本实用新型涉及靶材加热技术领域，具体来说，涉及一种溅射靶材加热平台。
背景技术：
靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料，主要使用在微电子、显示器、存储器以及光学镀膜等产业上，市场对靶材溅射薄膜、ito靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。
对于现有的靶材涂铟加热平台，如专利公开号为cn205385619u的中国专利，其公开了一种靶材涂铟加热平台，包括不锈钢框架、柜体部分和安装在不锈钢框架上部的加热平台；加热平台上设有孔，孔内装有发热管。上述专利钎焊溅射靶材时，需要投入较多的钎料，以确保焊接的牢固性，而过多的焊料融化后，液态焊料易向加热平台周侧流动，继而滴落在地面，影响车间内部卫生和清洁，且加热不够均匀，不易固定靶材本体。
针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。
技术实现要素：
针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种溅射靶材加热平台，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。
本实用新型的技术方案是这样实现的：
一种溅射靶材加热平台，包括固定底板，所述固定底板下方固定设有蓄电池，所述固定底板上方设有溅射靶材加热平台，所述溅射靶材加热平台包括外箱体，所述外箱体的底部设有下加热板，所述下加热板外设有保护壳，所述保护壳与所述下加热板紧密贴合，所述下加热板上设有溅射靶材本体，所述固定底板上位于所述溅射靶材加热平台的两侧均设有固定侧板，所述固定侧板顶端设有支撑横板，所述支撑横板内均设有螺母，所述螺母内贯穿设有螺纹杆，所述螺纹杆的底部均设有连接轴承，所述连接轴承下方设有上加热板，所述上加热板与所述下加热板均与所述蓄电池电性相连，所述上加热板底部设有导热板。
进一步的，所述固定底板下方对称设有支撑腿，所述蓄电池固定在所述支撑腿的两侧。
进一步的，所述固定底板的一侧设有控制箱，所述控制箱与所述下加热板和所述上加热板控制连接。
进一步的，所述下加热板和所述上加热板包括用于加热的电热棒。
进一步的，所述外箱体与所述保护壳之间形成储存仓，所述外箱体的一侧设有排出管，所述排出管上设有控制阀。
本实用新型提供了一种溅射靶材加热平台，有益效果如下：
（1）、通过在固定底板上方设有溅射靶材加热平台，溅射靶材加热平台包括外箱体，外箱体的底部设有下加热板，下加热板外设有保护壳，下加热板上设有溅射靶材本体，固定底板上位于溅射靶材加热平台的两侧均设有固定侧板，固定侧板顶端设有支撑横板，支撑横板内均设有螺母，螺母内贯穿设有螺纹杆，螺纹杆的底部均设有连接轴承，连接轴承下方设有上加热板，上加热板底部设有导热板，使用时，将溅射靶材本体放在下加热板上，再利用螺母与螺纹杆的配合，利用连接轴承的作用，使上加热板缓慢的贴合溅射靶材本体的上部，再对上加热板与下加热板通电，使其对溅射靶材本体进行均匀的加热，同时具备固定作用，多余的液态焊料则会流入储存仓内，这样的装置结构简单，使用方便，可以均匀的对溅射靶材本体进行加热，同时具备固定的作用，且不会影响车间内部卫生和清洁。
（2）、在固定底板下方对称设有支撑腿，所述蓄电池固定在所述支撑腿的两侧，对固定底板起到支撑的作用。
（3）、在固定底板的一侧设有控制箱，所述控制箱与所述下加热板和所述上加热板控制连接，便于控制其加热温度。
（4）、下加热板和所述上加热板包括用于加热的电热棒。
（5）、在外箱体与所述保护壳之间形成储存仓，所述外箱体的一侧设有排出管，所述排出管上设有控制阀，便于将收集钎料及时排出。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据本实用新型实施例的一种溅射靶材加热平台的结构示意图；
