一种新式真空镀膜工件转台的制作方法

文档序号:17561060发布日期:2019-04-30 19:03阅读:439来源:国知局
一种新式真空镀膜工件转台的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种新式真空镀膜工件转台。



背景技术:

工件的使用寿命主要取决于耐磨性和硬度,而真空镀膜工艺是提高工件的耐磨性和硬度的常用方式,在真空镀膜过程中,真空镀膜工件转台发挥着重要的作用,现有的真空镀膜工件转台通常包括电机、传动基座、真空室和载物台,电机通过传动带驱动传动基座中的驱动转轴旋转,驱动转轴带动载物台旋转。

专利号为CN103834926A的专利文献公开了一种真空镀膜工件转台,其包括一载物台,该载物台包括一转盘和一行星齿轮,该转盘和该行星齿轮中的太阳轮通过滚珠相枢接,该发明通过使用滚珠直接将该转盘和该行星齿轮相枢接,该载物台具有结构简单和轻薄的优点。

但是,在实际使用过程中,发明人发现其安装需要锁死,拆卸不方便的技术问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处,通过设置安装组件与承接组件上下插合设置,使得两组件的可拆卸连接,从而解决了其安装需要锁死,拆卸不方便的技术问题,进而实现安装组件的快拆快装,无需锁死,使用方便。

针对以上技术问题,采用技术方案如下:一种新式真空镀膜工件转台,包括:

承接组件,所述承接组件包括传动件和与所述传动件固定连接的定位件;以及

安装组件,所述安装组件包括与所定位件配合插设的滑动件和设置在所述滑动件上方且与所述滑动件固定连接的载物件;

所述滑动件与所述定位件垂直设置且可拆卸连接。

作为优选,所述传动件包括:

驱动单元,所述驱动单元包括电机、与所述电机输出端固定连接的主同步带轮和与所述主同步带轮平行设置的从同步带轮,所述从同步带轮和主同步带轮通过同步带传动连接;以及

同步单元,所述同步单元位于所述驱动单元上方,其包括与所述从同步带轮固定且同轴设置的转轴和与所述转轴固定且同轴设置的密封轴。

作为优选,所述定位件包括:

第一定位单元,所述第一定位单元与所述密封轴固定连接且位于其正上方;以及

第二定位单元,所述第二定位单元位于所述第一定位单元正上方且与所述转轴固定连接;

所述第一定位单元、第一定位单元和转轴同轴设置。

作为优选,所述第一定位单元包括:

卡盘a,所述卡盘a为圆柱形;以及

定位销,所述定位销沿着所述卡盘a圆周设置若干组且位于所述卡盘a外边缘设置。

作为优选,所述第二定位单元包括:

卡盘b,所述卡盘b为圆柱形;以及

钉孔,所述钉孔开设在所述卡盘b上且位于所述卡盘b外边缘设置。

作为优选,所述卡盘a直径为R1,所述卡盘b直径为R2,所述R1>R2。

作为优选,所述载物件包括:

工件转台,所述工件转台为圆柱体;

连接单元,所述连接单元一端与所述工件转台固定连接,其包括自转轴组装、设置在所述自转轴组装下方且与所述自转轴组装通过螺栓固定连接的支撑托板和套设在所述工件转台外且固定连接的外屏蔽板;以及

压实单元,所述压实单元包括与所述自转轴组装固定连接的上垫圈、与所述自转轴组装固定连接且位于所述下垫圈下方的下垫圈和位于所述上垫圈和下垫圈之间的钢珠。

作为优选,所述滑动件包括:

第一导向单元,所述第一导向单元设置在所述工件转台上且与所述第一定位单元一一对应设置;以及

第二导向单元,所述第二导向单元位于所述第一导向单元内侧设置,其与所述第二定位单元一一对应设置。

作为优选,所述第一导向单元包括:

挡板,所述挡板与所述工件转台上固定连接;以及

销孔,所述销孔开设在所述挡板上。

作为又优选,所述第二导向单元包括:

安装杆,所述安装杆插设在所述工件转台上且与其通过六角螺栓固定连接;以及

定位钉,所述定位钉与所述安装杆底部固定连接。

本实用新型的有益效果:

(1)本实用新型中通过设置安装组件与承接组件上下插合设置,从而使得两组件的可拆卸连接,进而实现安装组件的快拆快装,无需锁死,使用方便;

(2)本实用新型中通过设置安装组件与承接组件可拆卸连接,应用时只需将物料直接放在载物件上,镀膜工件结束后,直接将安装组件拆卸就行,无需将整个装置从真空膜机中取出,其结构简单、巧妙,节省劳动力输出,提高工作效率;

(3)本实用新型中通过设置第一定位单元配合第一导向单元,定位销插设在所述销孔内,使其能快速、精准的进行定位,同时实现安装时牢固、稳定的效果;

(4)本实用新型中通过设置相反设置的第二定位单元配合第二导向单元,定位钉插设在所述钉孔内,再通过与第一定位单元配合第一导向单元固定,两者结合实现正反双面紧扣,提高安装时的牢固性。

综上所述,该设备具有快拆快装,应用方便的优点,尤其适用于真空镀膜装置技术领域。

附图说明

为了更清楚的说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域的普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他附图。

