一种钼片清洗用鼓泡器的制作方法

本实用新型涉及芯片处理装置技术领域，尤其涉及一种钼片清洗用鼓泡器。

背景技术：

芯片制作过程中，需要对原材料进行清洗操作，在钼片清洗过程中，需要通入氮气保护，现有的清洗装置都是直接将氮气通入清洗槽中，这样很难保证钼片清洗的效果，因为氮气在清洗槽的分布不够均匀，无法保证清洗效果。

授权公告号为：CN 205329209 U的实用新型公开了供一种钼片清洗用鼓泡器，包括一管本体，用于存放液体反应物；第一进气管插入所述管本体中，用于将气体通入所述管本体的液体反应物中，以进行起泡，形成含有反应物的饱和气体；废液管与所述管本体连接；还包括一第二进气管，一端与所述第一进气管的进气端连通，另一端与所述废液管连通，用于在第一进气管堵塞的情况下将气体由所述废液管通入所述管本体中；第一阀门设置在废液管上，位于管本体与第二进气管连接点之间，用于控制废液管的开闭；流量监控器与所述第一进气管连接，用于监控第一进气管的气体流量；阀门控制器与所述流量监控器以及第一阀门连接，用于在流量监控器监控的第一进气管的气体流量小于预设值的情况下，控制第一阀门开启；该专利结构复杂，而且不方便与清洗槽相互配合使用，同时也不能保证通入气体的均匀性。

技术实现要素：

本实用新型的目的是提供一种钼片清洗用鼓泡器，解决了现有技术中清洗装置中通入气体不均匀的技术问题。

一种钼片清洗用鼓泡器，包括圆盘，所述圆盘上开设有多个通孔，且圆盘的外侧间隔设置有隔条，所述隔条上穿设有气管，所述气管上开设有多个气孔。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进：

进一步地，所述气管呈M字型绕向，且气管穿过所述隔条，采用本步的有益效果是通过M字型绕向，保证气管分布的均匀性。

进一步地，所述隔条为两个，所述隔条将通孔分成第一通孔组、第二通孔组和第三通孔组，所述第一通孔组和第三通孔组的孔数目一致，所述第二通孔组位于所述第一通孔组、第三通孔组之间，采用本步的有益效果是通过对通孔的分布进行设计，保证鼓泡器在清洗槽内部能够相对稳定，不会产生翻滚。

进一步地，所述圆盘上开设有多个螺栓孔，所述螺栓孔内部设置有螺栓将隔条安装在圆盘上，采用本步的有益效果是便于加工隔条和圆盘，也便于它们之间的组装。

进一步地，所述通孔的直径为10mm，所述螺栓孔的直径为13.5mm。

本实用新型的有益效果：

1.本实用新型提供一种钼片清洗用鼓泡器，用于钼片清洗过程中通入氮气，本实用新型分成三部分组装而成，这样便于单独部件的加工。

2.本实用新型采用气管M字型绕向，保证气管能够平铺在圆盘的一侧，这样气体从气孔出去时，能够均匀，保证气体的均匀性。

3.本实用新型中的通孔分成三部分，位于两侧部分的通孔数目一致，这样本实用新型在使用时不会发生翻滚，影响使用。

4.本实用新型结构简单，操作方便，且均匀性好。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型具体实施例所述的一种钼片清洗用鼓泡器的结构示意图；

图2为本实用新型具体实施例所述的一种钼片清洗用鼓泡器的圆盘的结构示意图；

附图标记：

1-圆盘；2-通孔；3-隔条；4-气管；5-气孔；6-螺栓孔；7-螺栓；

201-第一通孔组；202-第二通孔组；203-第三通孔组。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域技术人员所理解的通常意义。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如图1-2所示，本实用新型所提供的一种钼片清洗用鼓泡器，包括圆盘1，所述圆盘1上开设有多个通孔2，且圆盘1的外侧间隔设置有隔条3，所述隔条3上穿设有气管4，所述气管4上开设有多个气孔5；本实施例中的鼓泡器分成三部分，圆盘1、隔条3和气管4，圆盘1是便于与清洗槽相互配合使用，即便于放置；隔条3可以对通孔2进行分隔，也是用于穿设气管作为气管的支架，保证气管的稳定性，在使用时，气体从气孔5喷出，在从通孔2分散出去，完成通气操作。

如图1所示，所述气管4呈M字型绕向，且气管4穿过所述隔条3，通过M字型绕向，保证气管分布的均匀性，同时也能够保证气管4能够稳定的固定在圆盘1的一侧。

如图1所示，所述隔条3为两个，所述隔条3将通孔2分成第一通孔组201、第二通孔组202和第三通孔组203，所述第一通孔组201和第三通孔组203的孔数目一致，所述第二通孔组202位于所述第一通孔组201、第三通孔组203之间，本实施例是通过隔条3的阻挡，将通孔2分成三部分，位于两侧部分的通孔组的孔数目一致，这样在气管通气时，圆盘1不会发生翻滚，影响其使用。

如图1所示，所述圆盘1上开设有多个螺栓孔6，所述螺栓孔6内部设置有螺栓7将隔条3安装在圆盘1上，分开组装，便于加工隔条和圆盘，螺栓也能够保证它们之间组装的稳定性。

如图1所示，所述通孔2的直径为10mm，所述螺栓孔6的直径为13.5mm。

本实用新型的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本实用新型的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求和说明书的范围当中。