一种新型电脑面板加工用磁控溅镀机的制作方法

本实用新型属于电子设备相关技术领域，具体涉及一种新型电脑面板加工用磁控溅镀机。

背景技术：

在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜，溅镀与常用的蒸发镀相比，溅镀具有电镀层与基材的结合力强-附着力比蒸发镀高过10倍以上，电镀层致密，均匀等优点，溅镀机由真空室，排气系统，溅射源和控制系统组成。

现有的磁控溅镀机技术存在以下问题：现有的磁控溅镀机在进行使用之后需要取下该真空室，然后取出加工的零件，但是取出的真空室一般都是放置在地面或者桌面上，这样可能会由于晃动导致真空室出现倾倒的现象，严重的时候可能会造成该真空室损坏的现象的问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种新型电脑面板加工用磁控溅镀机，以解决上述背景技术中提出的现有的磁控溅镀机在进行使用的时候真空室没有放置的位置可能会使得真空室出现损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型电脑面板加工用磁控溅镀机，包括机箱与前侧板，所述机箱的前端的表侧设置有前侧板，所述机箱与前侧板通过螺钉固定连接，所述前侧板的前端的表侧的轴心处设置有显示屏，所述显示屏的右端设置有显示灯，所述显示灯与电源开关电性连接，所述显示灯的右端设置有启动按键，所述机箱的下端的四角处各设置有一个垫脚，所述机箱的上端的左侧的表端设置有真空室，所述真空室的上端设置有排气系统，所述排气系统套接在真空室的上端的表侧。

优选的，所述机箱的组成包括有外壳与放置台，所述外壳为内部中空的矩形体结构，所述外壳的上端的表侧的右端设置有放置台，所述机箱通过外壳与前侧板通过螺钉固定连接。

优选的，所述真空室的组成包括有端盖、溅射源、壳体、固定台与底座，所述端盖的下端设置有壳体，所述壳体的内部的上端设置有溅射源，所述壳体的下端设置有底座，所述底座的上端的表侧设置有固定台，所述真空室通过底座与机箱套接固定。

优选的，所述排气系统的组成包括有固定部、排气管、排气阀门与连接部，所述固定部的上端的表侧设置有排气管，所述排气管的右端的下侧设置有排气阀门，所述排气阀门的下端设置有连接部，所述排气系统通过连接部与真空室套接固定。

优选的，所述机箱的下端的四角处各设置有一个垫脚，四个所述垫脚的下端各设置有一个防滑垫，四个所述垫脚分别与机箱通过螺栓固定连接。

优选的，所述机箱为内部中空的矩形体结构，所述机箱的后侧的表端设置有散热风扇，所述机箱的下端的四角处各设置有一个螺纹孔。

优选的，所述启动按键为扁平状的按钮状的结构，所述启动按键在接通电源的时候按下第一次为启动电源，所述启动按键在动力得到提供的时候按下第二次为关闭电源。

优选的，所述真空室为内部中空的圆柱体结构，所述真空室的下端的表侧设置有内螺纹槽，所述真空室的上端的表侧设置有一个圆形的孔洞状的结构。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种新型电脑面板加工用磁控溅镀机，具备以下有益效果：

(1)、本实用新型中通过在该机箱的右侧的上表端设置有一个放置台，这样在真空室完成工作之后可以使得真空室放置在放置台的表端，这样避免了该真空室由于外界的晃动导致出现倾倒的现象，从而解决了现有的磁控溅镀机在进行使用的时候真空室没有放置的位置可能会使得真空室出现损坏的问题；

(2)、本实用新型中通过将放置台设置成一个圆环体的结构，这样在进行放置台的放置的时候，可以使得通过该放置台的内部的环体进行更好的放置，避免了真空室出现放置不稳的现象。