图2是根据本实用新型实施例的一种溅射靶材加热平台中溅射靶材加热平台的结构示意图。
图中：
1、固定底板；2、蓄电池；3、溅射靶材加热平台；4、外箱体；5、下加热板；6、保护壳；7、溅射靶材本体；8、固定侧板；9、支撑横板；10、螺母；11、螺纹杆；12、连接轴承；13、上加热板；14、电热棒；15、导热板；16、支撑腿；17、控制箱；18、储存仓；19、排出管；20、控制阀。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面，结合附图以及具体实施方式，对本实用新型做出进一步的描述：
实施例一：
请参阅图1-2，根据本实用新型实施例的一种溅射靶材加热平台，包括固定底板1，所述固定底板1下方固定设有蓄电池2，所述固定底板1上方设有溅射靶材加热平台3，所述溅射靶材加热平台3包括外箱体4，所述外箱体4的底部设有下加热板5，所述下加热板5外设有保护壳6，所述保护壳6与所述下加热板5紧密贴合，所述下加热板5上设有溅射靶材本体7，所述固定底板1上位于所述溅射靶材加热平台3的两侧均设有固定侧板8，所述固定侧板8顶端设有支撑横板9，所述支撑横板9内均设有螺母10，所述螺母10内贯穿设有螺纹杆11，所述螺纹杆11的底部均设有连接轴承12，所述连接轴承12下方设有上加热板13，所述上加热板13与所述下加热板5均与所述蓄电池2电性相连，所述上加热板13底部设有导热板15。
通过本实用新型的上述方案，通过在固定底板1上方设有溅射靶材加热平台3，所述溅射靶材加热平台3包括外箱体4，所述外箱体4的底部设有下加热板5，所述下加热板5外设有保护壳6，所述保护壳6与所述下加热板5紧密贴合，所述下加热板5上设有溅射靶材本体7，所述固定底板1上位于所述溅射靶材加热平台3的两侧均设有固定侧板8，所述固定侧板8顶端设有支撑横板9，所述支撑横板9内均设有螺母10，所述螺母10内贯穿设有螺纹杆11，所述螺纹杆11的底部均设有连接轴承12，所述连接轴承12下方设有上加热板13，所述上加热板13底部设有导热板15，使用时，将溅射靶材本体7放在下加热板5上，再利用螺母10与螺纹杆11的配合，利用连接轴承12的作用，使上加热板13缓慢的贴合溅射靶材本体7的上部，再对上加热板13与下加热板5通电，使其对溅射靶材本体7进行均匀的加热，同时具备固定作用，多余的液态焊料则会流入储存仓18内，这样的装置结构简单，使用方便，可以均匀的对溅射靶材本体7进行加热，同时具备固定的作用，且不会影响车间内部卫生和清洁。
实施例二：
如图1-2所示，在固定底板1下方对称设有支撑腿16，所述蓄电池2固定在所述支撑腿16的两侧，对固定底板1起到支撑的作用；在固定底板1的一侧设有控制箱17，所述控制箱17与所述下加热板5和所述上加热板13控制连接，便于控制其加热温度；下加热板5和所述上加热板13包括用于加热的电热棒14；在外箱体4与所述保护壳6之间形成储存仓18，所述外箱体4的一侧设有排出管19，所述排出管19上设有控制阀20，便于将收集钎料及时排出。
为了方便理解本实用新型的上述技术方案，以下就本实用新型在实际过程中的工作原理或者操作方式进行详细说明。
在实际应用时，使用时，将溅射靶材本体7放在下加热板5上，再利用螺母10与螺纹杆11的配合，利用连接轴承12的作用，使上加热板13缓慢的贴合溅射靶材本体7的上部，再对上加热板13与下加热板5通电，使其对溅射靶材本体7进行均匀的加热，同时具备固定作用，多余的液态焊料则会流入储存仓18内，这样的装置结构简单，使用方便，可以均匀的对溅射靶材本体7进行加热，同时具备固定的作用，且不会影响车间内部卫生和清洁。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。