一种全自动熔料设备的制作方法

文档序号:22111071发布日期:2020-09-04 14:56阅读:301来源:国知局

本实用新型涉及熔料技术领域,具体是一种全自动熔料设备。



背景技术:

熔料是传统的电子束真空镀膜设备在镀膜过程非常重要的一个环节,电子束真空镀膜设备在镀膜过程中需要先进行熔料操作。然而常见的熔料机的熔料效率低下,需要在熔料过程中不断地打开熔料机更换材料,这样会导致熔料时间过长,此外,频繁开启熔料机会污染熔料产品。



技术实现要素:

本实用新型的目的在于提供一种全自动熔料设备,通过在壳体开设腔室,将坩埚盘设置于腔室内,坩埚盘的一侧设置有电子枪,步进电机的转轴从腔室的底壁伸入腔室内,并与坩埚盘固定。在坩埚盘内加入足量的熔料产品时,步进电机通过转轴控制坩埚盘的转动进而使得电子枪对坩埚盘内的熔料产品进行轰击,并将其熔化。如此,无需频繁开启腔室对熔料产品进行更换,进而能够提高熔料效率并缩短熔料时长,同时能够避免对熔料产品造成污染。

本实用新型实施例提供了一种全自动熔料设备,包括:壳体、坩埚盘、电子枪和步进电机;

所述壳体内开设有腔室;

所述坩埚盘设置于所述腔室内的底壁处;

所述电子枪设置于所述腔室内并位于所述坩埚盘的一侧,所述电子枪朝向所述坩埚盘;

所述步进电机设置于所述壳体内并位于所述腔室外,所述步进电机的转轴从所述腔室的底壁伸入所述腔室内,并与所述坩埚盘固定。

在一种可替代的实施方式中,所述全自动熔料设备还包括:真空排气件和抽气管;

所述真空排气件设置于所述壳体内并靠近所述腔室;

所述抽气管的一端与所述腔室连通,所述抽气管的另一端与所述真空排气件连通。

在一种可替代的实施方式中,所述抽气管的一端从所述腔室的底部或侧壁伸入所述腔室内。

在一种可替代的实施方式中,所述抽气管上设置有阀门。

在一种可替代的实施方式中,所述真空排气件的一侧设置有排气口。

在一种可替代的实施方式中,所述坩埚盘远离所述底壁的一面环绕设置有多个坩埚。

在一种可替代的实施方式中,所述坩埚盘内的坩埚等间距分布。

在一种可替代的实施方式中,所述电子枪的开口朝向所述坩埚盘远离所述底壁的一面。

在一种可替代的实施方式中,所述转轴的外径与所述坩埚盘靠近所述底壁的一面开设的连接孔的内径相同;

所述转轴套设于所述连接孔以实现与坩埚盘的可拆卸式连接。

在一种可替代的实施方式中,所述步进电机的转轴通过磁流体与所述坩埚盘连接。

本实用新型与现有技术相比,具有的有益效果为:

本实用新型实施例所提供一种全自动熔料设备,通过在壳体开设腔室,将坩埚盘设置于腔室内,坩埚盘的一侧设置有电子枪,步进电机的转轴从腔室的底壁伸入腔室内,并与坩埚盘固定。在坩埚盘内加入足量的熔料产品时,步进电机通过转轴控制坩埚盘的转动进而使得电子枪对坩埚盘内的熔料产品进行轰击,并将其熔化。如此,无需频繁开启腔室对熔料产品进行更换,进而能够提高熔料效率并缩短熔料时长,同时能够避免对熔料产品造成污染。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型的技术方案,下面将对实用新型中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例所提供的一种全自动熔料设备的结构示意图。

图中:

1-壳体;11-腔室;

2-坩埚盘;21-坩埚;

3-电子枪;

4-真空排气件;

5-抽气管;51-阀门。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型中的附图,对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。

可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此,以下对在附图中提供的本实用新型的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施例,基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步的定义和解释。

在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接连接,也可以通过中间煤介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例:

