蚀刻吸刀的制作方法

文档序号:17676578发布日期:2019-05-15 23:41阅读:397来源:国知局
蚀刻吸刀的制作方法

本实用新型属于清洗、蚀刻工艺设备技术领域,更具体地说,是涉及一种蚀刻吸刀。



背景技术:

蚀刻(Etching)是将材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。蚀刻技术可以分为湿蚀刻(Wet etching)和干蚀刻(Dry etching)两类。

最早可用来制造铜版、锌版等印刷凹凸版,也广泛地被使用于减轻重量(Weight Reduction)仪器镶板,铭牌及传统加工法难以加工之薄形工件等的加工;经过不断改良和工艺设备发展,亦可以用于航空、机械、化学工业中电子薄片零件精密蚀刻产品的加工,特别在半导体制程上,蚀刻更是不可或缺的技术。

但现有的蚀刻吸刀,其刀身整体完全支撑于蚀刻机的上滚轮轴上,以通过上滚轮将蚀刻吸刀支撑在下滚轮的上方,而上滚轮浮动在蚀刻机的机身上,蚀刻机的下滚轮无论是通过厚生产板还是通过薄生产板,蚀刻吸刀均自动固定于上滚轮轴上,并随着上滚轮一起升降;在长期负重下,上滚轮容易变形,从而影响固定在该上滚轮轴上的蚀刻吸刀的工作精度,难以保证蚀刻均匀性要求,特别是针对过薄生产板时,容易出现刮伤,导致报废生产板等问题。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种蚀刻吸刀,以解决现有技术中存在的蚀刻吸刀完全支撑于蚀刻机的上滚轮轴上,而造成上滚轮负重变形,影响蚀刻的均匀性,甚至导致卡板的技术问题。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案是:提供一种蚀刻吸刀,包括具有吸水通道且顶端开口的主体、盖设于所述吸水通道上的分水板以及封盖于所述开口上的盖板,所述分水板上开设有连通所述吸水通道的通槽,所述盖板上开设有连通所述主体与外界的导液口,所述主体长度方向的两端分别设有用于搭接于蚀刻机的上滚轮轴上的托架,所述主体的底端开设有连通所述主体与外界的多组通孔,所述主体长度方向的两端分别设有用于在所述蚀刻机的下滚轮上支撑小于0.5mm以下的生产板时搭接于该蚀刻机的机身上以支撑该主体的支撑部。

进一步地,各所述支撑部包括第一连接段和用于搭接于所述机身的第二连接段,所述第一连接段的一端与所述主体的顶端连接,所述第二连接段由所述第一连接段的另一端向下延伸出。

进一步地,各所述支撑部还包括第三连接段,所述第三连接段由所述第二连接段的下端沿所述主体长度方向凸出延伸出。

进一步地,所述第一连接段、所述第二连接段和所述第三连接段为一体成型结构。

进一步地,所述第三连接段与所述机身的接触面为凹凸面。

进一步地,所述第二连接段由所述第一连接段的自由端向下折弯而成。

进一步地,所述主体的底端设有连接部,多组所述通孔设于所述连接部的底端。

进一步地,所述连接部与所述主体由一体板体弯折成型。

进一步地,所述连接部的横截面呈U型,各组所述通孔间隔设于所述U型连接部的底部。

进一步地,所述托架的底部的两侧分别设有用于叉设于相邻两个所述上滚轮轴上的半圆槽。

本实用新型提供的蚀刻吸刀的有益效果在于:与现有技术相比,本实用新型提供的蚀刻吸刀,在主体上增设支撑部,支撑部用于搭接在机身上,以通过机身来支撑该蚀刻吸刀;蚀刻机工作运行,当蚀刻机的下滚轮上无生产板通过或通过的生产板厚度<0.5mm时,蚀刻吸刀装配整体通过支撑部支撑于机身,其上滚轮不受力;当蚀刻机的下滚轮上通过的生产板厚度≥0.5mm时,蚀刻吸刀装配整体通过托架支撑于上滚轮轴上,且随上滚轮的抬升而上升,待该生产板通过后,蚀刻吸刀整体再通过支撑部支撑于机身上;这样,相比于传统的蚀刻吸刀,避免了无论在任何情况下均为上滚轮受力而引起上滚轮变形的现象,本实用新型提供的蚀刻吸刀装配整体同时支撑于上滚轮轴和机身上,特别是针对通过的生产板厚度<0.5mm时,不容易产生刮伤压伤,减少影响卡挡生产板的缺陷,保证了蚀刻吸刀的工作精度,确保了蚀刻的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的蚀刻吸刀的横切剖面示意图;

图2为本实用新型实施例提供的蚀刻吸刀的纵切剖面示意图;

图3为本实用新型实施例提供的蚀刻吸刀装配于蚀刻机后的横切剖面示意图;

