一种低温真空镀膜设备的制作方法

本实用新型涉及搅拌装置技术领域，具体为一种低温真空镀膜设备。

背景技术：

低温真空镀膜设备是真空镀膜设备领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。

随着低温真空镀膜设备的技术不断完善，如今的相关产业中低温真空镀膜设备已经相当普及，但是目前的低温真空镀膜设备内部的发热管整体数量较多，这样在使用时设备整体的温度升高会变得过快，这样设备的内部产品会因为温度的升高过快而导致损坏，因此需要对现有设备进行改进。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种低温真空镀膜设备，以解决上述背景技术提出的随着低温真空镀膜设备的技术不断完善，如今的相关产业中低温真空镀膜设备已经相当普及，但是目前的低温真空镀膜设备内部的发热管整体数量较多，这样在使用时设备整体的温度升高会变得过快，这样设备的内部产品会因为温度的升高过快而导致损坏，因此需要对现有设备进行改进的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种低温真空镀膜设备，包括真空室和联动板，所述真空室内部贯穿开设有通孔，所述通孔开口端开设有卡槽；

所述卡槽内部连接有卡塞，所述卡塞一侧固定连接有盲板，所述真空室内部连接有转架，所述转架内部连接有内管，所述内管内部开设有卡座，所述卡座内部活动连接有插栓，所述插栓一侧固定连接有移动块，所述联动板一侧连接固定连接有插栓，所述联动板一侧连接有弹簧，所述弹簧一端固定连接有弹簧槽；

所述弹簧槽外壁固定连接有钢罩，所述钢罩一侧连接有发热管，所述真空室一侧设置有靶罩，所述靶罩内部贯穿连接有转动柱，所述转动柱一侧连接有真空室。

优选的，所述真空室表面均匀设置有一组通孔，且每个通孔内部都连接有一个卡塞和盲板，并且盲板与真空室表面位于同一水平位置。

优选的，所述卡塞为橡胶材质，且卡塞尺寸略大于卡槽内部尺寸，并且盲板通过卡塞和卡槽与通孔之间构成过盈配合。

优选的，所述卡座内部尺寸和插栓尺寸相匹配，且插栓一侧垂直连接有联动板，并且联动板通过卡座和插栓与内管之间构成卡合连接。

优选的，所述钢罩为三角形结构，且钢罩表面均匀开设有三个弹簧槽，并且每个弹簧槽表面垂直贯穿连接有一个移动块，移动块与插栓连接处夹角为90°。

优选的，所述弹簧槽内壁与联动板和弹簧外壁相切，且弹簧槽开口端内壁之间横向尺寸小于联动板横向尺寸，并且插栓、移动块、联动板和弹簧之间为弹性伸缩结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.该低温真空镀膜设备将原先转架外侧的发热管全部拆除，然后将遗留下的通孔利用盲板进行封堵，且使盲板底部的卡塞与通孔上端的卡槽形成连接，这样盲板和卡塞就能使通孔和真空室形成密封结构，从而减少发热管数量，这样在使用时就不会因为发热管过多而导致的温度加热过快。

2.该低温真空镀膜设备的转架内侧的内管中的发热管开口端安装有钢罩，使用时将钢罩三侧的插栓与卡座进行连接，令钢罩能够安装在发热管开口端，这样发热管在镀膜时就就能将加热管开口堵住，从而防止镀膜过程中发热管被镀上膜。

3.该低温真空镀膜设备的靶罩通过转动柱与真空室进行连接，这样在使用时，靶罩就会以转动的模式在真空室表面进行旋转，从而使靶罩的移动过程不会产生较大晃动，最终达到不会将靶罩上的灰尘震动下来的作用。

