一种镀膜修正调整结构的制作方法

本实用新型属于镀膜设备技术领域，涉及一种镀膜修正调整结构。

背景技术：

镜片、手机屏幕以及电子产品的屏幕等在生产加工的过程中，需要进行镀膜，镀膜的方式包括蒸发镀膜和溅射镀膜，通过镀膜可以使产品具有相应的性能，在镀膜的过程中，常常需要使用到修正板，通过修正板来调节遮挡区域，来提高镀膜的均匀性或者渐变性。

现有的修正板，例如中国专利文献资料公开了大面积连续磁控溅射镀膜均匀性调整装置[申请号：201310039255.4；授权公告号：CN103074587B]，其包括安装架和多块修正小滑块；多块修正小滑块并行排列，并且垂直安装在矩形安装架的至少一边内框上，每个修正小滑块均可相对于安装架滑动；修正小滑块伸出端的边缘在矩形安装架内框区域形成调整曲线，安装架和修正小滑块均采用不导磁材料。

该种结构的调整装置，可提高一定等离子刻蚀速率上的有效沉积速率。但是该种结构的调整装置，修正小滑块伸出端的边缘在矩形安装架内框区域形成调整曲线，即修正小滑块的该端是呈弧形的，而且安装时，每个修正小滑块均有自己的安装位置，这就使人们需要逐个进行确定每个修正小滑块的安装位置，这就增大了工作量，导致该种结构的调整装置安装麻烦。

技术实现要素：

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的上述问题，提出了一种镀膜修正调整结构，解决的技术问题是如何使调整结构安装方便。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：一种镀膜修正调整结构，包括安装架、若干片修正片和若干个调节螺栓，所述修正片和调节螺栓一一对应设置，其特征在于，所述修正片呈长方体状，所有修正片的形状大小均相同，所述修正片上具有贯穿的呈条形的调节孔，所述调节孔的长度方向与修正片的长度方向相同，通过调节螺栓穿过调节孔使修正片固定在安装架上，相邻两片修正片的两侧边沿相贴合，相邻两片修正片的两端相齐平或者相邻两片修正片的两端错开设置。

本调整结构所有修正片均呈长方体状，且形状大小均相同，即安装时，无需特意确定每片修正片的安装位置，不存在安错位置的问题，通过调节螺栓穿过调节孔使修正片固定在安装架上，使本调整结构安装方便。根据测试结果，旋松相应的调节螺栓，左右平移修正片，调整每片修正片的遮挡位置，使本调整结构对镀膜起到渐变的调整或者使镀膜均匀。

在上述的一种镀膜修正调整结构中，所述调节孔的长度为修正片长度的1/3-1/2，所有所述调节孔的一端均不会伸到安装架外。该种结构，使修正片调节范围足够大的同时使调节孔不会影响到镀膜，提高本调节结构的修正效果。

在上述的一种镀膜修正调整结构中，所述调节孔的宽度为修正片宽度的1/3-1/2。该种结构，使修正片具有足够强度的同时使修正片固定的牢固程度高。

在上述的一种镀膜修正调整结构中，所述调节螺栓为内六角螺栓或者为外六角螺栓。

在上述的一种镀膜修正调整结构中，所述调整结构还包括呈直角状的固定角铁，所述固定角铁的一边贴靠在安装架上，所述固定角铁通过紧固件与安装架相固连，所述固定角铁的另一边具有供紧固件穿过的固定孔。修正片先固定在安装架上，再通过固定角铁和紧固件将安装架固定在设备的内部，固连方便。

与现有技术相比，本实用新型提供的镀膜修正调整结构所有修正片均呈长方体状，且形状大小均相同，即安装时，无需特意确定每片修正片的安装位置，不存在安错位置的问题，使本调整结构安装方便。

附图说明

图1是本镀膜修正调整结构的主视图。

图2是本镀膜修正调整结构的俯视图。

图中，1、安装架；2、修正片；3、调节螺栓；4、调节孔；5、固定角铁；6、紧固件。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图，对本实用新型的技术方案作进一步的描述，但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1所示，本镀膜修正调整结构包括安装架1、修正片2、调节螺栓3和固定角铁5。

修正片2呈长方体状，所有修正片2的形状大小均相同，本实施例中，修正片2的数量为四十五个，在实际生产中，修正片2的数量可以为三十片或者六十片。相邻两片修正片2的两侧边沿相贴合，部分相邻两片修正片2的两端相齐平，剩下的其余部分相邻两片修正片2的两端错开设置。

修正片2上具有贯穿的呈条形的调节孔4，调节孔4的长度方向与修正片2的长度方向相同，通过调节螺栓3穿过调节孔4使修正片2固定在安装架1上，修正片2和调节螺栓3一一对应设置，本实施例中，调节孔4的长度为修正片2长度的2/5，调节孔4的宽度为修正片2宽度的2/5，调节螺栓3为内六角螺栓，在实际生产中，调节孔4的长度为修正片2长度的1/3或者1/2，调节孔4的宽度为修正片2宽度1/3或者1/2，调节螺栓3为外六角螺栓。

如图2所示，固定角铁5呈直角状，固定角铁5的一边贴靠在安装架1上，固定角铁5通过紧固件6如螺栓与安装架1相固连，固定角铁5的另一边具有供紧固件6如螺栓穿过的固定孔，然后将安装架1固定在设备的内部。

使用时，根据测试的结果，旋松调节螺栓3，平移修正片2即可。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代，但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

尽管本文较多地使用了安装架1、修正片2、调节螺栓3、调节孔4、固定角铁5、紧固件6等术语，但并不排除使用其它术语的可能性。使用这些术语仅仅是为了更方便地描述和解释本实用新型的本质；把它们解释成任何一种附加的限制都是与本实用新型精神相违背的。