图4为本实用新型实施例提供的蚀刻吸刀装配于蚀刻机后的纵切剖面示意图;

图5为图4中A处的放大示意图;

图6为本实用新型实施例提供的托架的剖面示意图。

其中,图中各附图标记:

100-蚀刻吸刀;

1-主体;11-吸水通道;12-开口;13-支撑部;131-第一连接段;132-第二连接段;133-第三连接段;14-托架;141-半圆槽;15-连接部;151-通孔;

2-分水板;21-通槽;

3-盖板;31-导液口;32-导液管;

4-蚀刻机;41-机身;42-上滚轮;43-下滚轮。

具体实施方式

为了使本实用新型所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

需要说明的是,当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件,它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件,它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是,术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。

请一并参阅图1及图2,现对本实用新型提供的蚀刻吸刀100进行说明。蚀刻吸刀100包括主体1、分水板2和盖板3;主体1上具有吸水通道11,以供蚀刻液体穿过主体1,具体地,主体1的顶端开口12,盖板3封盖于开口12,盖板3上开设有导液口31,以便于外界与主体1的连通,分水板2上开设有通槽21,以连通吸水通道11;进一步地,主体1的底端开设有多组通孔151,以将主体1与外界连通;这样保证了整个蚀刻吸刀100的连通;主体1长度方向的两端分别设有托架14,通过托架14将整个蚀刻吸刀100搭接于蚀刻机4的上滚轮42轴上,以便于通过上滚轮42来支撑蚀刻吸刀100;主体1长度方向的两端还分别设有支撑部13,当蚀刻机4的下滚轮43上所支撑的生产板的厚度小于0.5mm时,或者蚀刻机4的下滚轮43上没有生产板时,通过搭接于该蚀刻机4的机身411上的支撑部13来支撑该主体1。优选地,在导液口31处连接有导液管32,以将蚀刻液导出。

本实用新型提供的蚀刻吸刀100,在主体1上增设支撑部13,支撑部13用于搭接在机身41上,以通过机身41来支撑蚀刻吸刀100;蚀刻机4工作运行时,当蚀刻机4的下滚轮43上无生产板通过或通过的生产板厚度<0.5mm时,蚀刻吸刀100装配整体通过支撑部13支撑于机身41,其上滚轮42不受力;当蚀刻机4的下滚轮43上通过的生产板厚度≥0.5mm时,蚀刻吸刀100装配整体通过托架14支撑于上滚轮42轴,且随上滚轮42的抬升而上升,待该生产板通过后,蚀刻吸刀100整体再通过支撑部13支撑于机身41上;这样,相比于传统的蚀刻吸刀100,避免了无论在任何情况下均为上滚轮42受力而引起上滚轮42变形的现象,本实用新型提供的蚀刻吸刀100装配整体同时支撑于上滚轮42轴和机身41,特别是针对通过的生产板厚度<0.5mm时,不容易产生刮伤压伤,从而减少影响卡挡生产板的缺陷,保证了蚀刻吸刀100的工作精度,确保了蚀刻的质量。

进一步地,请参阅图1至图6,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,各支撑部13包括第一连接段131和第二连接段132,第一连接段131的一端与主体1连接,第二连接段132由第一连接段131的另一端向下延伸出;蚀刻机4工作运行时,当蚀刻机4的下滚轮43上无生产板通过或通过的生产板厚度<0.5mm时,第二连接段132搭接于机身41上,并通过第一连接段131将蚀刻吸刀100支撑于机身41上,该结构设计合理,简单。

进一步地,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,第二连接段132由第一连接段131的自由端向下折弯而成,以便于成型,增强连接强度。

进一步地,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,第一连接段131的长度大于蚀刻刀端部到机身41的最近距离,这样,以便于实现蚀刻吸刀100与机身41的搭接。

进一步地,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,第一连接段131的宽度与主体1的宽度相等或相近,这样,以便于增强第一连接段131与主体1之间连接的强度,同时,还能使蚀刻吸刀100的端部受力均匀,以确保蚀刻吸刀100结构的稳定性,进而保证蚀刻的均匀性。

进一步地,请参阅图2、图4和图5,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,第一连接段131与第二连接段132呈垂直设置,以避免在支撑过程中,第二连接段132被压弯,便于更好的实现支撑。具体地,第一连接段131为矩形板状,第二连接段132为矩形板状;当然,在其他实施例中,第一连接段131也可以为其他形状的结构,第二连接段132也可以为其他形状的结构,在这里并不做唯一限定。

进一步地,请继续参阅图2、图4和图5,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,第一连接段131与第二连接段132形成的顶角为弧面型结构,以避免刮伤人体,确保安全性;在其他实施例中,第一连接段131与第二连接段132所形成的顶角也可以为其他结构,但是,应当避免尖锐状结构,防止触碰而割伤人。