附图说明

图1为本实用新型的电脑面板加工用磁控溅镀机结构示意图；

图2为本实用新型的机箱结构示意图；

图3为本实用新型的真空室结构示意图；

图4为本实用新型的排气系统结构示意图；

图中：1、前侧板；2、显示屏；3、显示灯；4、垫脚；5、启动按键；6、机箱；61、外壳；62、放置台；7、真空室；71、端盖；72、溅射源；73、壳体；74、固定台；75、底座；8、排气系统；81、固定部；82、排气管；83、排气阀门；84、连接部。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种新型电脑面板加工用磁控溅镀机，包括机箱6与前侧板1，机箱6为内部中空的矩形体结构，从而可以使得在机箱6的作用下可以更好的进行散热的作用，机箱6的后侧的表端设置有散热风扇，机箱6的下端的四角处各设置有一个螺纹孔，机箱6的前端的表侧设置有前侧板1，机箱6与前侧板1通过螺钉固定连接，前侧板1的前端的表侧的轴心处设置有显示屏2，显示屏2的右端设置有显示灯3，显示灯3与电源开关电性连接，显示灯3的右端设置有启动按键5，启动按键5为扁平状的按钮状的结构，启动按键5在接通电源的时候按下第一次为启动电源，从而可以使得更好的进行动力的提供与断开，启动按键5在动力得到提供的时候按下第二次为关闭电源，机箱6的下端的四角处各设置有一个垫脚4，机箱6的上端的左侧的表端设置有真空室7，真空室7为内部中空的圆柱体结构，从而可以使得更好的进行连接与固定，真空室7的下端的表侧设置有内螺纹槽，真空室7的上端的表侧设置有一个圆形的孔洞状的结构，机箱6的下端的四角处各设置有一个垫脚4，通过垫脚4的设置，这样可以使得更好的进行支撑的作用，四个垫脚4的下端各设置有一个防滑垫，四个垫脚4分别与机箱6通过螺栓固定连接，机箱6的组成包括有外壳61与放置台62，外壳61为内部中空的矩形体结构，外壳61的上端的表侧的右端设置有放置台62，机箱6通过外壳61与前侧板1通过螺钉固定连接，真空室7的组成包括有端盖71、溅射源72、壳体73、固定台74与底座75，端盖71的下端设置有壳体73，壳体73的内部的上端设置有溅射源72，通过溅射源72的设置，这样可以使得更好的进行工作，壳体73的下端设置有底座75，底座75的上端的表侧设置有固定台74，真空室7通过底座75与机箱6套接固定，真空室7的上端设置有排气系统8，排气系统8的组成包括有固定部81、排气管82、排气阀门83与连接部84，固定部81的上端的表侧设置有排气管82，通过排气管82的设置，这样可以使得更好的进行排气的作用，排气管82的右端的下侧设置有排气阀门83，排气阀门83的下端设置有连接部84，排气系统8通过连接部84与真空室7套接固定，排气系统8套接在真空室7的上端的表侧。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型安装好过后，首先检查此种机器是否能够正常工作，检查电线上的插头与插座是否连接完毕，若出现不正常的噪音，应立即关闭此种机器，等待专业人员的维修，当要进行该溅射机的使用的时候，这时首先将待要溅射的物品取出，然后打开真空室7，使得待要溅射的物品放置在真空室7内部的固定台74的表端，然后使得真空室7内部真空至10e-4mbar范围，同时该工艺要求真空度在1.3×10-3pa的真空状态充入惰性气体氩气，注入氩气至10e-3bar范围，施以直流电压，氩气在电场中被离子化，产生氩离子及自由电子，因电场关系，氩离子向金属靶材加速，自由电子向阳极加速，被加速的氩离子和自由离子撞向其他氩原子，因动能转移，使更多的氩原子被离子化，大量氩离子撞击靶材表面，氩离子的动能转移至靶材原子，一部分转化为靶材原子的动能，一部分转化为热，因此靶材必须用冷却水冷却，当靶材原子获得足够的动能，就会脱离靶材表面并自由在溅镀腔体内移动，最后覆盖于基板表面，靶材下的磁场会提高等离子体的一致性，改变溅镀层的厚度均匀性，并在塑胶基材和金属靶材之间加上高压直流电，之后通过溅射源72由于辉光放电产生的电子激发惰性气体，产生等离子体，等离子体将金属靶材的原子轰出，沉积在塑胶基材上，这样就完成了该设备的使用了，最后取出待要溅射的物品即可，在真空室7完成工作之后可以使得真空室7放置在放置台62的表端，这样避免了该真空室7由于外界的晃动导致出现倾倒的现象。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。