图1为新式真空镀膜工件转台的结构示意图。

图2为新式真空镀膜工件转台分离工作的剖视示意图。

图3为传动件的结构示意图。

图4为定位件的结构示意图。

图5为滑动件的结构示意图。

图6为连接单元和压实单元的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地说明。

实施例一

如图1所示,一种新式真空镀膜工件转台,包括:

承接组件1,所述承接组件1包括传动件11和与所述传动件11固定连接的定位件12;以及

安装组件2,所述安装组件2包括与所定位件12配合插设的滑动件21和设置在所述滑动件21上方且与所述滑动件21固定连接的载物件22;

所述滑动件21与所述定位件12垂直设置且可拆卸连接。

在本实施例中,通过设置。

进一步,如图3所示,所述传动件11包括:

驱动单元111,所述驱动单元111包括电机112、与所述电机112输出端固定连接的主同步带轮113和与所述主同步带轮113平行设置的从同步带轮114,所述从同步带轮114和主同步带轮113通过同步带115传动连接;以及

同步单元116,所述同步单元116位于所述驱动单元111上方,其包括与所述从同步带轮114固定且同轴设置的转轴117和与所述转轴117固定且同轴设置的密封轴118。

在本实施例中,通过设置安装组件2与承接组件1可拆卸连接,进而实现安装组件2的快拆快装,无需锁死,同时值得说明的是,应用时只需将物料直接放在载物件22上,镀膜工件结束后,直接将安装组件2拆卸就行,无需将整个装置从真空膜机中取出,其结构简单、巧妙,节省劳动力输出,提高工作效率。

进一步,如图4所示,所述定位件12包括:

第一定位单元121,所述第一定位单元121与所述密封轴118固定连接且位于其正上方;以及

第二定位单元122,所述第二定位单元122位于所述第一定位单元121正上方且与所述转轴117固定连接;

所述第一定位单元121、第一定位单元121和转轴117同轴设置。

在本实施例中,通过设置第一定位单元121配合第一导向单元211,定位销124插设在所述销孔214内,使其能快速、精准的进行定位,同时实现安装时牢固、稳定的效果;

此外,通过设置相反设置的第二定位单元122配合第二导向单元212,定位钉216插设在所述钉孔126内,再通过与第一定位单元121配合第一导向单元211固定,两者结合实现正反双面紧扣,提高安装时的牢固性。

进一步,如图4所示,所述第一定位单元121包括:

卡盘a123,所述卡盘a123为圆柱形;以及

定位销124,所述定位销124沿着所述卡盘a123圆周设置若干组且位于所述卡盘a123外边缘设置。

进一步,如图4所示,所述第二定位单元122包括:

卡盘b125,所述卡盘b125为圆柱形;以及

钉孔126,所述钉孔126开设在所述卡盘b125上且位于所述卡盘b125外边缘设置。

进一步,如图4所示,所述卡盘a123直径为R1,所述卡盘b125直径为R2,所述R1>R2。

通过设置R1>R2,使得两个紧锁的工作能同时进行,相互不干涉。

进一步,如图6所示,所述载物件22包括:

工件转台221,所述工件转台221为圆柱体;

连接单元227,所述连接单元227一端与所述工件转台221固定连接,其包括自转轴组装2271、设置在所述自转轴组装2271下方且与其通过螺栓固定连接的支撑托板2272和套设在所述工件转台221外且固定连接的外屏蔽板2273;以及

压实单元228,所述压实单元228包括与所述自转轴组装2271固定连接的上垫圈2281、与所述自转轴组装2271固定连接且位于所述上垫圈2281下方的下垫圈2282和位于所述上垫圈2281和下垫圈2282之间的钢珠2283。

在本实施例中,通过在上垫圈2281和下垫圈2282之间增加高温钢珠2283,本实施例的真空镀膜工件转台即使工作在600℃的情况下,自转轴组装2271依然能够保持轴向位置不变,各个部件协调配合并顺利旋转。实际制作时,还可以使用普通的滚珠代替高温钢珠,例如,铜珠或普通钢珠。

进一步,如图5所示,所述滑动件21包括:

第一导向单元211,所述第一导向单元211设置在所述工件转台221上且与所述第一定位单元121一一对应设置;以及

第二导向单元212,所述第二导向单元212位于所述第一导向单元211内侧设置,其与所述第二定位单元122一一对应设置。

进一步,如图5所示,所述第一导向单元211包括:

挡板213,所述挡板213与所述工件转台221上固定连接;以及

销孔214,所述销孔214开设在所述挡板213上。

更进一步,如图5所示,所述第二导向单元212包括:

安装杆215,所述安装杆215插设在所述工件转台221上且与其通过六角螺栓固定连接;以及

定位钉216,所述定位钉216与所述安装杆215底部固定连接。

在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“前后”、“左右”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的设备或部件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对实用新型的限制。

当然在本技术方案中,本领域的技术人员应当理解的是,术语“一”应理解为“至少一个”或“一个或多个”,即在一个实施例中,一个元件的数量可以为一个,而在另外的实施例中,该元件的数量可以为多个,术语“一”不能理解为对数量的限制。

以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型的技术提示下可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此,本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

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