1.一种偶联剂蒸发装置，其特征在于，包括：
多个偶联剂容纳部；
支撑部，具有至少一个定位件，多个所述偶联剂容纳部等间距设置于所述支撑部的一侧，所述支撑部通过所述定位件固定在沉积室内壁上。
2.根据权利要求1所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，所述多个偶联剂容纳部包括壳体以及至少一个设置于所述壳体的通孔，所述壳体具有与所述通孔连通的容纳空间，所述容纳空间填充有偶联剂吸附件。
3.根据权利要求1所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，所述多个偶联剂容纳部与所述支撑部一体成型。
4.根据权利要求1所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，所述多个偶联剂容纳部与所述支撑部可拆卸连接。
5.根据权利要求2所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，所述多个偶联剂容纳部设置有加热偶联剂的加热件。
6.根据权利要求2所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，所述通孔包括偶联剂蒸发孔和偶联剂加注孔，所述偶联剂蒸发孔和所述偶联剂加注孔为同一通孔。
7.根据权利要求2所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，所述通孔包括偶联剂蒸发孔和偶联剂加注孔，所述偶联剂蒸发孔和所述偶联剂加注孔为不同通孔。
8.根据权利要求7所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，在所述偶联剂加注孔处设置有与所述偶联剂加注孔匹配的密封塞。
9.根据权利要求1所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，所述定位件设置有定位孔，所述支撑部通过所述定位孔与螺栓配合可拆卸连接在所述沉积室内壁上。
10.根据权利要求2所述的偶联剂蒸发装置，其特征在于，所述偶联剂吸附件包括海绵、绒、布条中的一种或者多种。
11.一种气相沉积系统，包括沉积室，在所述沉积室内设置有转轴，以及固定工件的旋转载盘，所述旋转载盘固定在所述转轴上，其特征在于，所述沉积室内壁上设置有至少一个如权利要求1至10中任意一项所述的偶联剂蒸发装置，所述旋转载盘带动所述工件转动，配合所述偶联剂蒸发装置对所述工件进行气相沉积。
12.根据权利要求11所述的气相沉积系统，其特征在于，所述支撑部的长度与所述沉积室内壁高度相等。
13.根据权利要求11所述的气相沉积系统，其特征在于，所述支撑部的长度与所述工件的高度相等。
14.根据权利要求11所述的气相沉积系统，其特征在于，每一所述偶联剂容纳部与所述工件之间的最短距离相等。
15.根据权利要求14所述的气相沉积系统，其特征在于，所述支撑部的弯曲角度与所述工件的外形角度匹配。