本实用新型涉及一种镀膜装置，尤其涉及一种密封性能可靠的连续式磁控溅射镀膜装置。
背景技术：
连续式磁控溅射镀膜装置的镀膜室前后设置有多级真空室，通过逐级增加或减小真空室内的大气压，最终确保镀膜室的真空度满足工艺条件。为便于基片从中通过，每个真空室两侧均具有开口，其中一侧开口设置有翻板阀，确保与前一级真空室隔离。
如CN202913052U公开了一种电容式触摸屏双面镀膜磁控溅射生产线，包括真空镀膜腔体和多个腔体支架，所述的真空镀膜腔体安装在多个腔体支架上，内部设有内传送系统，真空镀膜腔体依次分为进口真空段、进口缓冲真空段、进口过渡真空段、工艺镀膜真空段、出口过渡真空段、出口缓冲真空段和出口真空段七段；每段均设有抽气系统，真空腔体之间采用插板阀或翻板阀隔开，可以实现有效隔断，稳定工艺气体。
如CN207525333U公开了一种适用真空镀膜机的翻板阀装置，包括：用于安装在真空室和主阀腔之间的阀板结构；阀板结构包括用于导通或封闭真空室与主阀腔的阀板；用于带动阀板转动的转轴机构；以及，用于驱动转轴机构旋转的驱动机构，驱动机构包括驱动部件和齿轮齿条传动组件；驱动部件通过齿轮齿条传动组件带动阀板转动。虽然该翻板阀结构简单，但是密封性能欠佳。
如CN103470789公开了一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，包括：一阀口；一阀板；一主传动轴，转动支承于真空腔室壁面上；一连杆，其第一端与主传动轴固定连接，其第二端伸至阀板的背面侧；一枢轴，将阀板与连杆的第二端枢轴连接；一倾角调整装置，由至少一对顶销机构组成，顶销机构包括销孔、滑动销、弹性元件以及螺钉；销孔设于连杆的第二端上，滑动销穿设于销孔中，其朝阀板背面的一端上设弹性元件，其另一端处设所述螺钉，以此螺钉顶压滑动销，滑动销端部的弹性元件抵压阀板的背面；一对顶销机构中的两个顶销机构在连杆长度方向上分列于枢轴的两侧；一旋转驱动机构，驱动主传动轴旋转。该翻板阀密封性能有所改善，但是结构复杂，不易于实现。
技术实现要素：
本实用新型提供了一种连续式磁控溅射镀膜装置，解决了现有装置翻板阀结构复杂或密封性能欠佳的问题。
一种连续式磁控溅射镀膜设备，包括：
侧壁具有物料输送口的真空室；
密封所述物料输送口的翻板阀，具有绕转轴可翻转的阀板；
通过若干连杆与所述侧壁活动连接的压条，所述压条沿其长度方向移动时靠近或远离所述阀板，并在翻板阀关闭时压紧所述阀板。
优选的，所述压条上设置有多个与阀板配合的滚轮，在压条平移过程中，滚轮沿着压板滚动，可以逐渐压紧所述阀板，提高密封性能。
优选的，所述阀板包括板体以及若干连接转轴和板体的连接板，在翻板阀关闭时，所述压条接触压紧所述连接板接触压紧配合，该结构一方面便于阀板的组装和拆卸，另一方面板体不是直接连接转轴，也有助于阀板与物料输送口密封配合。
优选的，所述压条上设置有多个与阀板配合的滚轮，所述滚轮与连接板一一对应设置，滚轮与连接板配合，将压力传递给板体，使其与物料传输口密封配合。
优选的，所述连接板的端部具有与滚轮配合的导向斜面，可以逐渐压紧阀板。
优选的，包括驱动压条移动的油缸，所述油缸的活塞杆通过连动杆与压条一端连接，所述连动杆两端分别与活塞杆和压条转动连接，活塞杆伸缩时，驱动压条平移，由于连杆的拉扯，压条靠近或远离阀板。
所述物料输送口的内侧设置有用于支撑基片的托架。
本实用新型镀膜设备阀板与物料输送口密封配合，并利用可移动的压条压紧，相对于现有翻板阀结构简单，密封性能更加优良。
附图说明
图1为本实用新型翻板阀打开状态的结构示意图。
图2为图1所示翻板阀正面结构示意图。
图3为图2的A-A方向剖面图。
图4为本实用新型翻板阀关闭状态的结构示意图。
图5为图4所示翻板阀的正面结构示意图。
图6为图5的B-B方向剖面图。
具体实施方式
如图1-6所示，一种连续式磁控溅射镀膜设备，主要用于玻璃基片的镀膜，由多个依次串接的真空室组成，因其改进主要在于翻板阀的结构，因此图1-6只出示了翻板阀处的结构。
如图1-6所示，真空室其中一个侧壁设置有物料输送口1，该侧壁内侧设置有可翻转的阀板2，阀板2由板体21和连接板23组成，连接板23两端分别通过螺栓与板体21和转轴22固定连接，转轴22的一端连接安装于真空室外的电机输出轴(图中未示出)，板体21与物料输送口1配合，密封整个真空室。
物料输送口1的内侧还设置有压条3，压条3通过多个等长的连杆4与真空室的侧壁活动连接，压条3为水平设置，连杆4的两端分别与真空室侧壁和压条3转动连接，当压条3平移时，压条3靠近或远离阀板2，并且在翻板阀关闭时，压条3压紧阀板2。
为了提高密封性能，压条3上设置有多个与连接板23一一对应设置的滚轮31，连接板23的端部具有与滚轮31配合的导向斜面230，当压条3压紧阀板2时，滚轮31沿着斜面230滚动，逐渐压紧阀板2。
如图1和4所示，压条3一端通过连动杆32与油缸(图中未示出)的活塞杆33连接，连动杆32的两端分别与压条3和活塞杆33转动连接，当活塞杆伸缩时，推动压条3平移，从而靠近或远离阀板2。
真空室内还设置有两个托架5，托架5的顶部设置有托架辊，便于基片在内部输送。
本实用新型工作原理如下：
如图1-3所示，阀板2处于打开状态，油缸的活塞杆33收缩，拉动压条3远离阀板2，连杆4垂直真空室的侧壁。如图4-6所示，阀板2处于关闭状态，油缸的活塞杆33伸长，推动压条3向阀板3靠近，滚轮31接触连接板23的端部，并与导向斜面230接触，逐渐压紧阀板2，使得阀板2与物料输送口完全密封配合。当需要打开翻板阀时，则油缸拉动压条3，压条3远离阀板2，阀板2反方向翻转，打开物料输送口，可以让玻璃基片进入真空室。