次，使其均匀包敷管坯，玻璃粉的涂敷厚度在1
‑
3mm。
16.所述步骤s4中，在3000吨立式扩孔机上进行扩孔加工。采用耐高温、高强度的扩孔头，内孔加入玻璃粉润滑。
17.所述步骤s5中，扩孔的管坯连续运送到感应加热炉进行二次加热，加热时间：10
‑
15分钟，加热温度1200
‑
1300℃。优选1250℃。加热好的管坯滚涂玻璃粉，并运送到挤压机中挤压。
18.所述步骤s6中，挤压出的管坯直接运送到水槽，进行淬水热处理。并对管坯进行矫直处理。然后送入酸洗池进行酸洗，以除去表面玻璃粉氧化层。酸洗后的管坯检查修磨内外表面，去除未洗干净的玻璃粉、氧化皮、凹陷、杂质等表面缺陷。
19.所述步骤s7中，处理好的管坯送入lg120两锟轧机进行冷轧加工，过程中总的加工变形量达93％。管子大变形量加工，使其组织均匀、晶粒细小，质量得到了极大的提高。
20.利用本发明的技术方案制作的镍钒合金管靶及生产方法，本方法成功解决了高纯度、多元合金加工硬化严重，易裂，要求成分和晶粒细小均匀，高质量镀膜管靶的生产瓶颈。
具体实施方式
21.一种镍钒合金管靶及生产方法，包括以下操作步骤，步骤s1、电解热熔；步骤s2、混合均匀熔炼；步骤s3、制管喷涂；步骤s4、加热扩口；步骤s5、加热成型；步骤s6、水淬矫直；步骤s7、成型；所述步骤s1：将电解镍以及钒块电解热熔混合；所述步骤s2：将混合后的镍钒进行真空感应炉一次真空熔炼，电子束熔炼炉二次熔炼，得高纯镍钒合金锭；所述步骤s3：将高纯镍钒合金锭，扒皮、打孔制成管坯，对管坯内外表面涂层保护；所述步骤s4：感应加热炉加热，在3000吨立式扩口机中扩孔；所述步骤s5：在6300吨卧式挤压机上进行挤压成型；所述步骤s6：将热成型状态下的管道水淬，水淬后管坯经酸洗矫直；所述步骤s7：在lg120轧机上轧制成型；所述步骤s1中，电解镍采用99.98％，钒块采用99.9％，按比例配料，其配比比例：电解镍：93％，钒：7％；所述步骤s2中，用新的镁砂坩埚，浇铸成φ240
‑
170*500锥形锭，去除冒口，并对表面修磨处理，最好去除掉1mm左右，锭表面无氧化皮、杂质，用浇铸的感应熔炼锭制作电极，进行电子束提纯熔炼，制成￠220
‑
315*600
‑
1500mm铸锭；所述步骤s4中，加工好的管坯进行扩孔挤压。对管坯感应加热，加热温度：1100
‑
1250℃。优选1150℃。涂敷玻璃粉保护润滑，玻璃粉的熔点选1100℃，玻璃粉反复涂敷2
‑
3次，使其均匀包敷管坯，玻璃粉的涂敷厚度在1
‑
3mm；所述步骤s4中，在3000吨立式扩孔机上进行扩孔加工。采用耐高温、高强度的扩孔头，内孔加入玻璃粉润滑；所述步骤s5中，扩孔的管坯连续运送到感应加热炉进行二次加热，加热时间：10
‑
15分钟，加热温度1200
‑
1300℃。优选1250℃。加热好的管坯滚涂玻璃粉，并运送到挤压机中挤压；所述步骤s6中，挤压出的管坯直接运送到水槽，进行淬水热处理。并对管坯进行矫直处理。然后送入酸洗池进行酸洗，以除去表面玻璃粉氧化层。酸洗后的管坯检查修磨内外表面，去除未洗干净的玻璃粉、氧化皮、凹陷、杂质等表面缺陷；所述步骤s7中，处理好的管坯送入lg120两锟轧机进行冷轧加工，这个过程中总的加工变形量达93％。管子大变形量加工，使其组织均匀、晶粒细小，质量得到了极大的提高。
