换靶装置的制作方法

本实用新型属于装换靶材
技术领域：
，尤其涉及一种换靶装置。
背景技术：
：在溅射镀膜生产线中，柱靶也可是水平放置，也即是柱靶的长度方向平行于水平面，目前更换柱靶是采用人手作业，也即是将柱靶推入溅射镀膜生产线或从溅射镀膜生产线拉出过程中，柱靶会出现一定侧倾，使得柱靶与用于安置柱靶的靶槽的槽壁发生摩擦、磕碰等。技术实现要素：本实用新型的目的在于克服上述现有技术的不足，提供了一种换靶装置，其旨在解决柱靶更换难度大的问题。本实用新型是这样实现的：一种换靶装置，与溅射镀膜生产线配合使用，所述溅射镀膜生产线于且侧面开设有至少一个用于安置柱靶的靶槽，所述靶槽的槽口方向为平行水平面的置靶方向，所述换靶装置包括：移动小车；导向导轨，与所述移动小车滑接配合，并沿所述置靶方向延伸设置，且用于引导所述移动小车沿所述置靶方向移动；连靶机构，连接于所述移动小车，并用于与所述柱靶可拆卸连接。可选地，所述换靶装置还包括升降机构，所述升降机构连接于所述移动小车，并用于驱动所述连靶机构上下运动。可选地，所述换靶装置还包括防落机构，所述防落结构用于在所述连靶机构升降至预设位置时限制所述连靶机构下坠。可选地，所述导向导轨位于所述溅射镀膜生产线下方。可选地，所述移动小车包括用于承载所述连靶机构的车本体、连接于所述车本体下方并用于支撑所述车主体且使所述车本体移动的移动结构以及连接于所述车本体下方并与所述导向导轨滑接配合并在所述导向导轨的导向下沿由所述置靶方向移动的导向结构。可选地，所述移动结构包括至少三个万向轮。可选地，所述导向结构包括至少两个且沿置靶方向间隔设置的导向轮组，所述导向轮组包括分别固定接触与所述导向导轨两侧的滚轮。可选地，所述换靶装置还包括连接于所述移动小车并位于所述连靶机构下方的接水盘。可选地，所述换靶装置还包括连接所述移动小车的脚刹。可选地，所述换靶装置还包括连接于所述移动小车并供人手抓持的手把。在需要将柱靶装配至靶槽时，首先，由外部接支撑结构在移动小车上将柱靶支撑到预设高度，且柱靶还沿置靶方向延伸设置，其次，将柱靶连接到连靶机构，再次，将柱靶另一端置入到靶槽内，并从移动小车撤销外部接支撑结构，此时，由溅射镀膜生产线和换靶装置共同支撑柱靶，最后，移动小车沿导向导轨朝溅射镀膜生产线，从而带动柱靶插入到靶槽内；而在需要将柱靶从靶槽取出时，首先，将柱靶连接到连靶机构，其次，移动小车沿导向导轨朝背离溅射镀膜生产线的方向移动，其中，在将柱靶完全从靶槽拉出时，外部接支撑结构在移动小车上支撑柱靶，最后，移动小车继续沿导向导轨朝背离溅射镀膜生产线的方向移动，直至将柱靶完全从靶槽拉出。在本实用新型实施例中，由于导向导轨用于引导移动小车沿置靶方向移动，移动小车在导向导轨的作用下，只能沿置靶方向移动，这样，将柱靶插入到靶槽以及将靶材从靶槽中拉出的过程中，柱靶也只能沿置靶方向移动，柱靶不会发生侧倾，从而避免了柱靶与靶槽的槽壁发生摩擦、磕碰等，这样，有利于降低装配、更换难度，以及在装配以及更换过程中保护柱靶，提高安全性和便捷性。附图说明为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本实用新型实施例提供的换靶装置的立体结构图；图2是本实用新型实施例提供的换靶装置的侧视图；图3是本实用新型实施例提供的换靶装置中导向导轨的立体结构图。附图标号说明：标号名称标号名称100移动小车110车本体120移动结构121万向轮130导向结构131导向轮组1311滚轮200导向导轨300连靶机构400升降机构500防落机构600接水盘700手把800柱靶具体实施方式为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。请参阅图1和图2，本实用新型实施例提供一种换靶装置，与溅射镀膜生产线配合使用，溅射镀膜生产线于且侧面开设有至少一个用于安置柱靶800的靶槽，靶槽的槽口方向为平行水平面的置靶方向。在此需要说明的是，溅射镀膜生产线可以是loop卧式ito溅射镀膜生产线。在此还需要说明的是，柱靶800包括靶材和用于安置靶材并呈柱状的安置结构。请参阅图1至图3，该换靶装置包括移动小车100、导向导轨200和连靶机构300。移动小车100用于实现与支撑面相对于移动，从而带动连靶机构300相对移动，该支撑面平行于水平面，可以是地面，也可以是楼面等。导向导轨200与移动小车100滑接配合，并沿置靶方向延伸设置，且用于引导移动小车100沿置靶方向移动；导向导轨200可以由金属材料制成，可以是由水泥等制成。