)的出口通过液态金属输送管(13)连接喷头(12),喷头(12)靠近工件(4)和气囊液态金属抛光机(5)的气囊的接触面,循环泵(16)将液态金属抛光液通过喷头(12)喷洒到抛光接触表面。

2.根据权利要求1所述的一种凹面精密抛光装置,其特征在于:所述工件托板(3)底部设置有升降台,升降台带动工件托板(3)和工件(4)组成的整体进行上下运动。

3.根据权利要求1所述的一种凹面精密抛光装置,其特征在于:所述法线轴(9)于连接件(8)之间设置有倾斜角。

4.根据权利要求1所述的一种凹面精密抛光装置,其特征在于:所述抛光槽(1)内设置有加热装置。

5.根据权利要求4所述的一种凹面精密抛光装置,其特征在于:所述加热装置为电热丝,且在抛光槽(1)的左右两侧各设置有一条。

6.根据权利要求5所述的一种凹面精密抛光装置,其特征在于:所述抛光槽(1)内还设置有用于检测抛光槽(1)内液体金属抛光液温度的温度传感器。

7.根据权利要求6所述的一种凹面精密抛光装置,其特征在于:所述液态金属抛光液中的液态金属为镓离子、铷离子、铯离子中的一种或几种的化合物。

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