22.本实施方案的特点为，包括以下操作步骤，步骤s1、电解热熔；步骤s2、混合均匀熔炼；步骤s3、制管喷涂；步骤s4、加热扩口；步骤s5、加热成型；步骤s6、水淬矫直；步骤s7、成型；步骤s1：将电解镍以及钒块电解热熔混合；步骤s2：将混合后的镍钒进行真空感应炉一
次真空熔炼，电子束熔炼炉二次熔炼，得高纯镍钒合金锭；步骤s3：将高纯镍钒合金锭，扒皮、打孔制成管坯，对管坯内外表面涂层保护；步骤s4：感应加热炉加热，在3000 吨立式扩口机中扩孔；步骤s5：在6300吨卧式挤压机上进行挤压成型；步骤s6：将热成型状态下的管道水淬，水淬后管坯经酸洗矫直；步骤s7：在lg120轧机上轧制成型；成功解决了高纯度、多元合金加工硬化严重，易裂，要求成分和晶粒细小均匀，高质量镀膜管靶的生产瓶颈。
23.通过本领域人员，将本案中所有电气件与其适配的电源通过导线进行连接，并且应该根据实际情况，选择合适的控制器，以满足控制需求，具体连接以及控制顺序，应参考下述工作原理中，各电气件之间先后工作顺序完成电性连接，其详细连接手段，为本领域公知技术，下述主要介绍工作原理以及过程，不在对电气控制做说明。
24.实施例：步骤s1：将电解镍以及钒块电解热熔混合，电解镍采用99.98％，钒块采用99.9％，按比例配料，其配比比例：电解镍：93％，钒：7％；步骤s2：将混合后的镍钒进行真空感应炉一次真空熔炼，电子束熔炼炉二次熔炼，得高纯镍钒合金锭，用新的镁砂坩埚，浇铸成φ240
‑
170*500锥形锭，去除冒口，并对表面修磨处理，最好去除掉1mm左右，锭表面无氧化皮、杂质，用浇铸的感应熔炼锭制作电极，进行电子束提纯熔炼，制成￠ 220
‑
315*600
‑
1500mm铸锭；步骤s3：将高纯镍钒合金锭，扒皮、打孔制成管坯，对管坯内外表面涂层保护；步骤s4：感应加热炉加热，在3000吨立式扩口机中扩孔，加工好的管坯进行扩孔挤压。对管坯感应加热，加热温度：1100
‑
1250℃。优选1150℃。涂敷玻璃粉保护润滑，玻璃粉的熔点选1100℃，玻璃粉反复涂敷2
‑
3次，使其均匀包敷管坯，玻璃粉的涂敷厚度在1
‑
3mm，在 3000吨立式扩孔机上进行扩孔加工。采用耐高温、高强度的扩孔头，内孔加入玻璃粉润滑；步骤s5：在6300吨卧式挤压机上进行挤压成型，扩孔的管坯连续运送到感应加热炉进行二次加热，加热时间：10
‑
15分钟，加热温度1200
‑
1300℃。优选1250℃。加热好的管坯滚涂玻璃粉，并运送到挤压机中挤压；步骤s6：将热成型状态下的管道水淬，水淬后管坯经酸洗矫直，挤压出的管坯直接运送到水槽，进行淬水热处理。并对管坯进行矫直处理。然后送入酸洗池进行酸洗，以除去表面玻璃粉氧化层。酸洗后的管坯检查修磨内外表面，去除未洗干净的玻璃粉、氧化皮、凹陷、杂质等表面缺陷；步骤s7：在lg120轧机上轧制成型，处理好的管坯送入lg120两锟轧机进行冷轧加工，过程中总的加工变形量达93％。管子大变形量加工，使其组织均匀、晶粒细小，质量得到了极大的提高。
25.上述技术方案仅体现了本发明技术方案的优选技术方案，本技术领域的技术人员对其中某些部分所可能做出的一些变动均体现了本发明的原理，属于本发明的保护范围之内。