请参阅图1,本实用新型实施例提供了一种全自动熔料设备,包括:壳体1、坩埚盘2、电子枪3和步进电机,在本实施例中,全自动熔料设备可以为rl-plus真空熔料机。进一步地,壳体1内开设有腔室11,坩埚盘2设置于腔室11内的底壁处,电子枪3设置于腔室11内并位于坩埚盘2的一侧,电子枪3朝向坩埚盘2。步进电机设置于壳体1内并位于腔室11外,步进电机的转轴从腔室11的底壁伸入腔室11内,并与坩埚盘2固定。在本实施例中,步进电机的图未示出。

可以理解,上述结构相较于常见的需要在熔料过程中不断地打开熔料机更换材料的技术,本申请在坩埚盘2内加入足量的熔料产品时,步进电机通过转轴控制坩埚盘2的转动进而使得电子枪3对坩埚盘2内的熔料产品逐一进行轰击,并将其熔化。如此,无需频繁开启腔室11对熔料产品进行更换,进而能够提高熔料效率并缩短熔料时长,同时能够避免对熔料产品造成污染。

请继续结合参阅图1,该全自动熔料设备还包括:真空排气件4和抽气管5。进一步地,真空排气件4设置于壳体1内并靠近腔室11,抽气管5的一端与腔室11连通,抽气管5的另一端与真空排气件4连通。如此,当腔室11内产生气压时,真空排气件4通过抽气管5可以快速地抽走腔室11内的气体。

进一步地,抽气管5的一端可以从腔室11的底部或侧壁伸入腔室11内,抽气管5上可以设置阀门51,真空排气件4的一侧设置有排气口。其中,阀门用于控制抽气的速度。

在一种可替换的实施方式中,坩埚盘2远离底壁的一面环绕设置有多个坩埚21,坩埚盘2内的坩埚21等间距分布。在本实施例中,坩埚21有48个。通过在坩埚盘2内设置环绕的坩埚21,能够减小对腔室11的空间占用,无需在壳体1内开设较大的腔室11。通过在壳体1内设置较小的腔室11,能够通过真空排气件4快速地抽走腔室11内的空气,进而缩短腔室11达到工作气压状态的时间。

在本实施例中,坩埚21内可以一次熔多种熔料产品,将每种熔料产品放入不同的坩埚21中进行熔化,从而缩短了熔料时长。

在一种可替换的实施方式中,电子枪3的开口朝向坩埚盘2远离底壁的一面,电子枪3可以设定光斑形状、大小和功率对48穴位置独立熔料。

在本实施例中,电子枪3的开口大小可以等于三个坩埚21的间距,也可以小于三个坩埚21的间距,还可以大于三个坩埚21的间距,具体大小可根据实际情况进行设置,在此不作具体的限止。

在一种可替换的实施方式中,转轴的外径与坩埚盘2靠近底壁的一面开设的连接孔的内径相同,转轴套设于连接孔以实现与坩埚盘2的可拆卸式连接。如此,方便对转轴及其它零部件进行拆卸和更换。

进一步地,步进电机的转轴通过磁流体与坩埚盘2连接,其中,磁流体可以是磁性液体、铁磁流体或磁。磁流体不仅具有液体的流动性,还具有固体磁性材料的磁性,可广泛用于减震、医疗器械、声音调节和光显示等领域。将磁流体应用于本申请中以实现步进电机与坩埚盘2的连接时,能够有效减小步进电机转动时产生的震动。

在本实施例中,rl-plus真空熔料机的工作原理如下:将熔料产品置于坩埚21中,在1.3×10-2~1.3×10-3pa真空中,用电子枪轰击坩埚21的熔料产品,将能量传递给熔料产品使其熔化。

综上,通过在壳体开设腔室11,将坩埚盘2设置于腔室11内,坩埚盘2的一侧设置有电子枪3,步进电机的转轴从腔室11的底壁伸入腔室11内,并与坩埚盘2固定。在坩埚盘2内加入足量的熔料产品时,步进电机通过转轴控制坩埚盘2的转动进而使得电子枪3对坩埚盘2内的熔料产品进行轰击,并将其熔化。如此,无需频繁开启腔室11对熔料产品进行更换,进而能够提高熔料效率并缩短熔料时长,同时能够避免对熔料产品造成污染。

以上所述,仅是本实用新型的通常实施例,并非对本实用新型做任何形式上的限制,凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化,均落入本实用新型的保护范围之内。

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