连靶机构300连接于移动小车100，并用于与柱靶800一端可拆卸连接；连靶机构300的实际结构可以根据柱靶800实际结构对应设置即可，在具体实施过程中，也可以在柱靶800上设置能够与连靶机构300实现可拆卸连接的连接结构。在此需要说明的是，导向导轨200与移动小车100之间可以是一直处于滑接配合，也可以是在需要使用时才将移动小车100滑接配合至导向导轨200，其中，无论是何种情况，导向导轨200与移动小车100之间至少能滑动至连靶机构300与溅射镀膜生产线之间的间距大于柱靶800的长度。在需要将柱靶800装配至靶槽时，首先，由外部接支撑结构在移动小车100上将柱靶800支撑到预设高度，且柱靶800还沿置靶方向延伸设置，其次，将柱靶800连接到连靶机构300，再次，将柱靶800另一端置入到靶槽内，并从移动小车100撤销外部接支撑结构，此时，由溅射镀膜生产线和换靶装置共同支撑柱靶800，最后，移动小车100沿导向导轨200朝溅射镀膜生产线，从而带动柱靶800插入到靶槽内；而在需要将柱靶800从靶槽取出时，首先，将柱靶800连接到连靶机构300，其次，移动小车100沿导向导轨200朝背离溅射镀膜生产线的方向移动，其中，在将柱靶800完全从靶槽拉出时，外部接支撑结构在移动小车100上支撑柱靶800，最后，移动小车100继续沿导向导轨200朝背离溅射镀膜生产线的方向移动，直至将柱靶800完全从靶槽拉出。在本实用新型实施例中，由于导向导轨200用于引导移动小车100沿置靶方向移动，移动小车100在导向导轨200的作用下，只能沿置靶方向移动，这样，将柱靶800插入到靶槽以及将靶材从靶槽中拉出的过程中，柱靶800也只能沿置靶方向移动，柱靶800不会发生侧倾，从而避免了柱靶800与靶槽的槽壁发生摩擦、磕碰等，这样，有利于降低装配、更换难度，以及在装配以及更换过程中保护柱靶800，提高安全性和便捷性。请参阅图1和图2，在本实用新型实施例中，换靶装置还包括升降机构400，升降机构400连接于移动小车100，并用于驱动连靶机构300上下运动。溅射镀膜生产线通常需要有多个柱靶800，为节约空间，可以在一竖向方向上设置多个柱靶800。基于此结构设计，通过升降机构400驱动连靶机构300上下运动，使得对一个柱靶800进行作业(装配、更换)后，还可以对同一竖向方向上的另一柱靶800进行作业，而不需要挪移换靶装置，从而有利于提高作业效率。在此需要说明的是，升降机构400可以是手动操作来实现升降，在结构上可通过一滑轮组配合一手摇绞盘来实现，升降机构400也可以是电动操作来实现升降，在结构上可通过链传动组件以及驱动电机来实现。在本实用新型实施例中，升降机构400在结构上通过链传动组件以及驱动电机来实现。请参阅图1和图2，在本实用新型实施例中，换靶装置还包括防落机构500，防落结构用于在连靶机构300升降至预设位置时限制连靶机构300下坠。这样，在连靶机构300移动到预设高度时，如仅通过升降机构400来限制连板机构下坠，在连靶机构300承载柱靶800时，升降机构400容易被损坏，而通过防落机构500来限制连靶机构300下坠，对升降机构400起到保护作用。在本实用新型实施例中，导向导轨200位于溅射镀膜生产线下方。基于此结构，当不需要进行作业时，可将移动小车100、连靶机构300等取离现场。请参阅图1和图2，在本实用新型实施例中，移动小车100包括用于承载连靶机构300的车本体110、连接于车本体110下方并用于支撑车主体且使车本体110移动的移动结构120以及连接于车本体110下方并与导向导轨200滑接配合并在导向导轨200的导向下沿由置靶方向移动的导向结构130。具体地，移动结构120包括至少三个万向轮121。这样，在移动过程中，移动小车100相对于支撑面之间摩擦为滚动摩擦，能够减少推动移动小车100所需的外力。具体地，导向结构130包括至少两个且沿置靶方向间隔设置的导向轮组131，导向轮组131包括分别固定接触与导向导轨200两侧的滚轮1311。在作业(装配、更换)过程中，移动小车100相对于导向导轨200之间的摩擦为滚动摩擦，也能够减少推动移动小车100所需的外力。请参阅图1和图2，在本实用新型实施例中，换靶装置还包括连接于移动小车100并位于连靶机构300下方的接水盘600。在本实用新型实施例中，换靶装置还包括连接移动小车100的脚刹，这样，当移动小车100移动到预设位置，通过脚刹将移动小车100定在预设位置，避免移动小车100移动。请参阅图1和图2，在本实用新型实施例中，换靶装置还包括连接于移动小车100并供人手抓持的手把700，便于工作人员通过手把700推动移动小车100。以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。当前第1页12