一种管式PECVD电极杆的制作方法

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种管式PECVD电极杆。

背景技术：

等离子体增强化学气相沉积法(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition，简称PECVD)是电池片背钝化生产过程中重要环节，其原理是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。

随着太阳能市场的变化，降本增效将成为行业内具有竞争及生产规则。管式PECVD作为电池片背钝化生产过程中重要环节，量化指标表现为背镀膜膜厚和折射率，石墨舟内的硅片在高温情况下，射频电源(RF)通过电极杆产生大电流放电，高温及电离SiH4、NH3等特殊工艺气体，产生离子附着于硅片表面，通过改变SiH4与NH3的比例调节折射率，通过改变镀膜时间及RF功率有效值调节膜层厚度。因此，电极杆是否与石墨舟有效接触，尤为重要。

现有的管式PECVD电极杆与石墨舟接触采用硬接触，导致产生以下异常状况：

1、石墨舟上的电极孔与电极杆硬接触，容易产生石墨舟电极孔与电极杆接触不良，工艺过程中放电电流偏差报警，从而导致硅片生产后出现品质异常；并且石墨舟电极孔与电极杆未完全接触时，电极杆容易在大电流时耗损加剧，增加使用成本；

2、石墨舟通过桨推送，桨及石墨舟位置偏差时，石墨舟与电极杆相撞，致使桨推送过程中报警、设备异常损坏；

3、石墨舟电极孔与电极杆硬接触对设备左右手机台要求较高，生产过程中，人员需要转动石墨舟，使石墨舟的电极孔端朝向设备电极放射端的电极杆，生产过程中石墨舟未区分左右手设备生产时，会损坏石墨舟及电极杆。

因此，亟需一种能够与石墨舟良好接触的管式PECVD电极杆，以解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种管式PECVD电极杆，能够与石墨舟良好接触，减少异常现象的发生。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种管式PECVD电极杆，包括电极杆本体及电极头，所述电极杆本体用于连接射频电源，所述电极头的一端弹性连接于所述电极杆本体，所述电极头的另一端设有若干锥状凸起，用于与石墨舟抵接。

作为优选，所述电极杆本体与所述电极头之间通过弹簧连接。

作为优选，所述弹簧由不锈钢制成。

作为优选，所述电极头包括抵接段及伸缩段，所述锥状凸起设置于所述抵接段的端面上；

所述电极杆本体的一端开设有容纳腔，所述伸缩段伸入所述容纳腔内且与所述电极杆本体滑动连接。

作为优选，所述弹簧设置于所述容纳腔内，且所述弹簧的一端连接于所述容纳腔的内壁，另一端连接于所述伸缩段。

作为优选，所述弹簧套设于所述伸缩段外，且所述弹簧的一端连接于所述抵接段，另一端连接于所述电极杆本体的端面。

作为优选，所述锥状凸起为圆锥或棱锥。

作为优选，若干个所述锥状凸起的尖端处于同一平面上。

作为优选，所述电极杆本体、所述电极头均由不锈钢制成。

作为优选，所述电极杆本体远离所述电极头的一端设置有外螺纹。

本实用新型的有益效果：

本实用新型提供了一种管式PECVD电极杆。通过设置电极杆本体及可相对电极杆本体伸缩的电极头，能够在石墨舟由浆推送到电极头处时，电极头随石墨舟弹性移动，避免与石墨舟硬接触而损坏电极头或石墨舟；电极头的端部设置有若干锥状凸起，锥状凸起用于直接与石墨舟抵接，电极头由锥状凸起的尖端对石墨舟放电，保证了电极头与石墨舟之间有效接触传导，降低电极头在大电流时的损耗，节约成本；同时，使用该管式PECVD电极杆后，石墨舟上无需设置电极孔，因此生产过程中无需区分左右手设备，使用方便。

