一种金属靶材的制作方法

本实用新型涉及一种金属靶材，属于靶材技术领域。

背景技术：

金属靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，为了扩大靶材的尺寸往往都是将若干靶材片拼接在背板上，在拼接时采用的是将若干具有一定厚度的长方形块靶材片边对边拼接到一块，而这种拼接方式会有缝隙，背板被击穿的风险大，如果背板被击穿，会有渗水的问题，从而影响溅射效率。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种金属靶材。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边向下设置，另一金属靶材片的45度斜边向上设置在所述向下设置的45度斜边的下方，所述向上设置的45度斜边上设有一垂直该斜边的横向的限位条，所述向下设置的45度斜边上开设有一横向的与所述限位条相匹配的用于插入限位条的限位槽。

进一步的，所述金属靶材片有两个，分别为第一金属靶材片和第二金属靶材片，第一金属靶材片的一边设有45度倾斜向下的斜边，第二金属靶材片的其中一边设有45度倾斜向上的斜边，所述45度倾斜向下的斜边恰好与所述45度倾斜向上的斜边拼接。

进一步的，所述限位条恰好填满所述限位槽。

进一步的，所述限位条的长度与斜边长度一致。

进一步的，所述限位条垂直于斜面的横截面为梯形，所述限位槽相应的横截面也为梯形。

进一步的，每个所述金属靶材片的45度斜边的长度相同。

本实用新型所达到的有益效果：

本实用新型的金属靶材采用45度角的斜边拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过限位条和限位槽的设置，此限位条和限位槽与水平面均有一定角度（45度角），能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙；能够从侧面进行拼接，拼接更方便。

附图说明

图1是本实用新型的整体结构示意图；

图2是本实用新型的第二金属靶材片侧面结构示意图；

图3是本实用新型的第一金属靶材片侧面结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如图1、2和3所示，一种金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边3，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边3向下设置，另一金属靶材片的45度斜边3向上设置在所述向下设置的45度斜边的下方，所述向上设置的45度斜边上设有一垂直该斜边的横向的限位条4，所述向下设置的45度斜边上开设有一横向的与所述限位条相匹配的用于插入限位条的限位槽5。

通过两个45度斜边一上一下拼接，能够避免有贯穿的间隙，在两各金属靶材片连接时，将限位条从侧面对准限位槽，沿斜边的边长方向将限位条完整的推入限位槽，能够保证两个相邻金属靶材片固定在一块，限位条从侧面插入限位槽，方便观察，能够快速方便的进行对准。

本实施例中，所述金属靶材片有两个，分别为第一金属靶材片1和第二金属靶材片2，第一金属靶材片1的一边设有45度倾斜向下的斜边，第二金属靶材片2的其中一边设有45度倾斜向上的斜边，所述45度倾斜向下的斜边恰好与所述45度倾斜向上的斜边拼接。

本实施中，所述限位条4恰好填满所述限位槽5。保证整个靶材内部无缝隙。

本实施例中，所述限位条4的长度与斜边长度一致。提高相邻两个金属靶材片之间的连接强度。

本实施例中，所述限位条4垂直于斜面的横截面为梯形，所述限位槽5相应的横截面也为梯形。在从侧面插入限位条时，先将限位条的一端从垂直于斜边的方向插入到限位槽中，而梯形结构，由于上小下大，方便限位条一端的垂直插入，接着很方便的将限位条推入到整个限位槽中。

本实施例中，每个所述金属靶材片的45度斜边的长度相同。保证相邻金属靶材的连接处没有多余部分。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本实用新型的保护范围。

技术特征：

1.一种金属靶材，其特征在于，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边向下设置，另一金属靶材片的45度斜边向上设置在所述向下设置的45度斜边的下方，所述向上设置的45度斜边上设有一垂直该斜边的横向的限位条，所述向下设置的45度斜边上开设有一横向的与所述限位条相匹配的用于插入限位条的限位槽。

2.根据权利要求1所述的金属靶材，其特征在于，所述金属靶材片有两个，分别为第一金属靶材片和第二金属靶材片，第一金属靶材片的一边设有45度倾斜向下的斜边，第二金属靶材片的其中一边设有45度倾斜向上的斜边，所述45度倾斜向下的斜边恰好与所述45度倾斜向上的斜边拼接。

3.根据权利要求1所述的金属靶材，其特征在于，所述限位条恰好填满所述限位槽。

4.根据权利要求1所述的金属靶材，其特征在于，所述限位条的长度与斜边长度一致。

5.根据权利要求3所述的金属靶材，其特征在于，所述限位条垂直于斜面的横截面为梯形，所述限位槽相应的横截面也为梯形。

6.根据权利要求1所述的金属靶材，其特征在于，每个所述金属靶材片的45度斜边的长度相同。

技术总结
本实用新型公开了一种金属靶材，包括若干金属靶材片，每个所述金属靶材片至少设有一个45度斜边，两个相邻金属靶材片中的其中一个金属靶材片的45度斜边向下设置，另一金属靶材片的45度斜边向上设置在所述向下设置的45度斜边的下方，所述向上设置的45度斜边上设有一垂直该斜边的横向的限位条，所述向下设置的45度斜边上开设有一横向的与所述限位条相匹配的用于插入限位条的限位槽。优点采用45度角的斜边拼接，与现有技术的拼接相比不存在贯穿的缝隙，而且通过限位条和限位槽的设置，能够将相邻的靶材片牢牢固定在一起，能够防止靶材片偏移或者位移，进一步避免产生缝隙。

技术研发人员：周其刚;李宪民
受保护的技术使用者：南京欧美达应用材料科技有限公司
技术研发日：2019.12.27
技术公布日：2020.08.07