进一步地,请继续参阅图2、图4和图5,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,各支撑部13还包括第三连接段133,第三连接段133由第二连接段132的的下端沿主体1长度方向凸出延伸出;第三连接段133是用于增大支撑部13与机身41的接触面积,以便于实现稳固的支撑。

进一步地,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,第一连接段131、第二连接段132和第三连接段133为一体成型结构,以便于增强支撑部13整体结构的强度,在其他实施例中,第一连接段131、第二连接段132和第三连接段133之间的连接可以为可拆卸连接,以便于拆卸组装。在另一实施例中,第一连接段131、第二连接段132和第三连接段133在加工制作时,可以通过由板状结构冲压而成,其强度高;当然,在其他另一实施例中,第一连接段131、第二连接段132和第三连接段133也可以通过模具注塑成型,其加工操作方便,成型结构稳定。

进一步地,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,第一连接段131、第二连接段132、第三连接段133与主体1为一体成型结构,以便于增强支撑部13与主体1之间的连接强度,避免了多次焊接,确保了蚀刻吸刀100结构的稳定。

进一步地,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,第三连接段133与机身41的接触面为凹凸面,这样,有利于增强接触面积,便于实现稳固支撑;在其他实施例中,第三连接段133朝向机身41的侧面上安装有橡胶垫,以便于增加两者之间的摩擦,进而实现稳固支撑。当然,在其他实施例中,第三连接段133与机身41的接触面也可以为平面,这里不做唯一限定。

现有的蚀刻吸刀100通常分为多段结构,其包括主体1、吸水管、分水板2和盖板3,吸水管设于主体1的底端,并通过吸水管连通主体1和蚀刻吸刀100的外部;分段结构设计的蚀刻吸刀100组装工艺复杂,焊缝多,焊接质量不易保证,制作的蚀刻吸刀100有变形风险;此外,采用多段结构设置,其用料也多,整体结构较重,对支撑结构的强度要求较高,容易造成压伤生产板,甚至导致生产板报废。

进一步地,请参阅图1,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,主体1的底端设有连接部15,多组通孔151设于连接部15的底端;设置连接部15,其结构简单,减少了蚀刻吸刀100的零部件,最大程度节省蚀刻吸刀100的用料,重量轻,有效防止了蚀刻吸刀100在负重下的变形,从而保证了蚀刻的均匀性。

进一步地,请继续参阅图1,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,连接部15与主体1为一体成型结构,将连接部15与主体1由一体板体折弯成型,相比于传统的多段式的蚀刻吸刀100,该一体成型结构设置的工艺简单,同时,还降低了焊接的次数,减少焊缝的形成,制作成型的结构稳定性好,从而保证蚀刻质量;连接部15和主体1在加工制作时,通过由板体冲压而成,其强度高;在其他实施例中,连接部15和主体1也可以通过模具注塑成型,其加工操作方便,成型结构稳定。

进一步地,请继续参阅图1,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,连接部15的横截面呈U型,各组通孔151间隔设于U型连接部15的底部;将连接部15的横截面设置为U型结构,其U型结构的中部形成吸水通道11,利于蚀刻液的穿过,同时,在U型结构的底部设置多组通孔151,以便于将主体1与外界连通,外界的蚀刻液穿过通孔151进入吸水通道11内;该结构设置也利于最大程度的节省材料,降低蚀刻吸刀100整体结构的重量。当然,在其他实施例中,连接部15也可以为其他形式的结构设置,该形状与主体1形状相匹配即可,在这里并不完全限定。

进一步地,请继续参阅图1,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,各通孔151均匀分布于连接部15的底部,有利于整体结构的布局,也便于保证吸水均匀性,从而确保蚀刻质量。

进一步地,请参阅图2和图6,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,托架14的底部的两侧分别设有一对半圆槽141,半圆槽141用于叉设于相邻两个上滚轮42轴上;通过半圆槽141的设置,以便于实现托架14与上滚轮42轴之间的可拆卸连接,以实现蚀刻吸刀100可以连同托架14一起从上滚轮42轴中自由取出,提高了使用的方便性。此外,蚀刻机4工作运行时,当蚀刻机4的下滚轮43上的生产板厚度≥0.5mm时,蚀刻吸刀100装配整体通过托架14支撑于上滚轮42轴上,且随上滚轮42的抬升而上升,以实现自动调节高度,防止由于生产板的厚度过厚而造成蚀刻吸刀100损伤生产板的现象。

进一步地,作为本实用新型提供的蚀刻吸刀100的一种具体实施方式,托架14朝向第一连接段131的一侧上开设有第一锁孔(图中未视出),第一连接段131对应于第一螺钉孔的位置上开设有第二锁孔(图中未视出),螺栓通过第一锁孔和第二锁孔以将托架14稳固安装于第一连接段131上,以便增强连接强度。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

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