附图说明

图1为本实用新型主视示意图；

图2为本实用新型剖面结构示意图；

图3为本实用新型a放大示意图。

图中：1、真空室；2、通孔；3、卡槽；4、卡塞；5、盲板；6、转架；7、内管；8、卡座；9、插栓；10、移动块；11、联动板；12、弹簧；13、弹簧槽；14、钢罩；15、发热管；16、靶罩；17、转动柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种低温真空镀膜设备，包括真空室1、通孔2、卡槽3、卡塞4、盲板5、转架6、内管7、卡座8、插栓9、移动块10、联动板11、弹簧12、弹簧槽13、钢罩14、发热管15、靶罩16和转动柱17，所述真空室1内部贯穿开设有通孔2，所述真空室1表面均匀设置有一组通孔2，且每个通孔2内部都连接有一个卡塞4和盲板5，并且盲板5与真空室1表面位于同一水平位置，这样在使用的过程中，真空室1表面就不会因为盲板5的突起，而导致无法使用，所述通孔2开口端开设有卡槽3；

所述卡槽3内部连接有卡塞4，所述卡塞4为橡胶材质，且卡塞4尺寸略大于卡槽3内部尺寸，并且盲板5通过卡塞4和卡槽3与通孔2之间构成过盈配合，这样在对接时卡塞4就能紧密的与卡槽3的内壁进行连接，从而提升密封性能，所述卡塞4一侧固定连接有盲板5，所述真空室1内部连接有转架6，所述转架6内部连接有内管7，所述内管7内部开设有卡座8，所述卡座8内部尺寸和插栓9尺寸相匹配，且插栓9一侧垂直连接有联动板11，并且联动板11通过卡座8和插栓9与内管7之间构成卡合连接，通过插栓9与卡座8之间的连接使钢罩14能够安装在发热管15的开口端，所述卡座8内部活动连接有插栓9，所述插栓9一侧固定连接有移动块10，所述联动板11一侧连接固定连接有插栓9，所述联动板11一侧连接有弹簧12，所述弹簧12一端固定连接有弹簧槽13，所述弹簧槽13内壁与联动板11和弹簧12外壁相切，且弹簧槽13开口端内壁之间横向尺寸小于联动板11横向尺寸，并且插栓9、移动块10、联动板11和弹簧12之间为弹性伸缩结构，这样调节移动块10时，移动块10就能带动插栓9收进弹簧槽13的内部；

所述弹簧槽13外壁固定连接有钢罩14，所述钢罩14为三角形结构，且钢罩14表面均匀开设有三个弹簧槽13，并且每个弹簧槽13表面垂直贯穿连接有一个移动块10，移动块10与插栓9连接处夹角为90°这样当钢罩14的三侧都与对应的卡座8进行连接后，钢罩14整体的稳定性会更稳，所述钢罩14一侧连接有发热管15，所述真空室1一侧设置有靶罩16，所述靶罩16内部贯穿连接有转动柱17，所述转动柱17一侧连接有真空室1。

工作原理：在使用低温真空镀膜设备，首先将原先转架6外侧的发热管15全部拆除，然后将遗留下的通孔2利用盲板5进行封堵，且使盲板5底部的卡塞4与通孔2上端的卡槽3形成连接，这样盲板5和卡塞4就能使通孔2和真空室1形成密封结构，从而减少发热管15数量，这样在使用时就不会因为发热管15过多而导致的温度加热过快，该设备的转架6内侧的内管7中的发热管15开口端安装有钢罩14，使用时将钢罩14三侧的插栓9与卡座8进行连接，令钢罩14能够安装在发热管15开口端，这样发热管15在镀膜时就就能将加热管15开口堵住，从而防止镀膜过程中发热管15被镀上膜，另外，靶罩16通过转动柱17与真空室1进行连接，这样在使用时，靶罩16就会以转动的模式在真空室1表面进行旋转，从而使靶罩16的移动过程不会产生较大晃动，最终达到不会将靶罩16上的灰尘震动下来的作用，这就是低温真空镀膜设备的特点，本说明中未作详细描述的内容属于本领域专业技术人员公知的现有技术。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。