附图说明

图1是本实用新型提供的管式PECVD电极杆的结构示意图；

图2是本实用新型提供的管式PECVD电极杆的另一视角的结构示意图；

图3是实施例一提供的管式PECVD电极杆的局部剖视图；

图4是实施例二提供的管式PECVD电极杆的局部剖视图。

图中：

1、电极杆本体；2、电极头；21、锥状凸起；22、抵接段；23、伸缩段；3、弹簧。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

实施例一

本实施例提供了一种管式PECVD电极杆，如图1所示，该管式PECVD电极杆包括电极杆本体1，电极杆本体1用于连接射频电源，用于将射频电源的大电流传导至电极头2处放电。为了固定该管式PECVD电极杆，电极杆本体1的一端设置有外螺纹，可以与安装该管式PECVD电极杆的结构配合连接。

由于以往石墨舟上的电极孔与电极杆采用硬接触，容易产生石墨舟电极孔与电极杆接触不良，工艺过程中放电电流偏差报警，从而导致硅片生产后出现品质异常；在石墨舟电极孔与电极杆未完全接触时，电极杆容易在大电流时耗损加剧，增加使用成本。此外，石墨舟通过桨推送，桨及石墨舟位置偏差时，石墨舟与电极杆相撞，致使桨推送过程中报警、设备异常损坏。再者，石墨舟电极孔与电极杆硬接触对设备左右手机台要求较高，生产过程中，人员需要转动石墨舟，使石墨舟的电极孔端朝向设备电极放射端的电极杆，生产过程中石墨舟未区分左右手设备生产时，会损坏石墨舟及电极杆。

因此，为解决上述问题，该管式PECVD电极杆还包括电极头2，参照图1，电极头2的一端弹性连接于电极杆本体1，可相对电极杆本体1伸缩，能够在石墨舟由浆推送到电极头2处时，电极头2随石墨舟弹性移动，避免与石墨舟硬接触而损坏电极头2或石墨舟。如图1和图2所示，电极头2的端部设置有若干锥状凸起21，锥状凸起21用于直接与石墨舟抵接，电极头由锥状凸起的尖端对石墨舟放电，保证了电极头2与石墨舟之间有效接触传导，降低电极头2在大电流时的损耗，节约成本。同时，使用该管式PECVD电极杆后，石墨舟上无需设置电极孔，因此生产过程中无需区分左右手设备，使用方便。

在本实施例中，锥状凸起21可以为圆锥、棱锥或其他具有尖端的结构。所有的锥状凸起21的尖端均处于同一平面。锥状凸起21可以设置为4个(参照图2)，4个锥状凸起21可以在电极头2与石墨舟之间形成良好支撑，且能够有效地与石墨舟接触，并在尖端放电。可以理解的是，上述锥状凸起21的形状及数量仅为举例说明，本实施不对锥状凸起21的具体结构及数量做限定。

电极头2与电极杆本体1的弹性连接结构具体如图3所示，电极头2包括抵接段22及伸缩段23，锥状凸起21设置于抵接段22的端面上；电极杆本体1的一端开设有容纳腔，伸缩段23伸入容纳腔内且与电极杆本体1滑动连接。电极杆本体1与电极头2之间通过弹簧3连接，弹簧3设置于容纳腔内，且弹簧3的一端连接于容纳腔的内壁，另一端连接于伸缩段23。当石墨舟由浆推送至电极头2处时，石墨舟抵压电极头2，弹簧3被压缩，保证了电极头2与石墨舟之间不会发生硬性撞坏的现象。

为保证该PECVD电极杆能够满足对大电流的放电要求，在本实施例中，弹簧3、电极杆本体1及电极头2均由不锈钢制成。

实施例二

本实施例提供了一种管式PECVD电极杆。本实施例与实施例一不同的是，本实施例中，弹簧3套设于伸缩段23外(参照图4所示)，且弹簧3的一端连接于抵接段22，另一端连接于电极杆本体1的端面。当石墨舟由浆推送至电极头2处时，石墨舟抵压电极头2，弹簧3被压缩，保证了电极头2与石墨舟之间不会发生硬性撞坏的现象。本实施例的其他结构均与实施例一相同，在此不做赘述。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。